Na de ter plaatse inbedrijfstelling met de klasse 10000-standaard zijn de parameters zoals luchtvolume (aantal luchtveranderingen), drukverschil en sedimentatiebacteriën allemaal voldoen (Klasse 100000). De countermeetresultaten toonden aan dat grote deeltjes de standaard, voornamelijk 5 urn en 10 urn -deeltjes overschreden.
1. Faalanalyse
De reden voor grote deeltjes die de standaard overschrijden, vindt in het algemeen plaats in hoge cleaniness cleanrooms. Als het zuiveringseffect van de cleanroom niet goed is, heeft dit direct invloed op de testresultaten; Door de analyse van luchtvolumegegevens en eerdere technische ervaring moeten de theoretische testresultaten van sommige kamers klasse 1000 zijn; De voorlopige analyse wordt als volgt geïntroduceerd:
①. Het schoonmaakwerk is niet aan de standaard.
②. Er is luchtlekkage uit het frame van het HEPA -filter.
③. Het HEPA -filter heeft lekkage.
④. Negatieve druk in de cleanroom.
⑤. Het luchtvolume is niet genoeg.
⑥. Het filter van de airconditioningseenheid is verstopt.
⑦. Het frisse luchtfilter is geblokkeerd.
Op basis van bovenstaande analyse organiseerde de organisatie het personeel om de status van de cleanroom opnieuw te testen en vond het luchtvolume, drukverschil, enz. Om aan de ontwerpvereisten te voldoen. De netheid van alle schone kamers was klasse 100000 en de stofdeeltjes van 5 urn en 10 urn overtroffen de standaard en voldeden niet aan de ontwerpvereisten van de klasse 10000.
2. Analyseer en elimineer mogelijke fouten één voor één
In eerdere projecten zijn er situaties geweest waarin onvoldoende drukverschil en verminderde luchttoevoervolume plaatsvonden als gevolg van primaire of gemiddelde efficiënte blokkering in het frisse luchtfilter of de eenheid. Door de eenheid te inspecteren en het luchtvolume in de kamer te meten, werd beoordeeld dat items ④⑤⑥⑦ niet waar waren; De resterende volgende is de kwestie van binnen netheid en efficiëntie; Er werd inderdaad geen schoonmaak op het terrein gedaan. Bij het inspecteren en analyseren van het probleem hadden werknemers speciaal een schone kamer schoongemaakt. De meetresultaten toonden nog steeds aan dat grote deeltjes de standaard overschreden en vervolgens de HEPA -doos één voor één openden om te scannen en te filteren. De scanresultaten toonden aan dat één HEPA -filter in het midden was beschadigd, en de meetwaarden van de deeltjestelling van het frame tussen alle andere filters en de HEPA -doos namen plotseling toe, vooral voor 5 μm en 10 μm deeltjes.
3. Oplossing
Omdat de oorzaak van het probleem is gevonden, is het gemakkelijk op te lossen. De HEPA-doos die in dit project wordt gebruikt, zijn allemaal met bout geperst en vergrendelde filterstructuren. Er is een opening van 1-2 cm tussen het filterframe en de binnenwand van de HEPA-doos. Na het vullen van de openingen met afdichtingsstroken en het afdichten met neutraal afdichtmiddel, is de netheid van de kamer nog steeds klasse 100000.
4. Foutheranalyse
Nu het frame van de HEPA -doos is verzegeld en het filter is gescand, is er geen lekpunt in het filter, dus het probleem komt nog steeds voor op het frame van de binnenwand van de luchtopening. Daarna hebben we het frame opnieuw gescand: de detectieresultaten van het binnenwandframe van de HEPA -doos. Na het passeren van de afdichting, in de opening van de binnenwand van de HEPA-doos opnieuw inspectie en ontdekte dat de grote deeltjes nog steeds de standaard overschrijden. In het begin dachten we dat het het wervelstroomfenomeen was onder de hoek tussen het filter en de binnenwand. We hebben ons voorbereid om 1 m film langs het HEPA -filterframe op te hangen. De linker- en rechterfilms worden gebruikt als een schild en vervolgens wordt de netheidstest uitgevoerd onder HEPA -filter. Bij het voorbereiden om de film te plakken, blijkt dat de binnenmuur het fenomeen van de verfschillen heeft en er een hele kloof in de binnenmuur is.
5. Hakke stof uit de hepa -doos
Paste aluminiumfolietape op de binnenwand van de HEPA -doos om stof op de binnenwand van de luchthaven zelf te verminderen. Detecteer na het plakken van aluminiumfolietape het aantal stofdeeltjes langs het HEPA -filterframe. Na het verwerken van de framedetectie, door de resultaten van de deeltjescounterdetectieresultaten voor en na de verwerking te vergelijken, kan duidelijk worden vastgesteld dat de reden voor de grote deeltjes die de standaard overschrijden, wordt veroorzaakt door het stof verspreid door de HEPA -doos zelf. Na het installeren van de diffusorafdekking werd de schone kamer opnieuw getest.
6. Samenvatting
Het grote deeltje dat de standaard overschrijdt, is zeldzaam in het cleanroom -project en kan volledig worden vermeden; Door de samenvatting van de problemen in dit cleanroom -project moet het projectmanagement in de toekomst worden versterkt; Dit probleem is te wijten aan de lakse regeling van de inkoop van grondstoffen, wat leidt tot verspreid stof in HEPA -doos. Bovendien waren er geen hiaten in de hepa -doos of verfschillen tijdens het installatieproces. Bovendien was er geen visuele inspectie voordat het filter werd geïnstalleerd, en sommige bouten waren niet strak vergrendeld toen het filter werd geïnstalleerd, die allemaal zwakke punten in het management vertoonden. Hoewel de belangrijkste reden is stof uit de HEPA -doos, kan de constructie van de schone kamer niet slordig zijn. Alleen door kwaliteitsbeheer en controle gedurende het hele proces uit te voeren vanaf het begin van de bouw tot het einde van de voltooiing, kunnen de verwachte resultaten worden bereikt in de inbedrijfstellingsfase.
Posttijd: SEP-01-2023