Het ontwerp van een schone kamer moet internationale normen implementeren, geavanceerde technologie, economische rationaliteit, veiligheid en toepasbaarheid bereiken, kwaliteit garanderen en voldoen aan de eisen van energiebesparing en milieubescherming. Wanneer bestaande gebouwen worden gebruikt voor renovatie op basis van schone technologie, moet het ontwerp van de cleanroom gebaseerd zijn op de vereisten van het productieproces, afgestemd zijn op de lokale omstandigheden en op een andere manier behandeld worden, en moet de bestaande technische faciliteiten volledig benut worden. Het ontwerp van een cleanroom moet de noodzakelijke voorwaarden scheppen voor constructie, installatie, onderhoudsbeheer, testen en veilige werking.
De bepaling van het luchtzuiverheidsniveau van elke cleanroom moet aan de volgende eisen voldoen:
- Wanneer er meerdere processen in een cleanroom plaatsvinden, moeten verschillende luchtreinheidsniveaus worden toegepast op basis van de verschillende vereisten van elk proces.
- Op basis van het uitgangspunt om aan de eisen van het productieproces te voldoen, moet de luchtverdeling en het netheidsniveau van de cleanroom een combinatie aannemen van luchtzuivering op de lokale werkplek en luchtzuivering in de hele kamer.
(1). Cleanroom met laminaire stroming, cleanroom met turbulente stroming en cleanroom met verschillende ploegendiensten en gebruikstijden zouden gescheiden gezuiverde airconditioningsystemen moeten hebben.
(2). De berekende temperatuur en relatieve vochtigheid in een cleanroom moeten aan de volgende voorschriften voldoen:
① Voldoe aan de vereisten van het productieproces;
②Als er geen temperatuur- of vochtigheidsvereisten zijn voor het productieproces, is de temperatuur van de schone kamertemperatuur 20-26℃ en de relatieve vochtigheid 70%.
- Er moet worden gezorgd voor een bepaalde hoeveelheid frisse lucht in de cleanroom, en de waarde ervan moet worden genomen als het maximum van de volgende luchtvolumes;
(1). 10% tot 30% van de totale luchttoevoer in een cleanroom met turbulente stroming, en 2-4% van de totale luchttoevoer in een cleanroom met laminaire stroming.
(2). De hoeveelheid verse lucht is nodig om de uitlaatlucht binnenshuis te compenseren en de positieve drukwaarde binnenshuis te behouden.
(3). Zorg ervoor dat het volume verse lucht binnenshuis per persoon per uur niet minder is dan 40 kubieke meter.
- Positieve drukregeling voor schone kamers
Cleanroom moet een bepaalde positieve druk handhaven. Het statische drukverschil tussen schone ruimtes van verschillende niveaus en tussen schone ruimtes en niet-schone ruimtes mag niet minder zijn dan 5 Pa, en het statische drukverschil tussen schone ruimtes en buiten mag niet minder zijn dan 10 Pa.
Posttijd: 22 mei 2023