1. Relevante beleidslijnen en richtlijnen voor het ontwerp van cleanrooms
Het ontwerp van een cleanroom moet aansluiten op relevant nationaal beleid en richtlijnen, en moet voldoen aan eisen zoals technologische vooruitgang, economische rationaliteit, veiligheid en toepasbaarheid, kwaliteitsborging, behoud en milieubescherming. Het cleanroomontwerp moet de noodzakelijke voorwaarden scheppen voor de bouw, installatie, testen, onderhoud en veilige werking, en moet voldoen aan de relevante eisen van de huidige nationale normen en specificaties.
2. Algemeen cleanroomontwerp
(1). De locatie van de cleanroom moet worden bepaald op basis van behoeften, economische overwegingen, enz. Deze moet zich bevinden in een gebied met een lagere atmosferische stofconcentratie en een betere natuurlijke omgeving; de cleanroom moet ver verwijderd zijn van spoorwegen, havens, luchthavens, verkeersaders en gebieden met ernstige luchtvervuiling, trillingen of geluidsoverlast, zoals fabrieken en magazijnen die grote hoeveelheden stof en schadelijke gassen uitstoten. De cleanroom moet worden geplaatst in delen van de fabriek waar de omgeving schoon is en waar de stroom van mensen en goederen niet of nauwelijks voorkomt (specifieke referentie: cleanroom ontwerptekening).
(2). Wanneer er een schoorsteen is aan de loefzijde van de cleanroom met de hoogste windfrequentie, mag de horizontale afstand tussen de cleanroom en de schoorsteen niet minder zijn dan 12 keer de hoogte van de schoorsteen, en mag de afstand tussen de cleanroom en de hoofdweg niet minder zijn dan 50 meter.
(3). Rondom het cleanroomgebouw moet groenvoorziening worden aangebracht. Er kunnen gazons worden aangelegd, bomen die geen schadelijke invloed hebben op de atmosferische stofconcentratie kunnen worden geplant en er kan een groene zone worden gecreëerd. De brandbestrijdingswerkzaamheden mogen echter niet worden belemmerd.
3. Het geluidsniveau in de cleanroom moet aan de volgende eisen voldoen:
(1).Tijdens dynamische tests mag het geluidsniveau in de schone werkplaats niet hoger zijn dan 65 dB(A).
(2). Tijdens de luchttoestandstest mag het geluidsniveau van de cleanroom met turbulente stroming niet hoger zijn dan 58 dB(A), en het geluidsniveau van de cleanroom met laminaire stroming niet hoger dan 60 dB(A).
(3.) Bij de horizontale en dwarsdoorsnede-indeling van de cleanroom moet rekening worden gehouden met de eisen voor geluidsbeheersing. De behuizing moet een goede geluidsisolatie hebben en de mate van geluidsisolatie van elk onderdeel moet gelijk zijn. Voor diverse apparatuur in de cleanroom moeten geluidsarme producten worden gebruikt. Voor apparatuur waarvan het uitgestraalde geluid de toegestane waarde voor een cleanroom overschrijdt, moeten speciale geluidsisolerende voorzieningen (zoals geluidsisolerende ruimtes, geluidsisolerende afdekkingen, enz.) worden geïnstalleerd.
(4). Wanneer het geluid van het gezuiverde airconditioningsysteem de toegestane waarde overschrijdt, moeten beheersmaatregelen zoals geluidsisolatie, geluidsdemping en geluidstrillingsisolatie worden genomen. Naast de afvoer van schadelijke stoffen moet het afvoersysteem in de cleanroom zodanig worden ontworpen dat het geluid wordt gereduceerd. Bij het ontwerp van de geluidsbeheersing in de cleanroom moet rekening worden gehouden met de eisen aan de luchtkwaliteit in de productieomgeving, en de zuiveringsomstandigheden in de cleanroom mogen niet worden beïnvloed door de geluidsbeheersing.
4. Trillingsbeheersing in een cleanroom
(1). Actieve trillingsisolatiemaatregelen moeten worden genomen voor apparatuur (inclusief waterpompen, enz.) met sterke trillingen in de cleanroom en de omliggende hulpstations en de leidingen die naar de cleanroom leiden.
(2). Diverse trillingsbronnen binnen en buiten de cleanroom moeten worden gemeten om hun algehele trillingsimpact op de cleanroom te bepalen. Indien de omstandigheden dit toelaten, kan de algehele trillingsimpact ook op basis van ervaring worden beoordeeld. Deze moet worden vergeleken met de toelaatbare omgevingstrillingswaarden voor precisieapparatuur en precisie-instrumenten om de noodzakelijke trillingsisolatiemaatregelen te bepalen. Trillingsisolatiemaatregelen voor precisieapparatuur en precisie-instrumenten moeten rekening houden met eisen zoals het verminderen van de hoeveelheid trillingen en het handhaven van een redelijke luchtstroomorganisatie in de cleanroom. Bij gebruik van een luchtgeveerde trillingsisolatievoet moet de luchtbron zodanig worden behandeld dat deze het vereiste luchtzuiverheidsniveau van de cleanroom bereikt.
