- Begrippen gerelateerd aan cleanrooms
Een schone ruimte is een beperkte ruimte met een gecontroleerde concentratie zwevende deeltjes in de lucht. De constructie en het gebruik ervan moeten de introductie, productie en retentie van deeltjes in de ruimte verminderen. Andere relevante parameters in de ruimte, zoals temperatuur, vochtigheid en druk, moeten worden gecontroleerd. Luchtreinheid verwijst naar de hoeveelheid stofdeeltjes in de lucht in een schone omgeving. Hoe hoger de stofconcentratie, hoe lager de reinheid, en hoe lager de stofconcentratie, hoe hoger de reinheid. Het specifieke niveau van luchtreinheid wordt onderscheiden door het luchtreinheidsniveau, en dit niveau wordt uitgedrukt door de getelde stofconcentratie in de lucht tijdens de bedrijfstijd. Zwevende deeltjes verwijzen naar vaste en vloeibare deeltjes met een groottebereik van 0,15 μm in de lucht die worden gebruikt voor de classificatie van luchtreinheid.
- Classificatie van cleanrooms
(1). Volgens het reinheidsniveau wordt het onderverdeeld in niveau 1, niveau 2, niveau 3, niveau 4, niveau 5, niveau 6, niveau 7, niveau 8 en niveau 9. Niveau 9 is het laagste niveau.
(2). Volgens de classificatie van de luchtstroomorganisatie kunnen cleanrooms worden onderverdeeld in drie categorieën: unidirectionele stroming, laminaire stroming en cleanroom. Luchtstroming met parallelle stromingen in één richting en een uniforme windsnelheid op de dwarsdoorsnede. Unidirectionele stroming loodrecht op het horizontale vlak is verticale unidirectionele stroming, en unidirectionele stroming parallel aan het horizontale vlak is horizontale unidirectionele stroming. Cleanroom met turbulente niet-unidirectionele stroming: Een cleanroom met een luchtstroming die niet voldoet aan de definitie van unidirectionele stroming. Cleanroom met gemengde stroming: Een cleanroom met een luchtstroming die unidirectionele en niet-unidirectionele stroming combineert.
(3). Cleanrooms kunnen worden onderverdeeld in industriële cleanrooms en biologische cleanrooms, afhankelijk van de classificatie van zwevende deeltjes in de lucht die moeten worden gecontroleerd. De belangrijkste controleparameters van industriële cleanrooms zijn temperatuur, vochtigheid, luchtsnelheid, luchtstroomorganisatie en reinheid. Het verschil tussen biologische cleanrooms en industriële cleanrooms is dat de controleparameters de concentratie bacteriën in de controleruimte verhogen.
(4). De detectiestatus van cleanrooms kan worden onderverdeeld in drie categorieën.
①Lege, schone ruimte met complete faciliteiten. Alle leidingen zijn aangesloten en in werking, maar er zijn geen productieapparatuur, materialen en productiepersoneel aanwezig.
② Statische cleanroom met complete faciliteiten. De productieapparatuur is in de cleanroom geïnstalleerd en getest op de manier zoals overeengekomen tussen de eigenaar en de leverancier, maar er is geen productiepersoneel aanwezig.
③ Dynamische faciliteiten zijn in een staat van werking op de voorgeschreven manier en er is voorgeschreven personeel op locatie om op de voorgeschreven manier te werken.
