Een relatief compleet automatisch besturingssysteem/apparaat moet worden geïnstalleerd in een schone kamer, wat zeer gunstig is voor het waarborgen van de normale productie van de schone kamer en het verbeteren van het werk- en managementniveau, maar de bouwinvestering moet toenemen.
Verschillende soorten schone ruimte hebben verschillende vereisten en technische parameters, waaronder monitoring van luchtreiniging, temperatuur en vochtigheid in schone kamer, drukverschil monitoring in schone kamer, monitoring van hoog zuiver gas en zuiver water, monitoring van gaszuiverheid en pure waterkwaliteit en De schaal en het gebied van de schone ruimte in verschillende industrieën variëren ook sterk, dus de functies van het automatische besturingssysteem/apparaat moeten worden bepaald volgens de specifieke omstandigheden van het Clean Room -project en moeten worden ontworpen in verschillende soorten monitoring- en besturingssystemen . Alleen schone kamer is ontworpen met gedistribueerde computerbesturing en bewakingssystemen.
Het automatische besturings- en monitoringsysteem van de moderne hightech cleanroom vertegenwoordigd door Microelectronic Clean Room is een uitgebreid systeem dat elektrische technologie, geautomatiseerde instrumentatie, computertechnologie en netwerkcommunicatietechnologie integreert. Alleen door elke technologie correct en redelijkerwijs te gebruiken, kan het systeem voldoen aan de vereiste controle- en supervisievereisten.
Om de strikte vereisten voor productieomgeving in elektronische cleanroom te waarborgen, moeten de besturingssystemen van openbare energiesystemen, zuivering airconditioningsystemen, enz. Eerst een hoge betrouwbaarheid hebben.
Ten tweede moeten verschillende besturingsapparatuur en instrumenten open zijn om te voldoen aan de vereisten voor netwerkbesturing van de hele schone kamer. De productietechnologie van elektronische producten ontwikkelt zich snel. Het ontwerp van het automatische besturingssysteem van de elektronische schone kamer moet flexibel en schaalbaar zijn om te voldoen aan de wijzigingen in de besturingsvereisten van de schone kamer. De gedistribueerde netwerkstructuur heeft een goede interactie-interactie tussen mens en computer, die de detectie, monitoring en controle van de productieomgeving en verschillende openbare apparatuur van het vermogen kan realiseren en kan worden toegepast op schone kamerbesturing met behulp van computertechnologie. Wanneer de parameterindexvereisten van de Clean Room niet erg streng zijn, kunnen conventionele instrumenten ook worden gebruikt voor controle. Ongeacht welke methode ook wordt gebruikt, de controle -nauwkeurigheid moet echter voldoen aan de productie -eisen, een stabiele en betrouwbare werking moet bereiken en energiebesparing en emissiereductie moet bereiken.
Posttijd: 23-2024