1. Indeling van de cleanroom
Een cleanroom bestaat over het algemeen uit drie hoofdgedeelten: een schone zone, een semi-schone zone en een hulpzone. Cleanroomindelingen kunnen op de volgende manieren worden ingericht:
(1). Omringende gang: De gang kan ramen hebben of niet en dient als kijkruimte en opslagruimte voor apparatuur. Sommige gangen kunnen ook interne verwarming hebben. Buitenramen moeten dubbelglas zijn.
(2). Binnenste corridor: De cleanroom bevindt zich aan de buitenrand, terwijl de corridor zich binnenin bevindt. Dit type corridor heeft over het algemeen een hoger reinheidsniveau, soms zelfs gelijk aan dat van de cleanroom.
(3). Gang van begin tot eind: De cleanroom bevindt zich aan de ene kant, met semi-schone en hulpruimten aan de andere kant.
(4). Kerncorridor: Om ruimte te besparen en de leidinglengte te verkorten, kan de cleanroom de kern vormen, omringd door diverse hulpruimten en verborgen leidingen. Deze aanpak beschermt de cleanroom tegen de invloed van het buitenklimaat, vermindert het energieverbruik voor koeling en verwarming en draagt bij aan energiebesparing.
2. Routes voor persoonlijke ontsmetting
Om besmetting door menselijke activiteiten tijdens werkzaamheden te minimaliseren, moeten medewerkers zich omkleden in cleanroomkleding en vervolgens douchen, baden en desinfecteren voordat ze de cleanroom betreden. Deze maatregelen worden "personeelsdecontaminatie" of "persoonlijke decontaminatie" genoemd. De kleedruimte in de cleanroom moet geventileerd zijn en een positieve druk hebben ten opzichte van andere ruimtes, zoals de ingang. Toiletten en douches moeten een licht positieve druk hebben, terwijl toiletten en douches een negatieve druk moeten hebben.
3. Routes voor materiaalontsmetting
Alle objecten moeten worden ontsmet voordat ze de cleanroom betreden, oftewel "materiaalontsmetting". De route voor materiaalontsmetting moet gescheiden zijn van de cleanroomroute. Als materialen en personeel de cleanroom alleen vanaf dezelfde locatie kunnen betreden, moeten ze via aparte ingangen naar binnen gaan en moeten de materialen een voorbehandeling ondergaan. Voor toepassingen met minder gestroomlijnde productielijnen kan een tussenopslagfaciliteit in de materiaalroute worden geïnstalleerd. Voor meer gestroomlijnde productielijnen moet een rechtstreekse materiaalroute worden gebruikt, waarbij soms meerdere ontsmettings- en overslagfaciliteiten binnen de route nodig zijn. Wat het systeemontwerp betreft, zullen de grove en fijne zuiveringsfasen van de cleanroom veel deeltjes afblazen, dus het relatief schone gedeelte moet onderdruk of nuldruk worden gehouden. Als het risico op besmetting hoog is, moet ook de inlaatrichting onderdruk worden gehouden.
4. Pijplijnorganisatie
De leidingen in een stofvrije cleanroom zijn zeer complex, daarom zijn ze allemaal op een verborgen manier georganiseerd. Er bestaan verschillende specifieke methoden voor het verborgen organiseren van leidingen.
(1). Technische tussenverdieping
①. Bovenste technische mezzanine. Op deze mezzanine is de doorsnede van de aanvoer- en afvoerluchtkanalen doorgaans het grootst, waardoor dit het eerste onderdeel is waar rekening mee moet worden gehouden. De mezzanine bevindt zich meestal bovenaan, met de elektrische leidingen eronder. Wanneer de bodemplaat van deze mezzanine een bepaald gewicht kan dragen, kunnen filters en afzuigapparatuur erop worden geïnstalleerd.
②. Technische tussenverdieping van de ruimte. In vergelijking met alleen een bovenste tussenverdieping kan deze methode de bedrading en de hoogte van de tussenverdieping verminderen en de technische ruimte besparen die nodig is voor het retourluchtkanaal naar de bovenste tussenverdieping. De stroomvoorziening van de retourluchtventilator kan ook in de onderste ruimte worden geplaatst. De bovenste ruimte van een stofvrije cleanroom op een bepaalde verdieping kan tevens dienen als onderste ruimte van de bovenliggende verdieping.
(2). Horizontale leidingen in de boven- en onderverdiepingen van technische gangen (wanden) worden over het algemeen omgezet in verticale leidingen. De verborgen ruimte waar deze verticale leidingen zich bevinden, wordt een technische gang genoemd. Technische gangen kunnen ook hulpapparatuur bevatten die niet geschikt is voor een cleanroom, en kunnen zelfs dienen als algemene retourluchtkanalen of statische drukkasten. Sommige kunnen zelfs lichtbuisradiatoren bevatten. Omdat dit soort technische gangen (wanden) vaak gebruikmaken van lichtgewicht scheidingswanden, kunnen ze gemakkelijk worden aangepast wanneer processen worden gewijzigd.