- Het verschil tussen cleanroom-airconditioning en algemene airconditioning
Cleanroom airconditioning is een type airconditioningproject. Het stelt niet alleen specifieke eisen aan de temperatuur, luchtvochtigheid en windsnelheid van de binnenlucht, maar stelt ook hogere eisen aan het aantal stofdeeltjes en de bacterieconcentratie in de lucht. Daarom stelt het niet alleen speciale eisen aan het ontwerp en de bouw van ventilatieprojecten, maar ook aan speciale eisen en bijbehorende technische maatregelen voor het ontwerp en de bouw van de gebouwindeling, materiaalkeuze, het bouwproces, bouwpraktijken, water, verwarming en elektriciteit, en het proces zelf. De kosten nemen dienovereenkomstig toe. Belangrijkste parameters
Algemene airconditioning richt zich op de toevoer van temperatuur, vochtigheid en het volume verse lucht, terwijl cleanroom airconditioning zich richt op het regelen van het stofgehalte, de windsnelheid en de ventilatiefrequentie van de binnenlucht. In ruimtes met temperatuur- en vochtigheidsvereisten zijn dit ook de belangrijkste controleparameters. Het bacteriegehalte is ook een van de belangrijkste controleparameters voor biologische cleanrooms. Filtratie betekent dat algemene airconditioning alleen primaire filtratie heeft, en de hogere vereiste is medium filtratie. Cleanroom airconditioning vereist drietraps filtratie, dat wil zeggen primaire, medium en HEPA-drietraps filtratie of grove, medium en sub-HEPA-drietraps filtratie. Naast de drietraps filtratie van het luchttoevoersysteem van de biologische cleanroom, om de speciale geur van dieren te elimineren en vervuiling van het milieu te voorkomen, is het afzuigsysteem ook uitgerust met secundaire HEPA-filtratie of toxische adsorptiefiltratie, afhankelijk van de verschillende situaties.
Vereisten voor binnendruk
Algemene airconditioning stelt geen speciale eisen aan de binnendruk, terwijl schone airconditioning andere eisen stelt aan de positieve drukwaarden van verschillende schone ruimtes om infiltratie van vervuilde lucht van buitenaf of wederzijdse beïnvloeding van verschillende stoffen in verschillende productieruimtes te voorkomen. Er zijn ook eisen aan de regeling van onderdruk in cleanrooms met onderdruk.
Materialen en uitrusting
Cleanroom-airconditioningsystemen stellen speciale eisen aan de selectie van materialen en apparatuur, de verwerkingstechnologie, de verwerkings- en installatieomgeving en de opslagomgeving van apparatuurcomponenten om externe vervuiling te voorkomen. Dit is ook niet het geval bij algemene airconditioningsystemen. Luchtdichtheidseisen: hoewel algemene airconditioningsystemen eisen stellen aan de luchtdichtheid en luchtdoorlatendheid van het systeem, zijn de eisen voor schone airconditioningsystemen veel hoger dan die voor algemene airconditioningsystemen. De detectiemethoden en -normen voor elk proces stellen strenge maatregelen en eisen.
Overige vereisten
Algemene geklimatiseerde ruimtes stellen eisen aan de indeling van het gebouw, thermische engineering, enz., maar besteden weinig aandacht aan materiaalkeuze en luchtdichtheid. Naast de algemene eisen voor het uiterlijk van gebouwen, richt de beoordeling van de bouwkwaliteit door middel van schone airconditioning zich op stofpreventie, het voorkomen van stofvorming en het voorkomen van lekkage. De eisen voor de indeling en overlapping van het bouwproces zijn zeer streng om herbewerking en scheuren die lekkage kunnen veroorzaken te voorkomen. Er worden ook strenge eisen gesteld aan de coördinatie en eisen van andere soorten werkzaamheden, met name gericht op het voorkomen van lekkage, het voorkomen dat vervuilde lucht van buitenaf de cleanroom binnendringt en het voorkomen dat stofophoping de cleanroom vervuilt.
4. Acceptatie van de oplevering van de cleanroom
Na de voltooiing en ingebruikname van de cleanroom zijn prestatiemeting en -acceptatie vereist. Bij revisie of vernieuwing van het systeem moet ook een uitgebreide meting worden uitgevoerd en moet de algemene situatie van de cleanroom vóór de meting volledig worden begrepen. De belangrijkste inhoud omvat de vlak-, doorsnede- en systeemdiagrammen van het zuiveringsluchtbehandelingssysteem en de procesindeling, eisen aan de luchtomgevingsomstandigheden, reinheidsniveau, temperatuur, vochtigheid, windsnelheid, enz., luchtbehandelingsplan, retourlucht, afzuigvolume en luchtstroomorganisatie, zuiveringsplan voor personen en objecten, gebruik van de cleanroom, vervuiling in de fabriek en omgeving, enz.
