De installatie van procesapparatuur in een schone kamer moet gebaseerd zijn op het ontwerp en de functie van de schone kamer. De volgende details worden geïntroduceerd.
1. Apparatuurinstallatiemethode: de ideale methode is om de schone kamer te sluiten tijdens de installatieperiode van de apparatuur en een deur te hebben die kan voldoen aan de kijkhoek van de apparatuur of een doorgang reserveren om nieuwe apparatuur door te laten en een schone kamer binnen te gaan in volgorde Om te voorkomen dat een schone kamer in de buurt van de installatieperiode wordt besmet, moeten beschermende maatregelen worden genomen om ervoor te zorgen dat de schone kamer nog steeds voldoet aan de reinheidseisen en het daaropvolgende vereiste werk.
2. Als het werk in Clean Room niet kan worden gestopt tijdens elke installatieperiode, of als er structuren zijn die moeten worden gedemonteerd, moet het rennen van een schone kamer effectief worden geïsoleerd uit het werkgebied: tijdelijke isolatiemuren of partities kunnen worden gebruikt. Om het installatiewerk niet te belemmeren, moet er voldoende ruimte rond de apparatuur zijn. Als de omstandigheden het toelaat, kan de toegang tot het isolatiegebied via servicekanalen of andere niet-kritische gebieden zijn: als dit niet mogelijk is, moeten maatregelen worden genomen om de vervuilingsimpact te minimaliseren die wordt veroorzaakt door het installatiewerkzaamheden. Het isolatiegebied moet gelijke druk of negatieve druk handhaven. De schone luchttoevoer moet worden afgesneden in het hoogbouwgebied om een positieve druk op de omliggende schone kamer te voorkomen. Als de toegang tot het isolatiegebied alleen via een aangrenzende schone kamer is, moeten plakkerige kussens worden gebruikt om vuil op schoenen te verwijderen.
3. Na het betreden van het gebied op hoge hoogte, kunnen wegwerpschoenen of overschrijvingen en werkkleding uit één stuk worden gebruikt om te voorkomen dat de schone kamer vervuilt. Deze wegwerpartikelen moeten worden verwijderd voordat het quarantainegebied wordt verlaten. Methoden voor het bewaken van het gebied rond het isolatiegebied tijdens het installatieproces van apparatuur moeten worden ontwikkeld en de frequentie van monitoring moet worden bepaald om ervoor te zorgen dat elke verontreiniging die in de aangrenzende schone kamer kan lekken wordt gedetecteerd. Nadat de isolatiemaatregelen zijn opgezet, kunnen verschillende vereiste openbare dienstfaciliteiten worden opgezet, zoals elektriciteit, water, gas, vacuüm, perslucht en afvalwaterpijpleidingen, moet de aandacht worden besteed aan het controleren en isoleren Veel mogelijk om onbedoelde verspreiding naar de omliggende schone kamer te voorkomen. Het moet ook effectieve reiniging vergemakkelijken voordat de isolatiebarrière wordt verwijderd. Nadat de openbare dienstfaciliteiten aan de gebruikseisen voldoen, moet het hele isolatiegebied worden gereinigd en ontsmet volgens de voorgeschreven reinigingsprocedures. Alle oppervlakken, inclusief alle muren, apparatuur (vast en beweegbaar) en vloeren, moeten stofzuigers worden, worden weggevaagd en gedweekt, met speciale aandacht worden besteed aan schoonmaakgebieden achter apparatuurbeschermers en onder apparatuur.
4. Een voorlopige test van apparatuurprestaties kan worden uitgevoerd op basis van de werkelijke omstandigheden van de schone kamer en geïnstalleerde apparatuur, maar daaropvolgende acceptatietests moeten worden uitgevoerd wanneer de schone omgevingscondities volledig worden voldaan. Afhankelijk van de voorwaarden op de installatieplaats, kunt u de isolatiemuur zorgvuldig beginnen te ontmantelen; Als de schone luchttoevoer is uitgeschakeld, start u deze opnieuw; De tijd voor deze werkfase moet zorgvuldig worden geselecteerd om interferentie met het normale werk van de schone kamer te minimaliseren. Op dit moment kan het nodig zijn om te meten of de concentratie van deeltjes in de lucht voldoet aan de gespecificeerde vereisten.
5. Reiniging en voorbereiding van het interieur van de apparatuur en belangrijke proceskamers moet worden uitgevoerd onder normale schone kameromstandigheden. Alle interne kamers en alle oppervlakken die in contact komen met het product of betrokken zijn bij producttransport, moeten worden weggevaagd tot het vereiste niveau van netheid. De reinigingsvolgorde van de apparatuur moet van boven naar beneden zijn. Als deeltjes worden verspreid, vallen grotere deeltjes op de bodem van de apparatuur of de grond als gevolg van de zwaartekracht. Reinig het buitenoppervlak van de apparatuur van boven naar beneden. Indien nodig moet oppervlaktedetectie worden uitgevoerd in gebieden waar het product- of productieprocesvereisten van cruciaal belang zijn.
