Het ontwerp van een cleanroom moet voldoen aan internationale normen, geavanceerde technologie, economische rationaliteit, veiligheid en toepasbaarheid, kwaliteitsborging en de eisen op het gebied van energiebesparing en milieubescherming. Bij de renovatie van bestaande gebouwen met cleanroomtechnologie moet het cleanroomontwerp gebaseerd zijn op de eisen van het productieproces, afgestemd zijn op de lokale omstandigheden en op een specifieke manier worden behandeld, waarbij de bestaande technische faciliteiten optimaal worden benut. Het cleanroomontwerp moet de noodzakelijke voorwaarden scheppen voor de bouw, installatie, het onderhoud, het testen en de veilige werking van de cleanroom.
De bepaling van het luchtzuiverheidsniveau van elke cleanroom moet aan de volgende eisen voldoen:
- Wanneer er meerdere processen in een cleanroom plaatsvinden, moeten verschillende luchtzuiverheidsniveaus worden gehanteerd, afhankelijk van de specifieke eisen van elk proces.
- Om aan de eisen van het productieproces te voldoen, dient de luchtverdeling en het reinheidsniveau van de cleanroom een combinatie te omvatten van lokale luchtzuivering in de werkruimte en luchtzuivering van de gehele ruimte.
(1). Een cleanroom met laminaire stroming, een cleanroom met turbulente stroming en een cleanroom met verschillende werktijden en -tijden moeten aparte systemen voor gezuiverde luchtkoeling hebben.
(2). De berekende temperatuur en relatieve luchtvochtigheid in de cleanroom moeten voldoen aan de volgende voorschriften:
①Voldoen aan de eisen van het productieproces;
②Wanneer er geen temperatuur- of vochtigheidseisen zijn voor het productieproces, bedraagt de temperatuur in de cleanroom 20-26℃ en de relatieve luchtvochtigheid 70%.
- Er moet een bepaalde hoeveelheid verse lucht in de cleanroom worden gebracht, en de waarde daarvan moet worden vastgesteld op het maximum van de volgende luchtvolumes:
(1). 10% tot 30% van de totale luchttoevoer in een cleanroom met turbulente stroming, en 2-4% van de totale luchttoevoer in een cleanroom met laminaire stroming.
(2). De hoeveelheid verse lucht is nodig om de afvoerlucht binnenshuis te compenseren en de positieve druk binnenshuis te handhaven.
(3). Zorg ervoor dat het volume verse binnenlucht per persoon per uur niet minder dan 40 kubieke meter bedraagt.
- Overdrukregeling in een cleanroom
Een cleanroom moet een bepaalde overdruk handhaven. Het statische drukverschil tussen cleanrooms van verschillende niveaus en tussen een schone en een niet-schone zone mag niet minder zijn dan 5 Pa, en het statische drukverschil tussen een schone zone en de buitenlucht mag niet minder zijn dan 10 Pa.
Geplaatst op: 22 mei 2023