1. Relevante beleidslijnen en richtlijnen voor het ontwerp van cleanrooms
Het ontwerp van cleanrooms moet voldoen aan relevante nationale beleidslijnen en richtlijnen en moet voldoen aan eisen zoals technologische vooruitgang, economische rationaliteit, veiligheid en toepassing, kwaliteitsborging, behoud en milieubescherming. Het ontwerp van cleanrooms moet de noodzakelijke voorwaarden creëren voor constructie, installatie, testen, onderhoudsbeheer en veilige werking, en moet voldoen aan de relevante eisen van de huidige nationale normen en specificaties.
2. Algemeen ontwerp van de cleanroom
(1). De locatie van de cleanroom moet worden bepaald op basis van behoeften, economie, enz. Deze moet zich bevinden in een gebied met een lagere atmosferische stofconcentratie en een betere natuurlijke omgeving; deze moet ver verwijderd zijn van spoorwegen, dokken, luchthavens, verkeersaders en gebieden met ernstige luchtvervuiling, trillingen of geluidsoverlast, zoals fabrieken en magazijnen die grote hoeveelheden stof en schadelijke gassen uitstoten; de cleanroom moet zich bevinden in delen van de fabriek waar de omgeving schoon is en waar de stroom van mensen en goederen elkaar niet of zelden kruist (specifieke referentie: ontwerpplan voor cleanrooms).
(2). Wanneer er zich aan de windzijde van de schone ruimte een schoorsteen bevindt met de windfrequentie van de grootste omvang, mag de horizontale afstand tussen de schone ruimte en de schoorsteen niet minder zijn dan 12 maal de hoogte van de schoorsteen, en mag de afstand tussen de schone ruimte en de hoofdverkeersweg niet minder zijn dan 50 meter.
(3) Rondom het cleanroomgebouw moet groen worden aangelegd. Er kunnen gazons worden aangelegd, bomen die geen schadelijke invloed hebben op de stofconcentratie in de atmosfeer kunnen worden geplant en er kan een groenzone worden aangelegd. Brandbestrijdingswerkzaamheden mogen echter niet worden gehinderd.
3. Het geluidsniveau in een cleanroom moet aan de volgende eisen voldoen:
(1). Tijdens dynamische testen mag het geluidsniveau in de schone werkplaats niet hoger zijn dan 65 dB(A).
(2). Tijdens de luchttoestandstest mag het geluidsniveau van de cleanroom met turbulente stroming niet meer bedragen dan 58 dB(A), en het geluidsniveau van de cleanroom met laminaire stroming niet meer dan 60 dB(A).
(3.) De horizontale en dwarsdoorsnede-indeling van de cleanroom moet rekening houden met de eisen voor geluidsbeheersing. De behuizing moet een goede geluidsisolatie hebben en de geluidsisolatiewaarde van elk onderdeel moet vergelijkbaar zijn. Geluidsarme producten moeten worden gebruikt voor diverse apparatuur in een cleanroom. Voor apparatuur waarvan het uitgestraalde geluid de toegestane waarde van een cleanroom overschrijdt, moeten speciale geluidsisolatievoorzieningen (zoals geluidsisolatieruimtes, geluidsisolatieafdekkingen, enz.) worden geïnstalleerd.
(4). Wanneer het geluid van het gereinigde airconditioningsysteem de toegestane waarde overschrijdt, moeten maatregelen worden genomen zoals geluidsisolatie, geluidseliminatie en geluidstrillingenisolatie. Naast ongevalsafzuiging moet het afzuigsysteem in de schone werkplaats ook zo zijn ontworpen dat het geluid wordt verminderd. Bij het ontwerp van de geluidsbeheersing van de cleanroom moet rekening worden gehouden met de eisen voor luchtzuiverheid in de productieomgeving, en de zuiveringsomstandigheden van de cleanroom mogen niet worden beïnvloed door geluidsbeheersing.
4. Trillingscontrole in cleanrooms
(1). Er moeten actieve trillingsisolatiemaatregelen worden genomen voor apparatuur (inclusief waterpompen, enz.) met sterke trillingen in de cleanroom en de omliggende hulpstations en de leidingen die naar de cleanroom leiden.
(2). Verschillende trillingsbronnen binnen en buiten de cleanroom moeten worden gemeten op hun algehele trillingsimpact op de cleanroom. Indien beperkt door de omstandigheden, kan de algehele trillingsimpact ook worden geëvalueerd op basis van ervaring. Deze moet worden vergeleken met de toegestane omgevingstrillingswaarden van precisieapparatuur en precisie-instrumenten om de benodigde trillingsisolatiemaatregelen te bepalen. Trillingsisolatiemaatregelen voor precisieapparatuur en precisie-instrumenten moeten rekening houden met vereisten zoals het verminderen van de hoeveelheid trillingen en het handhaven van een redelijke luchtstroomorganisatie in de cleanroom. Bij gebruik van een trillingsisolatievoetstuk met luchtveer moet de luchtbron zo worden verwerkt dat deze het luchtreinheidsniveau van een cleanroom bereikt.
