In een cleanroom moet een relatief compleet automatisch besturingssysteem/apparaat worden geïnstalleerd. Dit is zeer gunstig voor het waarborgen van een normale productie in de cleanroom en het verbeteren van het operationele en beheersniveau, maar de investering in de bouw hiervan moet wel toenemen.
Verschillende typen cleanrooms hebben uiteenlopende eisen en technische parameters, waaronder monitoring van de luchtzuiverheid, temperatuur en luchtvochtigheid, drukverschilmeting, monitoring van hoogzuiver gas en zuiver water, en monitoring van de gaszuiverheid en waterkwaliteit. Ook de omvang en oppervlakte van cleanrooms variëren sterk per industrie. Daarom moeten de functies van het automatische besturingssysteem/apparaat worden afgestemd op de specifieke omstandigheden van het cleanroomproject en moeten er verschillende soorten monitoring- en besturingssystemen worden ontworpen. Alleen cleanrooms zijn ontworpen met gedistribueerde computergestuurde en monitoringsystemen.
Het automatische besturings- en bewakingssysteem van een moderne, hightech cleanroom, zoals een micro-elektronische cleanroom, is een allesomvattend systeem dat elektrotechniek, geautomatiseerde instrumentatie, computertechnologie en netwerkcommunicatietechnologie integreert. Alleen door elk van deze technologieën correct en verstandig te gebruiken, kan het systeem voldoen aan de vereiste besturings- en bewakingseisen.
Om te voldoen aan de strenge eisen voor de beheersing van de productieomgeving in een elektronische cleanroom, moeten de besturingssystemen van de openbare stroomvoorziening, de luchtzuiverings- en airconditioningssystemen, enzovoort, allereerst een hoge betrouwbaarheid hebben.
Ten tweede is het nodig dat verschillende besturingsapparatuur en instrumenten toegankelijk zijn om te voldoen aan de eisen voor netwerkbesturing van de gehele cleanroom. De productietechnologie van elektronische producten ontwikkelt zich snel. Het ontwerp van het automatische besturingssysteem van de elektronische cleanroom moet flexibel en schaalbaar zijn om te kunnen inspelen op veranderende besturingseisen. De gedistribueerde netwerkstructuur biedt een goede interface voor mens-computerinteractie, waardoor de detectie, bewaking en besturing van de productieomgeving en diverse stroomvoorzieningen beter mogelijk is. Deze structuur kan worden toegepast op cleanroombesturing met behulp van computertechnologie. Wanneer de parametereisen van de cleanroom niet erg streng zijn, kunnen ook conventionele instrumenten worden gebruikt voor de besturing. Ongeacht de gebruikte methode moet de nauwkeurigheid van de besturing echter voldoen aan de productie-eisen, een stabiele en betrouwbare werking garanderen en energiebesparing en emissiereductie realiseren.
Geplaatst op: 23 februari 2024