Na de inbedrijfstelling ter plaatse met de klasse 10000-standaard voldoen de parameters zoals luchtvolume (aantal luchtverversingen), drukverschil en sedimentatiebacteriën allemaal aan de ontwerpvereisten (GMP), en is slechts één onderdeel van de stofdeeltjesdetectie niet-gekwalificeerd (klasse 100000). Uit de tegenmetingsresultaten bleek dat grote deeltjes de norm overschreden, voornamelijk deeltjes van 5 μm en 10 μm.
1. Foutanalyse
De reden dat grote deeltjes de norm overschrijden, doet zich doorgaans voor in cleanrooms met een hoge netheid. Als het zuiveringseffect van de cleanroom niet goed is, heeft dit direct invloed op de testresultaten; Door de analyse van luchtvolumegegevens en eerdere technische ervaring zouden de theoretische testresultaten van sommige kamers klasse 1000 moeten zijn; De voorlopige analyse wordt als volgt geïntroduceerd:
①. Het schoonmaakwerk is niet op niveau.
②. Er lekt lucht uit het frame van het hepa-filter.
③. Het hepa-filter heeft lekkage.
④. Negatieve druk in de cleanroom.
⑤. Het luchtvolume is niet voldoende.
⑥. Het filter van de airconditioning is verstopt.
⑦. Het verseluchtfilter is geblokkeerd.
Op basis van bovenstaande analyse organiseerde de organisatie personeel om de status van de cleanroom opnieuw te testen en ontdekte dat het luchtvolume, het drukverschil, enz. voldeden aan de ontwerpvereisten. De netheid van alle cleanrooms was klasse 100000 en de stofdeeltjes van 5 μm en 10 μm overtroffen de norm en voldeden niet aan de ontwerpeisen van klasse 10000.
2. Analyseer en elimineer mogelijke fouten één voor één
In eerdere projecten zijn er situaties geweest waarin onvoldoende drukverschil en een verminderd luchttoevoervolume optraden als gevolg van verstopping van het primaire of middelhoge rendement in het verseluchtfilter of de unit. Door de unit te inspecteren en het luchtvolume in de kamer te meten, werd geoordeeld dat de items ④⑤⑥⑦ niet waar waren; het resterende volgende is de kwestie van de netheid en efficiëntie binnenshuis; er werd inderdaad niet schoongemaakt ter plaatse. Bij het inspecteren en analyseren van het probleem hadden de werknemers speciaal een schone kamer schoongemaakt. Uit de meetresultaten bleek nog steeds dat grote deeltjes de norm overschreden, waarna de hepa-box één voor één werd geopend om te scannen en te filteren. Uit de scanresultaten bleek dat één hepa-filter in het midden beschadigd was en dat de meetwaarden van het deeltjesaantal van het frame tussen alle andere filters en de hepa-box plotseling toenamen, vooral voor deeltjes van 5 μm en 10 μm.
3. Oplossing
Omdat de oorzaak van het probleem gevonden is, is het eenvoudig op te lossen. De hepa-box die in dit project wordt gebruikt, bestaat allemaal uit met bouten geperste en vergrendelde filterstructuren. Er is een opening van 1-2 cm tussen het filterframe en de binnenwand van de hepa-box. Na het opvullen van de kieren met afdichtingsstrips en het afdichten met neutrale kit is de netheid van de ruimte nog steeds klasse 100.000.
4. Heranalyse van fouten
Nu het frame van de hepabox is afgedicht en het filter is gescand, zit er geen lekkagepunt in het filter, waardoor het probleem zich nog steeds voordoet aan het frame van de binnenwand van de ontluchter. Vervolgens hebben we het frame opnieuw gescand: de detectieresultaten van het binnenmuurframe van de hepa-box. Nadat u de verzegeling hebt doorstaan, inspecteert u de opening in de binnenwand van de hepa-box opnieuw en ontdekt u dat de grote deeltjes nog steeds de norm overschrijden. In eerste instantie dachten we dat dit het wervelstroomverschijnsel was in de hoek tussen het filter en de binnenwand. We hebben voorbereidingen getroffen om 1 meter film langs het hepa-filterframe te hangen. De linker- en rechterfilms worden als schild gebruikt en vervolgens wordt de reinheidstest uitgevoerd onder een hepa-filter. Bij het voorbereiden van het plakken van de film blijkt dat de binnenmuur het fenomeen van verfafbladdering vertoont en dat er een hele opening in de binnenmuur zit.
5. Verwerk stof uit de hepa-box
Plak aluminiumfolietape op de binnenwand van de hepa-box om stof op de binnenwand van de luchtpoort zelf te verminderen. Ontdek na het plakken van aluminiumfolietape het aantal stofdeeltjes langs het hepa-filterframe. Na verwerking van de framedetectie kan, door de detectieresultaten van de deeltjesteller voor en na de verwerking te vergelijken, duidelijk worden vastgesteld dat de reden voor het overschrijden van de norm door grote deeltjes wordt veroorzaakt door het stof dat door de hepabox zelf wordt verspreid. Na het installeren van het diffusordeksel werd de cleanroom opnieuw getest.
6. Samenvatting
Het grote deeltje dat de norm overschrijdt, is zeldzaam in cleanroomprojecten en kan volledig worden vermeden; door de opsomming van de problemen bij dit cleanroomproject moet het projectmanagement in de toekomst worden versterkt; Dit probleem is te wijten aan de lakse controle op de inkoop van grondstoffen, wat leidt tot verspreid stof in de hepa-box. Bovendien waren er tijdens het installatieproces geen gaten in de hepa-box of afbladderende verf. Bovendien was er geen visuele inspectie voordat het filter werd geïnstalleerd, en zaten sommige bouten niet goed vast toen het filter werd geïnstalleerd, wat allemaal zwakke punten in het management aan het licht bracht. Hoewel de belangrijkste reden stof uit de hepabox is, mag de constructie van de cleanroom niet slordig zijn. Alleen door kwaliteitsmanagement en -controle uit te voeren gedurende het hele proces vanaf het begin van de bouw tot het einde van de voltooiing kunnen de verwachte resultaten in de inbedrijfstellingsfase worden bereikt.
Posttijd: 01-sep-2023