Na de ingebruikname ter plaatse met de klasse 10000-norm voldoen parameters zoals luchtvolume (aantal luchtwisselingen), drukverschil en sedimentatiebacteriën allemaal aan de ontwerpeisen (GMP), en is slechts één onderdeel van de stofdeeltjesdetectie (klasse 100000) niet goedgekeurd. De resultaten van de tegenmeting lieten zien dat grote deeltjes de norm overschreden, voornamelijk deeltjes van 5 μm en 10 μm.
1. Foutanalyse
De reden dat grote deeltjes de norm overschrijden, komt meestal voor in cleanrooms met een hoge zuiverheidsgraad. Als het zuiveringseffect van de cleanroom niet goed is, heeft dit direct invloed op de testresultaten. Door analyse van luchtvolumegegevens en eerdere technische ervaring zouden de theoretische testresultaten van sommige ruimtes klasse 1000 moeten zijn. De voorlopige analyse wordt als volgt ingeleid:
①. Het schoonmaakwerk is niet naar behoren.
②. Er lekt lucht uit het frame van het HEPA-filter.
③. Het HEPA-filter lekt.
④. Negatieve druk in de cleanroom.
5. Er is niet voldoende luchtvolume.
⑥. Het filter van de airconditioning is verstopt.
⑦. Het verseluchtfilter is verstopt.
Op basis van bovenstaande analyse heeft de organisatie personeel ingezet om de status van de cleanroom opnieuw te testen en vastgesteld dat het luchtvolume, het drukverschil, enz. aan de ontwerpeisen voldeden. De reinheid van alle cleanrooms was klasse 100.000 en de stofdeeltjes van 5 μm en 10 μm overschreden de norm en voldeden niet aan de ontwerpeisen van klasse 10.000.
2. Analyseer en elimineer mogelijke fouten één voor één
In eerdere projecten zijn er situaties geweest waarin onvoldoende drukverschil en een verminderd luchttoevoervolume optraden als gevolg van een verstopping van het primaire of medium-efficiency filter in het verseluchtfilter of de unit. Door de unit te inspecteren en het luchtvolume in de ruimte te meten, werd geoordeeld dat de punten ④⑤⑥⑦ niet waar waren; de resterende punten waren onjuist. Vervolgens is er de kwestie van de reinheid en efficiëntie van de binnenruimte; er was inderdaad geen reiniging op locatie uitgevoerd. Bij de inspectie en analyse van het probleem hadden werknemers speciaal een cleanroom gereinigd. De meetresultaten lieten nog steeds zien dat grote deeltjes de norm overschreden, en vervolgens opende men de HEPA-box één voor één om te scannen en te filteren. De scanresultaten toonden aan dat één HEPA-filter in het midden beschadigd was en dat de deeltjestellingswaarden van het frame tussen alle andere filters en de HEPA-box plotseling toenamen, met name voor deeltjes van 5 μm en 10 μm.
3. Oplossing
Nu de oorzaak van het probleem is gevonden, is het eenvoudig op te lossen. De HEPA-boxen die in dit project worden gebruikt, zijn allemaal filterconstructies met bouten en borging. Er zit een opening van 1-2 cm tussen het filterframe en de binnenwand van de HEPA-box. Nadat de openingen zijn opgevuld met afdichtstrips en afgedicht met neutrale kit, is de reinheid van de ruimte nog steeds klasse 100.000.
4. Heranalyse van de fout
Nu het frame van de HEPA-box is afgedicht en het filter is gescand, is er geen lekkage in het filter. Het probleem doet zich dus nog steeds voor in het frame van de binnenwand van de ventilatieopening. Vervolgens hebben we het frame opnieuw gescand: de detectieresultaten van het frame van de binnenwand van de HEPA-box. Na het passeren van de afdichting, inspecteerden we de opening in de binnenwand van de HEPA-box opnieuw en constateerden dat de grote deeltjes nog steeds de norm overschrijden. In eerste instantie dachten we dat het wervelstroomverschijnsel was in de hoek tussen het filter en de binnenwand. We bereidden voor om 1 m folie langs het HEPA-filterframe te hangen. De linker- en rechterfolie werden gebruikt als afscherming en vervolgens werd de reinheidstest onder het HEPA-filter uitgevoerd. Bij het voorbereiden van het plakken van de folie, werd ontdekt dat de binnenwand last had van afbladderende verf en dat er een hele opening in de binnenwand zat.
5. Verwijder het stof uit de HEPA-box
Plak aluminiumfolie op de binnenwand van de HEPA-box om stof op de binnenwand van de luchtaansluiting zelf te verminderen. Na het plakken van de aluminiumfolie meet u het aantal stofdeeltjes langs het HEPA-filterframe. Na verwerking van de framedetectie, door de resultaten van de deeltjesteller vóór en na verwerking te vergelijken, kan duidelijk worden vastgesteld dat de reden voor de grote deeltjes die de norm overschrijden, wordt veroorzaakt door het stof dat door de HEPA-box zelf wordt verspreid. Na installatie van de diffuserafdekking werd de cleanroom opnieuw getest.
6. Samenvatting
Grote deeltjes die de norm overschrijden, komen zelden voor in cleanroomprojecten en kunnen volledig worden vermeden. Door de problemen in dit cleanroomproject samen te vatten, moet het projectmanagement in de toekomst worden versterkt. Dit probleem wordt veroorzaakt door de gebrekkige controle op de inkoop van grondstoffen, wat leidt tot verspreid stof in de HEPA-box. Bovendien waren er geen openingen in de HEPA-box of bladderende verf tijdens het installatieproces. Bovendien vond er geen visuele inspectie plaats vóór de installatie van het filter en waren sommige bouten niet goed vastgedraaid tijdens de installatie van het filter, wat allemaal tekortkomingen in het management aantoonde. Hoewel de belangrijkste reden het stof uit de HEPA-box is, kan de constructie van de cleanroom niet slordig zijn. Alleen door kwaliteitsmanagement en -controle uit te voeren gedurende het hele proces, van begin tot eind, kunnen de verwachte resultaten in de inbedrijfstellingsfase worden bereikt.
Plaatsingstijd: 1-09-2023