(1) De inspectie van het uiterlijk van de oplevering van de cleanroom moet voldoen aan de volgende vereisten.
①De installatie van diverse pijpleidingen, automatische brandblusapparatuur en luchtzuiveringsapparatuur (airconditioners, ventilatoren, luchtzuiveringsunits, HEPA-luchtfilters en luchtdouches) moet correct, stevig en dicht zijn en de afwijkingen ervan moeten voldoen aan de relevante voorschriften.
2. De verbinding tussen HEPA- en mediumluchtfilters en het ondersteunende frame en de verbinding tussen het luchtkanaal en de apparatuur moeten betrouwbaar worden afgedicht.
③Verschillende afstelmechanismen moeten goed vastzitten, flexibel zijn om af te stellen en eenvoudig te bedienen.
④Er mag zich geen stof op de zuiveringsluchtbehandelingskast, de statische-drukkast, het luchtkanalensysteem en de toevoer- en retourluchtuitlaten bevinden.
⑤De binnenwand, het plafond en de vloer van de cleanroom moeten glad, vlak, uniform van kleur, stofvrij en vrij van statische elektriciteit zijn.
⑥De afdichting van de toevoer- en retourluchtuitlaten en diverse eindapparatuur, diverse pijpleidingen, verlichtings- en elektriciteitsleidingen en procesapparatuur bij doorvoer in de cleanroom moet strikt en betrouwbaar zijn.
⑦Alle soorten verdeelborden, kasten in cleanrooms en elektrische leidingen en leidingopeningen die de cleanroom binnenkomen, moeten betrouwbaar worden afgedicht.
⑧Alle soorten schilder- en isolatiewerkzaamheden moeten voldoen aan de relevante regelgeving.
(2). Inbedrijfstellingswerkzaamheden voor de oplevering van de cleanroomproductie
①De proefdraai van alle apparatuur met proefdraaivereisten op één machine moet voldoen aan de relevante bepalingen in de technische documentatie van de apparatuur. De algemene eisen voor mechanische apparatuur moeten ook voldoen aan de relevante nationale regelgeving en relevante industrienormen voor de constructie en installatie van mechanische apparatuur. De apparatuur die in een cleanroom moet worden getest, omvat doorgaans airconditioningunits, luchttoevoer- en drukventilatorkasten, afzuigapparatuur, zuiveringswerkbanken, elektrostatische zelfreinigers, schone droogkasten, schone opslagkasten en andere lokale zuiveringsapparatuur, evenals luchtdouches, restdrukventielen, stofzuigapparatuur, enz.
2 Nadat de proefdraai van de enkele machine is gekwalificeerd, moeten de luchtvolume- en luchtdrukregelapparatuur van het luchttoevoer-, retour- en uitlaatsysteem worden ingesteld en afgesteld, zodat de luchtvolumeverdeling van elk systeem voldoet aan de ontwerpvereisten. Het doel van deze testfase is voornamelijk het afstellen en balanceren van het airconditioning- en zuiveringssysteem, dat vaak meerdere keren moet worden herhaald. Deze test is voornamelijk de verantwoordelijkheid van de aannemer en het onderhoudsmanagementpersoneel van de bouwer om zich vertrouwd te maken met het systeem. Op basis hiervan bedraagt de gezamenlijke proefdraaitijd van het systeem, inclusief koude- en warmtebronnen, over het algemeen minimaal 8 uur. Het is vereist dat de koppeling en coördinatie van verschillende apparatuurcomponenten in het systeem, inclusief het zuiveringssysteem, de automatische afstelling, enz., correct werken zonder abnormale verschijnselen.
