De installatie van procesapparatuur in een cleanroom moet gebaseerd zijn op het ontwerp en de functie van de cleanroom. Hieronder worden de details toegelicht.
1. Installatiemethode van de apparatuur: De ideale methode is om de cleanroom af te sluiten tijdens de installatie van de apparatuur. Er moet een deur aanwezig zijn die het zicht op de apparatuur garandeert, of er moet een doorgang vrijgehouden worden zodat de nieuwe apparatuur de cleanroom kan betreden. Dit om te voorkomen dat de cleanroom tijdens de installatieperiode besmet raakt. Er moeten beschermende maatregelen worden genomen om ervoor te zorgen dat de cleanroom aan de reinheidseisen blijft voldoen en dat de daaropvolgende werkzaamheden probleemloos kunnen worden uitgevoerd.
2. Als de werkzaamheden in de cleanroom tijdens elke installatieperiode niet kunnen worden onderbroken, of als er constructies moeten worden gedemonteerd, moet de cleanroom effectief worden afgescheiden van het werkgebied: hiervoor kunnen tijdelijke scheidingswanden of -wanden worden gebruikt. Om de installatiewerkzaamheden niet te belemmeren, moet er voldoende ruimte rondom de apparatuur zijn. Indien de omstandigheden het toelaten, kan de isolatiezone worden bereikt via servicekanalen of andere niet-kritische gebieden: als dit niet mogelijk is, moeten maatregelen worden genomen om de vervuilingsimpact van de installatiewerkzaamheden te minimaliseren. De isolatiezone moet een gelijke druk of onderdruk hebben. De toevoer van schone lucht moet in het hoogbouwgedeelte worden afgesloten om overdruk in de omliggende cleanroom te voorkomen. Als de isolatiezone alleen toegankelijk is via een aangrenzende cleanroom, moeten kleefpads worden gebruikt om vuil van schoenen te verwijderen.
3. Na het betreden van het hooggelegen gebied kunnen wegwerplaarzen of -overschoenen en werkkleding uit één stuk worden gebruikt om besmetting van de cleanroom te voorkomen. Deze wegwerpartikelen moeten worden verwijderd voordat het quarantainegebied wordt verlaten. Er moeten methoden worden ontwikkeld voor het bewaken van het gebied rond de isolatiezone tijdens de installatie van de apparatuur en de frequentie van deze bewaking moet worden vastgesteld om ervoor te zorgen dat eventuele besmetting die in de aangrenzende cleanroom kan lekken, wordt gedetecteerd. Nadat de isolatiemaatregelen zijn getroffen, kunnen diverse benodigde openbare voorzieningen worden aangelegd, zoals elektriciteit, water, gas, vacuüm, perslucht en afvalwaterleidingen. Er moet zoveel mogelijk aandacht worden besteed aan het beheersen en isoleren van de rook en het stof die tijdens de werkzaamheden ontstaan om onbedoelde verspreiding naar de omliggende cleanroom te voorkomen. Dit moet ook zorgen voor een effectieve reiniging voordat de isolatiebarrière wordt verwijderd. Nadat de openbare voorzieningen aan de gebruikseisen voldoen, moet de gehele isolatiezone worden gereinigd en ontsmet volgens de voorgeschreven reinigingsprocedures. Alle oppervlakken, inclusief alle muren, apparatuur (vast en verplaatsbaar) en vloeren, moeten worden gestofzuigd, afgeweegd en gedweild, met speciale aandacht voor het reinigen van de ruimtes achter beschermkappen en onder de apparatuur.
4. Een voorlopige test van de prestaties van de apparatuur kan worden uitgevoerd op basis van de feitelijke omstandigheden in de cleanroom en met de geïnstalleerde apparatuur, maar de daaropvolgende acceptatietests moeten worden uitgevoerd wanneer volledig aan de voorwaarden voor een schone omgeving is voldaan. Afhankelijk van de omstandigheden op de installatielocatie kan worden begonnen met het voorzichtig demonteren van de scheidingswand; indien de toevoer van schone lucht is uitgeschakeld, moet deze opnieuw worden ingeschakeld; het tijdstip voor deze fase van de werkzaamheden moet zorgvuldig worden gekozen om de verstoring van de normale werking van de cleanroom tot een minimum te beperken. Op dit moment kan het nodig zijn om te meten of de concentratie van zwevende deeltjes voldoet aan de gespecificeerde eisen.
5. Het reinigen en voorbereiden van de binnenkant van de apparatuur en de belangrijkste procesruimtes moet gebeuren onder normale cleanroomomstandigheden. Alle interne ruimtes en alle oppervlakken die in contact komen met het product of betrokken zijn bij producttransport, moeten worden afgeveegd tot het vereiste reinheidsniveau. De reinigingsvolgorde van de apparatuur moet van boven naar beneden zijn. Als deeltjes verspreid zijn, zullen grotere deeltjes door de zwaartekracht naar de bodem van de apparatuur of de grond vallen. Reinig het buitenoppervlak van de apparatuur van boven naar beneden. Indien nodig moet er een deeltjesdetectie op het oppervlak worden uitgevoerd in gebieden waar de product- of productieprocesvereisten kritisch zijn.