(3). Technische schachten: Hoewel technische gangen (wanden) doorgaans geen verdiepingen doorkruisen, worden ze, indien dit wel het geval is, gebruikt als technische schacht. Ze vormen vaak een permanent onderdeel van de gebouwconstructie. Omdat technische schachten verschillende verdiepingen met elkaar verbinden, moet de ruimte tussen verdiepingen, na installatie van de interne leidingen, voor brandbeveiliging worden afgedicht met materialen met een brandwerendheid die niet lager is dan die van de vloerplaat. Onderhoudswerkzaamheden moeten in lagen worden uitgevoerd en inspectieluiken moeten zijn voorzien van brandwerende deuren. Of een technische mezzanine, technische gang of technische schacht nu direct als luchtkanaal dient, het binnenoppervlak moet worden behandeld in overeenstemming met de eisen voor cleanroom-binnenoppervlakken.
(5). Locatie van de machinekamer. Het is het beste om de airconditioningmachinekamer dicht bij de stofvrije cleanroom te plaatsen die een groot luchttoevoervolume vereist, en ernaar te streven de luchtleiding zo kort mogelijk te houden. Om lawaai en trillingen te voorkomen, moeten de stofvrije cleanroom en de machinekamer echter van elkaar gescheiden zijn. Beide aspecten moeten in overweging worden genomen. Scheidingsmethoden omvatten:
1. Structurele scheidingsmethode: (1) Scheidingsmethode met zettingsvoegen. De zettingsvoeg tussen de stofvrije werkplaats en de machinekamer fungeert als scheidingswand. (2) Scheidingsmethode met scheidingswanden. Als de machinekamer dicht bij de stofvrije werkplaats ligt, heeft elke ruimte een eigen scheidingswand in plaats van een gemeenschappelijke wand, met een bepaalde tussenruimte ertussen. (3) Scheidingsmethode met hulpruimtes. Tussen de stofvrije werkplaats en de machinekamer wordt een hulpruimte gecreëerd die als buffer fungeert.
2. Spreidingsmethode: (1) Spreidingsmethode op het dak of plafond: De machinekamer wordt vaak op het dak geplaatst om deze te scheiden van de stofvrije werkplaats eronder. De onderste verdieping van het dak wordt bij voorkeur ingericht als hulp- of beheersruimte, of als technische mezzanine. (2) Ondergrondse verspreiding: De machinekamer bevindt zich in de kelder. (3) Onafhankelijke bouwmethode: Een aparte machinekamer wordt buiten het cleanroomgebouw gebouwd, bij voorkeur zo dicht mogelijk bij de cleanroom. In de machinekamer moet aandacht worden besteed aan trillingsisolatie en geluidsisolatie. De vloer moet waterdicht zijn en voorzien van drainage. Trillingsisolatie: De beugels en funderingen van de trillingsbronnen, zoals ventilatoren, motoren, waterpompen, enz., moeten worden behandeld met een trillingsdempende coating. Indien nodig moet de apparatuur op een betonnen plaat worden geplaatst, die vervolgens moet worden ondersteund door trillingsdempende materialen. Het gewicht van de plaat moet 2 tot 3 keer het totale gewicht van de apparatuur bedragen. Geluidsisolatie: Naast het installeren van een geluiddemper op het systeem, kan in grote machinekamers worden overwogen om materialen met bepaalde geluidsabsorberende eigenschappen op de wanden aan te brengen. Geluidsdichte deuren moeten worden geïnstalleerd. Open geen deuren in de scheidingswand met de schone ruimte.
5. Veilige evacuatie
Omdat een cleanroom een zeer afgesloten gebouw is, is een veilige evacuatie ervan een zeer belangrijk en prominent aspect. Dit hangt nauw samen met de installatie van het luchtzuiveringssysteem. Over het algemeen moet rekening worden gehouden met de volgende punten:
(1). Elke brandveilige of cleanroomruimte op een productievloer moet ten minste twee nooduitgangen hebben. Slechts één nooduitgang is toegestaan als de ruimte kleiner is dan 50 vierkante meter en het aantal werknemers minder dan vijf bedraagt.
(2). Ingangen van cleanrooms mogen niet als evacuatie-uitgangen worden gebruikt. Omdat de routes in cleanrooms vaak kronkelig zijn, kan het voor personeel moeilijk zijn om snel naar buiten te komen als er rook of vuur in de ruimte ontstaat.
(3). Luchtdoucheruimtes mogen niet als algemene toegangswegen worden gebruikt. Deze deuren hebben vaak twee in elkaar grijpende of automatische deuren, en een storing kan de evacuatie aanzienlijk belemmeren. Daarom worden er doorgaans bypassdeuren in doucheruimtes geïnstalleerd, die essentieel zijn als er meer dan vijf medewerkers aanwezig zijn. Normaal gesproken moet het personeel de cleanroom verlaten via de bypassdeur, niet via de luchtdoucheruimte.
(4). Om de binnendruk te handhaven, moeten de deuren van elke cleanroom binnen de cleanroom gericht zijn op de ruimte met de hoogste druk. Dit is gebaseerd op de druk om de deur gesloten te houden, wat duidelijk in strijd is met de eisen voor een veilige evacuatie. Om rekening te houden met de eisen van zowel normale reinheid als noodevacuatie, is bepaald dat deuren tussen schone en niet-schone ruimtes, en deuren tussen schone ruimtes en de buitenlucht, als veiligheidsevacuatiedeuren moeten worden beschouwd en dat de openingsrichting ervan altijd in de evacuatierichting moet zijn. Hetzelfde geldt uiteraard voor individuele veiligheidsdeuren.
Geplaatst op: 9 september 2025