5. Processtroom van cleanroomdetectie
Alle instrumenten en apparatuur die bij de meting worden gebruikt, moeten volgens de voorschriften worden geïdentificeerd, gekalibreerd of gekalibreerd. Vóór de meting moeten het systeem, de cleanroom, de machinekamer, enz. grondig worden gereinigd; na de reiniging en afstelling van het systeem moet het gedurende een bepaalde periode continu in bedrijf zijn, waarna lekdetectie en andere onderdelen worden gemeten.
(1) De procedure voor het meten in een schone kamer is als volgt:
1. Ventilator blaast lucht;
2. Binnenreiniging;
3. Pas het luchtvolume aan;
4. Installeer een filter met gemiddelde efficiëntie;
5. Installeer een filter met een hoog rendement;
6. Systeemwerking;
7. Lekdetectie van filters met hoge efficiëntie;
8. Pas het luchtvolume aan;
9. Pas het statische drukverschil binnenshuis aan;
10. Pas de temperatuur en de luchtvochtigheid aan;
11. Bepaling van de gemiddelde snelheid en de snelheidsongelijkmatigheid van de dwarsdoorsnede van de cleanroom met éénfasestroom;
12. Meting van de binnenschoonheid;
13. Bepaling van zwevende en bezinkende bacteriën binnenshuis;
14. Werkzaamheden en aanpassingen aan productieapparatuur.
(2) De inspectiebasis omvat specificaties, tekeningen, ontwerpdocumenten en technische gegevens van de apparatuur, die zijn onderverdeeld in de volgende twee categorieën.
1. Ontwerpdocumenten, documenten die ontwerpwijzigingen en relevante overeenkomsten aantonen, en opleveringstekeningen.
2. Technische gegevens van de apparatuur.
3. "Specificaties voor het ontwerp van cleanrooms", "Specificaties voor de acceptatie van de bouwkwaliteit van ventilatie- en airconditioningtechniek" voor constructie en installatie
6. Inspectie-indicatoren
Luchtvolume of luchtsnelheid, statisch drukverschil binnenshuis, luchtreinheidsniveau, ventilatietijden, zwevende en zich vestigende bacteriën binnenshuis, temperatuur en relatieve vochtigheid, gemiddelde snelheid, ongelijkmatigheid van de snelheid, geluid, luchtstroompatroon, zelfreinigende tijd, lekkage van vervuiling, verlichting, formaldehyde en bacterieconcentratie.
(1). Schone operatiekamer van het ziekenhuis: windsnelheid, ventilatietijden, statisch drukverschil, reinheidsniveau, temperatuur en vochtigheid, geluid, verlichting en bacteriële concentratie.
(2). Cleanrooms in de farmaceutische industrie: luchtreinheidsniveau, statisch drukverschil, windsnelheid of luchtvolume, luchtstroompatroon, temperatuur, relatieve vochtigheid, verlichting, geluid, zelfreinigende tijd, lekkage van geïnstalleerde filters, zwevende en bezinkende bacteriën.
(3). Cleanrooms in de elektronica-industrie: luchtreinheidsniveau, statisch drukverschil, windsnelheid of luchtvolume, luchtstroompatroon, temperatuur, relatieve vochtigheid, verlichting, geluid en zelfreinigende tijd.
(4). Cleanrooms in de voedingsindustrie: gerichte luchtstroom, statisch drukverschil, reinheid, zwevende bacteriën in de lucht, neerslaande bacteriën in de lucht, geluid, verlichting, temperatuur, relatieve vochtigheid, zelfreinigende tijd, formaldehyde, luchtsnelheid in de dwarsdoorsnede van het werkgebied van klasse I, luchtsnelheid bij de opening van de ontwikkeling en volume verse lucht.
Plaatsingstijd: 11-03-2025