5. Bouwvoorschriften voor cleanrooms
(1). Het bouwplan en de ruimtelijke indeling van de cleanroom moeten voldoende flexibel zijn. De hoofdstructuur van de cleanroom mag geen dragende functie hebben in de binnenwanden. De hoogte van de cleanroom wordt bepaald door de netto hoogte, die gebaseerd moet zijn op een basismodulus van 100 millimeter. De duurzaamheid van de hoofdstructuur van de cleanroom moet afgestemd zijn op het niveau van de binneninrichting en decoratie, en moet brandwerend, temperatuurbestendig en bestand tegen ongelijkmatige verzakking zijn (in aardbevingsgebieden moet voldaan worden aan de aardbevingsvoorschriften).
(2). Vormvervormingsvoegen in fabrieksgebouwen moeten voorkomen dat ze door cleanrooms lopen. Wanneer de retourluchtkanalen en andere leidingen onzichtbaar moeten worden aangelegd, moeten technische tussenverdiepingen, technische tunnels of sleuven worden gecreëerd; wanneer verticale leidingen die door de buitenste lagen lopen onzichtbaar moeten worden aangelegd, moeten technische schachten worden gecreëerd. Voor multifunctionele fabrieken met zowel algemene productie als cleanroomproductie moeten het ontwerp en de structuur van het gebouw geen nadelige gevolgen hebben voor de cleanroomproductie wat betreft personenstromen, logistiek transport en brandpreventie.
6. Reinigingsfaciliteiten voor personeel en materiaal in cleanrooms
(1). Ruimtes en voorzieningen voor de reiniging van personeel en materiaal moeten in de cleanroom worden ingericht, en woonruimtes en andere ruimtes kunnen naar behoefte worden ingericht. Ruimtes voor de reiniging van personeel moeten onder andere opslagruimtes voor regenkleding, managementruimtes, schoenkleedkamers, jassenkasten, toiletten, ruimtes voor schone werkkleding en doucheruimtes met luchtcirculatie omvatten. Woonruimtes zoals toiletten, doucheruimtes en lounges, evenals andere ruimtes zoals was- en droogruimtes voor werkkleding, kunnen naar behoefte worden ingericht.
(2). De in- en uitgangen van de cleanroom voor apparatuur en materialen moeten zijn uitgerust met materiaalzuiveringsruimten en -voorzieningen die zijn afgestemd op de aard en vorm van de apparatuur en materialen. De indeling van de materiaalzuiveringsruimte moet voorkomen dat de gezuiverde materialen tijdens het transportproces worden verontreinigd.
7. Brandpreventie en evacuatie in een cleanroom
(1). De brandwerendheidsklasse van een cleanroom mag niet lager zijn dan niveau 2. Het plafondmateriaal moet onbrandbaar zijn en de brandwerendheidsgrens mag niet minder dan 0,25 uur bedragen. De brandrisico's van algemene productiewerkplaatsen in een cleanroom kunnen worden geclassificeerd.
(2). Voor cleanrooms moeten fabrieken met één verdieping worden gebruikt. De maximaal toegestane oppervlakte van de brandwerende ruimte is 3000 vierkante meter voor een fabrieksgebouw met één verdieping en 2000 vierkante meter voor een fabrieksgebouw met meerdere verdiepingen. De plafonds en wandpanelen (inclusief interne vullingen) moeten onbrandbaar zijn.
(3). In een complex fabrieksgebouw in een brandpreventiezone moet een onbrandbare scheidingswand worden aangebracht om de ruimte tussen de schone productiezone en de algemene productiezone af te sluiten. De brandwerendheid van de scheidingswanden en de bijbehorende daken mag niet minder dan 1 uur bedragen, en de brandwerendheid van deuren en ramen in de scheidingswanden mag niet minder dan 0,6 uur bedragen. Holtes rond leidingen die door scheidingswanden of plafonds lopen, moeten hermetisch worden opgevuld met onbrandbare materialen.
(4). De wand van de technische schacht moet onbrandbaar zijn en de brandwerendheid ervan mag niet minder dan 1 uur bedragen. De brandwerendheid van de inspectiedeur in de schachtwand mag niet minder dan 0,6 uur bedragen; in de schacht moeten op elke verdieping of met tussenruimte tussen de verdiepingen onbrandbare materialen met een brandwerendheid gelijk aan die van de verdieping worden gebruikt als horizontale brandwerende scheiding; rond de leidingen die door de horizontale brandwerende scheiding lopen, moeten de openingen hermetisch worden opgevuld met onbrandbare materialen.
(5). Het aantal veiligheidsuitgangen per productieverdieping, per brandbeveiligingszone of per cleanroom mag niet minder dan twee zijn. De kleuren in een cleanroom moeten licht en zacht zijn. De lichtreflectiecoëfficiënt van elk binnenoppervlakmateriaal moet 0,6-0,8 zijn voor plafonds en wanden; 0,15-0,35 voor de vloer.
Geplaatst op: 06-02-2024