5. Vereisten voor de constructie van schone ruimtes
(1). Het bouwplan en de ruimtelijke indeling van de cleanroom moeten voldoende flexibiliteit bieden. De hoofdstructuur van de cleanroom mag geen dragende binnenmuren hebben. De hoogte van de cleanroom wordt bepaald door de netto hoogte, die gebaseerd moet zijn op een basismodulus van 100 millimeter. De duurzaamheid van de hoofdstructuur van de cleanroom wordt afgestemd op het niveau van de binnenuitrusting en decoratie, en moet brandwerend, temperatuurvervormingsbeperkend en bestand tegen ongelijkmatige verzakking zijn (seismische gebieden moeten voldoen aan de voorschriften voor seismisch ontwerp).
(2). Vervormingsvoegen in fabrieksgebouwen moeten voorkomen dat ze door de cleanroom lopen. Wanneer de retourluchtleiding en andere leidingen verborgen moeten worden aangelegd, moeten technische tussenverdiepingen, technische tunnels of sleuven worden aangelegd; wanneer verticale leidingen die door de extreme lagen lopen verborgen moeten worden aangelegd, moeten technische schachten worden aangelegd. Voor complete fabrieken met zowel algemene als schone productie, moeten het ontwerp en de structuur van het gebouw negatieve effecten op de schone productie vermijden op het gebied van mensenstromen, logistiek transport en brandpreventie.
6. Reinigingsfaciliteiten voor personeel en materiaal in cleanrooms
(1). Ruimten en faciliteiten voor de reiniging van personeel en materialen dienen in de cleanroom te worden ingericht, en woonruimtes en andere ruimtes dienen naar behoefte te worden ingericht. Ruimten voor de reiniging van personeel dienen opslagruimtes voor regenkleding, managementruimtes, schoenenkleedkamers, garderobes, wasruimtes, ruimtes voor schone werkkleding en doucheruimtes met luchttoevoer te omvatten. Woonkamers zoals toiletten, douches en lounges, evenals andere ruimtes zoals was- en droogruimtes voor werkkleding, kunnen naar behoefte worden ingericht.
(2). De apparatuur en de materiaalingangen en -uitgangen van de cleanroom dienen te zijn uitgerust met materiaalzuiveringsruimten en -faciliteiten, afgestemd op de aard en vorm van de apparatuur en materialen. De indeling van de materiaalzuiveringsruimte dient te voorkomen dat de gezuiverde materialen tijdens het overdrachtsproces verontreinigd raken.
7. Brandpreventie en evacuatie in cleanrooms
(1). De brandwerendheidsgraad van een cleanroom mag niet lager zijn dan niveau 2. Het plafondmateriaal moet onbrandbaar zijn en de brandwerendheidsgrens mag niet minder zijn dan 0,25 uur. De brandgevaren van algemene productiewerkplaatsen in cleanrooms kunnen worden geclassificeerd.
(2). Cleanrooms dienen te worden gebruikt in fabrieken met één verdieping. De maximaal toegestane oppervlakte van de brandmuurruimte is 3000 vierkante meter voor een fabrieksgebouw met één verdieping en 2000 vierkante meter voor een fabrieksgebouw met meerdere verdiepingen. De plafonds en wandpanelen (inclusief interne vullingen) dienen onbrandbaar te zijn.
(3). In een groot fabrieksgebouw in een brandpreventiezone dient een onbrandbare scheidingswand te worden geplaatst om de ruimte tussen de schone productieruimte en de algemene productieruimte af te sluiten. De brandwerendheid van scheidingswanden en de bijbehorende daken mag niet minder zijn dan 1 uur, en de brandwerendheid van deuren en ramen in scheidingswanden mag niet minder zijn dan 0,6 uur. Ruimten rond leidingen die door scheidingswanden of plafonds lopen, dienen dicht te worden opgevuld met onbrandbaar materiaal.
(4). De wand van de technische schacht moet onbrandbaar zijn en de brandwerendheid mag niet minder dan 1 uur bedragen. De brandwerendheid van de inspectiedeur in de schachtwand mag niet minder dan 0,6 uur bedragen. In de schacht moeten op elke verdieping of één verdieping ertussen onbrandbare lichamen worden gebruikt die gelijkwaardig zijn aan de brandwerendheid van de vloer als horizontale brandscheiding. Rond de leidingen die door de horizontale brandscheiding lopen, moeten spleten worden opgevuld met onbrandbaar materiaal.
(5). Het aantal nooduitgangen per productievloer, brandwerende zone of schone ruimte in een cleanroom mag niet minder dan twee bedragen. De kleuren in een cleanroom moeten licht en zacht zijn. De lichtreflectiecoëfficiënt van elk binnenoppervlak moet 0,6-0,8 zijn voor plafonds en wanden; 0,15-0,35 voor de vloer.
Plaatsingstijd: 06-02-2024