6. Gezien de kenmerken van een schone kamer, met name het grote gebied, hoge investeringen, hoge output en zeer strikte reinheidseisen van hightech cleanroom, is de installatie van productieprocesapparatuur in dit type schone kamer meer vergelijkbaar met dat van gewone schone kamer. Er zijn geen specifieke vereisten. Daartoe heeft de nationale standaard "Code voor de constructie en kwaliteit van de kwaliteit van de kwaliteit" vrijgegeven enkele bepalingen voor de installatie van productieprocesapparatuur in Clean Room, voornamelijk inclusief het volgende.
A. Om verontreiniging of zelfs schade aan een schone kamer (gebied) te voorkomen dat "lege" acceptatie heeft ondergaan tijdens het installatieproces van productieprocesapparatuur, mag het installatieproces van de apparatuur geen overmatige trillingen of kanteling hebben en niet moet zijn Verdeelde en verontreinigende apparatuuroppervlakken.
B. Om de installatie van productieprocesapparatuur in cleanroom (gebied) ordelijk en zonder of met minder zitten te maken en om het schone productiebeheersysteem in een schone kamer te volgen, moet u ervoor zorgen dat het installatieproces van de productieapparatuur wordt beschermd volgens aan de verschillende "afgewerkte producten" en "semi-afgewerkte producten" geaccepteerd in "lege status", materialen, machines, enz. Die moeten worden gebruikt in het installatieproces mag niet worden uitgezonden of kunnen produceren (inclusief in de normale werking van de schone Kamer voor een lange tijd) verontreinigende stoffen dat zijn schadelijk voor de geproduceerde producten. Clean room-materialen die stofvrij, roestvrij, vetvrij zijn en geen stof produceren tijdens gebruik moet worden gebruikt.
C. Het gebouwdecoratieoppervlak van de schone kamer (gebied) moet worden beschermd met schone kamerpanelen, films en andere materialen; De back -plaat van de apparatuur moet worden gemaakt volgens de vereisten van het ontwerp of de apparatuur. Als er geen vereisten zijn, moeten roestvrijstalen platen of plastic platen worden gebruikt. Koolstofstaalprofielen die worden gebruikt voor onafhankelijke stichtingen en vloerversterkingen moeten worden behandeld met anti-corrosie en het oppervlak moet plat en glad zijn; Elastische afdichtmaterialen moeten worden gebruikt voor het afdichten.
D. Materialen moeten worden gemarkeerd met ingrediënten, variëteiten, productiedatum, opslagvaliditeitsperiode, instructies van de bouwmethode en productcertificaten. Machines en gereedschappen die worden gebruikt in Clean Room (gebieden) mogen niet worden verplaatst naar de niet-spleetruimte (gebieden) voor gebruik. Machines en gereedschappen mogen niet worden verplaatst naar Clean Room (gebied) voor gebruik. Machines en gereedschappen die in een schone ruimte worden gebruikt, moeten ervoor zorgen dat de blootgestelde delen van de machine geen stof produceren of maatregelen nemen om te voorkomen dat stof het milieu vervuilt. Veelgebruikte machines en gereedschappen moeten worden schoongemaakt in de luchtsluis voordat ze worden verplaatst naar het schone gebied en moeten voldoen aan de vereisten om olievrij, vuilvrij, stofvrij en roestvrij te zijn, en moeten worden verplaatst na het passeren van de inspectie en bevestiging Een "schone" of "alleen" alleen "bord.
E. De productieprocesapparatuur in Clean Room (gebied) moet worden geïnstalleerd op "specifieke verdiepingen" zoals verhoogde vloeren. De fundering van de apparatuur moet in het algemeen worden ingesteld op de lagere technische mezzaninebloem of op de poreuze plaat; De activiteiten die moeten worden gedemonteerd om de stichting te installeren. De structuur van de vloer na te zijn gesneden met een draagbare elektrische zaag, moet worden versterkt en de belastingdragende capaciteit moet niet lager zijn dan de oorspronkelijke belastingdragende capaciteit. Wanneer een onafhankelijke fundering van een stalen framestructuur wordt gebruikt, moet deze worden gemaakt van gegalvaniseerd materiaal of roestvrij staal en moet het blootgestelde oppervlak plat en glad zijn.
F. Wanneer het installatieproces van productieprocesapparatuur in een schone kamer (gebied) het openen van gaten in wandpanelen, hangende plafonds en verhoogde vloeren vereist, mogen de booractiviteiten de oppervlakken van wandpanelen en hangende plafondpanelen die moeten zijn niet verdelen of vervuilen behouden. Na de opening van de verhoogde vloer moeten de fundering niet op tijd worden geïnstalleerd, moeten veiligheidsgeldrails en gevarenborden worden geïnstalleerd; Nadat de productieapparatuur is geïnstalleerd, moet de opening rond het gat worden verzegeld en moeten de apparatuur- en afdichtingscomponenten in flexibel contact zijn en de verbinding tussen de afdichtingscomponent en het wandpaneel moet strak en stevig zijn; Het afdichtingsoppervlak aan een kant van de werkkamer moet plat en glad zijn.
Posttijd: januari-16-2024