6. Gezien de kenmerken van een cleanroom, met name de grote oppervlakte, de hoge investering, de hoge productiecapaciteit en de zeer strenge reinheidseisen van een hightech cleanroom, is de installatie van productieapparatuur in dit type cleanroom vergelijkbaar met die in een gewone cleanroom. Er zijn geen specifieke eisen. Daarom heeft de nationale norm "Code voor de constructie en kwaliteitsacceptatie van cleanrooms" een aantal bepalingen opgenomen voor de installatie van productieapparatuur in cleanrooms, die hoofdzakelijk het volgende omvatten.
A. Om besmetting of zelfs schade aan de cleanroom (het gebied dat "leeg" is bevonden) tijdens de installatie van de productieapparatuur te voorkomen, mag de installatie van de apparatuur geen overmatige trillingen of kanteling met zich meebrengen en mogen de oppervlakken van de apparatuur niet worden verdeeld of besmet.
B. Om de installatie van productieapparatuur in de cleanroom (of cleanroomgebied) ordelijk en met zo min mogelijk zittijd te laten verlopen, en om het cleanroommanagementsysteem te volgen, moet ervoor worden gezorgd dat het installatieproces van de productieapparatuur wordt beschermd volgens de verschillende "eindproducten" en "halffabrikaten" die in "lege toestand" worden geaccepteerd. Materialen, machines, enz. die tijdens het installatieproces moeten worden gebruikt, mogen geen schadelijke stoffen uitstoten of produceren (ook niet tijdens langdurig normaal gebruik van de cleanroom). Er moeten cleanroommaterialen worden gebruikt die stofvrij, roestvrij en vetvrij zijn en tijdens gebruik geen stof produceren.
C. Het decoratieve oppervlak van de cleanroom (of het cleanroomgebied) moet worden beschermd met cleanroompanelen, folies en andere materialen; de achterplaat van de apparatuur moet worden vervaardigd volgens de eisen van het ontwerp of de technische documentatie van de apparatuur. Indien er geen eisen zijn, moeten roestvrijstalen of kunststof platen worden gebruikt. Koolstofstalen profielen die worden gebruikt voor onafhankelijke funderingen en vloerversterkingen moeten worden behandeld met een anticorrosiemiddel en het oppervlak moet vlak en glad zijn; voor het afdichten moeten elastische afdichtingsmaterialen worden gebruikt.
D. Materialen moeten worden gemarkeerd met ingrediënten, varianten, productiedatum, houdbaarheidsperiode, instructies voor de constructiemethode en productcertificaten. Machines en gereedschap die in cleanrooms worden gebruikt, mogen niet naar niet-cleanrooms worden verplaatst voor gebruik. Machines en gereedschap die in cleanrooms worden gebruikt, moeten ervoor zorgen dat de blootgestelde onderdelen van de machine geen stof produceren, of er moeten maatregelen worden genomen om te voorkomen dat stof het milieu vervuilt. Veelgebruikte machines en gereedschap moeten in een luchtsluis worden gereinigd voordat ze naar een cleanroom worden verplaatst en moeten voldoen aan de eisen dat ze olievrij, vuilvrij, stofvrij en roestvrij zijn. Ze mogen pas worden verplaatst nadat ze de inspectie hebben doorstaan en een bordje met "Reinigen" of "Alleen cleanroom" hebben aangebracht.
E. De productieapparatuur in de cleanroom (of cleanroom) moet op "specifieke vloeren" zoals verhoogde vloeren worden geplaatst. De fundering van de apparatuur moet over het algemeen op de lagere technische tussenverdieping of op een poreuze cementvloer worden geplaatst; demontagewerkzaamheden voor de installatie van de fundering zijn noodzakelijk. De vloerconstructie moet na het zagen met een handzaag worden versterkt en het draagvermogen mag niet lager zijn dan het oorspronkelijke draagvermogen. Bij gebruik van een vrijstaande fundering met een stalen frameconstructie moet deze van gegalvaniseerd materiaal of roestvrij staal zijn en moet het zichtbare oppervlak vlak en glad zijn.
F. Wanneer het installatieproces van productieapparatuur in een cleanroom (of cleanroom) het maken van gaten in wandpanelen, systeemplafonds en verhoogde vloeren vereist, mogen de boorwerkzaamheden de oppervlakken van de wandpanelen en systeemplafondpanelen die behouden moeten blijven, niet beschadigen of vervuilen. Als na het openen van de verhoogde vloer de fundering niet tijdig kan worden aangebracht, moeten veiligheidsleuningen en waarschuwingsborden worden geplaatst. Na de installatie van de productieapparatuur moet de opening rond het gat worden afgedicht, waarbij de apparatuur en de afdichtingscomponenten flexibel contact moeten maken en de verbinding tussen de afdichtingscomponent en het wandpaneel strak en stevig moet zijn. Het afdichtingsoppervlak aan één zijde van de werkruimte moet vlak en glad zijn.
Geplaatst op: 16 januari 2024