Het ontwerp van cleanrooms moet voldoen aan internationale normen, geavanceerde technologie, economische rationaliteit, veiligheid en toepasbaarheid, kwaliteit garanderen en voldoen aan de eisen van energiebesparing en milieubescherming. Bij het gebruik van bestaande gebouwen voor renovatie van schone technologie moet het ontwerp van de cleanroom gebaseerd zijn op de eisen van het productieproces, afgestemd zijn op de lokale omstandigheden, anders worden behandeld en de bestaande technische faciliteiten volledig benutten. Het ontwerp van de cleanroom moet de noodzakelijke voorwaarden creëren voor constructie, installatie, onderhoudsbeheer, testen en veilige werking.
Bij het bepalen van het niveau van de luchtreinheid van elke cleanroom moet aan de volgende eisen worden voldaan:
- Wanneer er meerdere processen in een cleanroom plaatsvinden, moeten er verschillende niveaus van luchtreinheid worden gehanteerd, afhankelijk van de verschillende vereisten van elk proces.
- Om te voldoen aan de eisen van het productieproces, moeten de luchtverdeling en het reinheidsniveau van de cleanroom een combinatie zijn van zuivering van de lokale werkruimte en zuivering van de lucht in de hele ruimte.
(1). Schone ruimten met laminaire stroming, schone ruimten met turbulente stroming en schone ruimten met verschillende werkploegen en gebruikstijden moeten over gescheiden gezuiverde airconditioningsystemen beschikken.
(2) De berekende temperatuur en relatieve vochtigheid in een cleanroom moeten voldoen aan de volgende voorschriften:
①Voldoen aan de eisen van het productieproces;
2Wanneer er geen temperatuur- of vochtigheidsvereisten zijn voor het productieproces, bedraagt de temperatuur in de schone ruimte 20-26℃ en de relatieve vochtigheid 70%.
- Er moet een bepaalde hoeveelheid frisse lucht in de cleanroom worden gegarandeerd, en de waarde hiervan moet worden genomen als het maximum van de volgende luchtvolumes;
(1). 10% tot 30% van de totale luchttoevoer in een cleanroom met turbulente stroming, en 2-4% van de totale luchttoevoer in een cleanroom met laminaire stroming.
(2). De hoeveelheid frisse lucht is nodig om de afvoerlucht binnenshuis te compenseren en de positieve druk binnenshuis te handhaven.
(3) Zorg ervoor dat het volume verse lucht binnen per persoon per uur niet minder bedraagt dan 40 kubieke meter.
- Positieve drukregeling in schone ruimtes
Een cleanroom moet een bepaalde positieve druk handhaven. Het statische drukverschil tussen cleanrooms van verschillende niveaus en tussen schone en niet-schone ruimtes mag niet minder zijn dan 5 Pa, en het statische drukverschil tussen schone en buitenruimtes mag niet minder zijn dan 10 Pa.
Geplaatst op: 22 mei 2023