Hoe richt je een ISO 6 cleanroom in? Vandaag bespreken we 4 ontwerpopties voor een ISO 6 cleanroom.
Optie 1: Luchtbehandelingsunit (AHU) + HEPA-box.
Optie 2: MAU (verse luchtunit) + RCU (circulatie-unit) + HEPA-box.
Optie 3: AHU (luchtbehandelingsunit) + FFU (ventilatorfilterunit) + technische tussenlaag, geschikt voor kleine cleanroomwerkplaatsen met voelbare warmtebelasting.
Optie 4: MAU (verseluchtunit) + DC (droge warmtewisselaar) + FFU (ventilatorfilterunit) + technische tussenlaag, geschikt voor cleanroomwerkplaatsen met een hoge voelbare warmtebelasting, zoals elektronische cleanrooms.
Hieronder volgen de ontwerpmethoden van de 4 oplossingen.
Optie 1: Luchtbehandelingsunit + HEPA-filter
De functionele onderdelen van de luchtbehandelingsunit (AHU) omvatten een nieuw filtergedeelte voor retourlucht, een oppervlaktekoelingsgedeelte, een verwarmingsgedeelte, een bevochtigingsgedeelte, een ventilatorgedeelte en een luchtuitlaatgedeelte met middenfilter. Nadat de verse buitenlucht en de retourlucht door de AHU zijn gemengd en verwerkt om te voldoen aan de temperatuur- en vochtigheidseisen voor de binnenruimte, worden ze via een HEPA-box naar de cleanroom geleid. De luchtstroom is van bovenaf aangevoerd en van opzij afgevoerd.
Optie 2: MAU + RAU + HEPA-box
De functionele onderdelen van de verse-luchtunit omvatten een verse-luchtfiltratiesectie, een mediumfiltratiesectie, een voorverwarmingssectie, een oppervlaktekoelingssectie, een naverwarmingssectie, een bevochtigingssectie en een ventilatoruitlaatsectie. De functionele onderdelen van de circulatie-unit zijn: een mengsectie voor de retourlucht, een oppervlaktekoelingssectie, een ventilatorsectie en een uitlaatsectie voor de mediumgefilterde lucht. De verse buitenlucht wordt door de verse-luchtunit verwerkt om te voldoen aan de eisen voor de luchtvochtigheid binnenshuis en de ingestelde temperatuur van de toevoerlucht. Nadat deze is gemengd met de retourlucht, wordt deze door de circulatie-unit verwerkt en op de gewenste binnentemperatuur gebracht. Zodra de temperatuur is bereikt, wordt de lucht via een HEPA-box naar de cleanroom geleid. De luchtstroom is van bovenaf aangevoerd en van opzij afgevoerd.
Optie 3: AHU + FFU + technische tussenlaag (geschikt voor kleine cleanroomwerkplaatsen met voelbare warmtebelasting)
De functionele onderdelen van de luchtbehandelingsunit (AHU) omvatten een nieuw filtergedeelte voor retourlucht, een oppervlaktekoelingsgedeelte, een verwarmingsgedeelte, een bevochtigingsgedeelte, een ventilatorgedeelte, een middenfiltergedeelte en een sub-HEPA-boxgedeelte. Nadat de verse buitenlucht en een deel van de retourlucht door de AHU zijn gemengd en verwerkt om te voldoen aan de temperatuur- en vochtigheidseisen voor de binnenruimte, worden ze naar de technische mezzanine geleid. Na menging met een grote hoeveelheid circulerende lucht van de ventilatorunit (FFU), worden ze onder druk gezet door de ventilator-filterunit (FFU) en vervolgens naar de cleanroom geleid. Het luchtstroompatroon is bovenaan aangevoerd en aan de zijkant geretourneerd.
Optie 4: MAU + DC + FFU + technische tussenlaag (geschikt voor cleanroomwerkplaatsen met een hoge voelbare warmtebelasting, zoals een elektronische cleanroom)
De functionele onderdelen van de unit omvatten een nieuw retourluchtfiltratiegedeelte, een oppervlaktekoelingsgedeelte, een verwarmingsgedeelte, een bevochtigingsgedeelte, een ventilatorgedeelte en een mediumfiltratiegedeelte. Nadat verse buitenlucht en retourlucht door de luchtbehandelingsunit (AHU) zijn gemengd en verwerkt om aan de temperatuur- en vochtigheidseisen binnenshuis te voldoen, wordt deze in de tussenlaag van het luchttoevoerkanaal gemengd met een grote hoeveelheid circulerende lucht die door een droogspiraal is gezuiverd. Vervolgens wordt de lucht, na te zijn geperst door de ventilatorfilterunit (FFU), naar de cleanroom geleid. De luchtstroom is van bovenaf aangevoerd en van opzij afgevoerd.
Er zijn veel ontwerpmogelijkheden om de ISO 6-norm voor luchtzuiverheid te bereiken, en het specifieke ontwerp moet gebaseerd zijn op de feitelijke situatie.
Geplaatst op: 05-03-2024
