1. Cleanroom-indeling
Een cleanroom bestaat over het algemeen uit drie hoofdruimtes: een schone ruimte, een semi-schone ruimte en een hulpruimte. Cleanrooms kunnen op de volgende manieren worden ingedeeld:
(1). Omliggende gang: De gang kan met of zonder ramen zijn en dient als kijkruimte en opslagruimte voor apparatuur. Sommige gangen kunnen ook intern verwarmd zijn. Buitenramen moeten dubbel glas hebben.
(2). Binnencorridor: De cleanroom bevindt zich aan de buitenkant, terwijl de corridor zich binnenin bevindt. Dit type corridor heeft over het algemeen een hogere reinheidsgraad, zelfs vergelijkbaar met de cleanroom.
(3). End-to-End gang: Aan de ene kant bevindt zich de cleanroom, aan de andere kant de semi-cleanroom en de hulpruimtes.
(4). Kerncorridor: Om ruimte te besparen en de leidingen te verkorten, kan de cleanroom de kern vormen, omgeven door diverse hulpruimtes en verborgen leidingen. Deze aanpak beschermt de cleanroom tegen de invloeden van het buitenklimaat, vermindert het energieverbruik voor koeling en verwarming en draagt bij aan energiebesparing.
2. Persoonlijke ontsmettingsroutes
Om besmetting door menselijke activiteit tijdens de werkzaamheden te minimaliseren, moet personeel zich omkleden in cleanroomkleding en vervolgens douchen, baden en desinfecteren voordat ze de cleanroom betreden. Deze maatregelen worden 'personeelsdecontaminatie' of 'persoonlijke decontaminatie' genoemd. Kleedkamers in de cleanroom moeten geventileerd zijn en een positieve druk hebben ten opzichte van andere ruimtes, zoals de ingang. Toiletten en douches moeten een licht positieve druk hebben, terwijl toiletten en douches een negatieve druk moeten hebben.
3. Routes voor decontaminatie van materialen
Alle objecten moeten worden gedecontamineerd voordat ze de cleanroom betreden, oftewel "materiaaldecontaminatie". De route voor materiaaldecontaminatie moet gescheiden zijn van de cleanroomroute. Als materialen en personeel de cleanroom alleen vanaf dezelfde locatie kunnen betreden, moeten ze via aparte ingangen binnenkomen en moeten de materialen een voorlopige decontaminatie ondergaan. Voor toepassingen met minder gestroomlijnde productielijnen kan een tussenopslagfaciliteit binnen de materiaalroute worden geïnstalleerd. Voor meer gestroomlijnde productielijnen moet een rechtstreekse materiaalroute worden gebruikt, waarbij soms meerdere decontaminatie- en overdrachtsfaciliteiten binnen de route nodig zijn. Wat betreft het systeemontwerp, zullen de grove en fijne zuiveringsstappen van de cleanroom veel deeltjes afblazen, dus het relatief schone gebied moet onder druk of nuldruk worden gehouden. Als het risico op besmetting hoog is, moet de inlaatrichting ook onder druk worden gehouden.
4. Pijpleidingorganisatie
De leidingen in stofvrije cleanrooms zijn zeer complex, dus deze zijn allemaal verborgen georganiseerd. Er zijn verschillende specifieke methoden voor verborgen organisatie.
(1). Technische mezzanine
①. Bovenste technische mezzanine. In deze mezzanine is de doorsnede van de toevoer- en afvoerluchtkanalen over het algemeen het grootst, dus dit is het eerste object dat in aanmerking moet worden genomen. Deze wordt meestal bovenin de mezzanine geplaatst en de elektrische leidingen worden eronder geplaatst. Wanneer de bodemplaat van deze mezzanine een bepaald gewicht kan dragen, kunnen er filters en afzuigapparatuur op worden geïnstalleerd.
②. Technische mezzanine. Vergeleken met alleen de bovenste mezzanine, kan deze methode de bedrading en de hoogte van de mezzanine verminderen en de benodigde technische doorgang voor de retourluchtleiding naar de bovenste mezzanine besparen. De distributie van de retourluchtventilatoren kan ook in de onderste doorgang worden geplaatst. De bovenste doorgang van een stofvrije cleanroom op een bepaalde verdieping kan tevens dienen als de onderste doorgang van de bovenverdieping.
(2). Horizontale leidingen in de bovenste en onderste tussenverdiepingen van technische gangpaden (wanden) worden over het algemeen omgezet in verticale leidingen. De verborgen ruimte waar deze verticale leidingen zich bevinden, wordt een technisch gangpad genoemd. Technische gangpaden kunnen ook hulpapparatuur huisvesten die niet geschikt is voor cleanrooms, en kunnen zelfs dienen als algemene retourluchtkanalen of statische drukboxen. Sommige bieden zelfs plaats aan lichtbuisradiatoren. Omdat dit soort technische gangpaden (wanden) vaak gebruik maken van lichtgewicht scheidingswanden, kunnen ze eenvoudig worden aangepast wanneer processen worden aangepast.
(3). Technische schachten: Hoewel technische gangpaden (wanden) doorgaans geen verdiepingen kruisen, worden ze, wanneer ze dat wel doen, gebruikt als technische schacht. Ze vormen vaak een permanent onderdeel van de gebouwstructuur. Omdat technische schachten verschillende verdiepingen met elkaar verbinden, moet de tussenruimte, na het installeren van interne leidingen, ter brandbeveiliging worden afgedicht met materialen met een brandwerendheid die minimaal gelijk is aan die van de vloerplaat. Onderhoudswerkzaamheden moeten in lagen worden uitgevoerd en inspectiedeuren moeten voorzien zijn van brandwerende deuren. Of een technische mezzanine, technisch gangpad of technische schacht nu direct als luchtkanaal dient, het binnenoppervlak moet worden behandeld volgens de eisen voor binnenoppervlakken van cleanrooms.
(5). Locatie van de machinekamer. Het is het beste om de machinekamer voor de airconditioning dicht bij de stofvrije cleanroom te plaatsen die een groot luchttoevoervolume vereist, en te streven naar een zo kort mogelijke luchtleiding. Om lawaai en trillingen te voorkomen, moeten de stofvrije cleanroom en de machinekamer echter van elkaar gescheiden zijn. Beide aspecten moeten in overweging worden genomen. Scheidingsmethoden omvatten:
1. Structurele scheidingsmethode: (1) Scheidingsmethode met een zettingsvoeg. De zettingsvoeg loopt tussen de stofvrije werkplaats en de machinekamer en fungeert als scheidingswand. (2) Scheidingsmethode met een scheidingswand. Als de machinekamer zich dicht bij de stofvrije werkplaats bevindt, delen ze geen wand, maar hebben ze elk een eigen scheidingswand. Er wordt een bepaalde ruimte tussen de twee scheidingswanden gelaten. (3) Scheidingsmethode met een hulpruimte. Tussen de stofvrije werkplaats en de machinekamer wordt een hulpruimte ingericht die als buffer fungeert.
2. Verspreidingsmethode: (1) Verspreidingsmethode op het dak of plafond: De machinekamer wordt vaak op het bovenste dak geplaatst om deze uit de buurt te houden van de stofvrije werkplaats eronder, maar de onderste verdieping van het dak wordt bij voorkeur ingesteld als een hulp- of managementruimtevloer, of als een technische mezzanine. (2) Ondergronds verdeeld type: De machinekamer bevindt zich in de kelder. (3). Onafhankelijke bouwmethode: Een aparte machinekamer wordt buiten het cleanroomgebouw gebouwd, maar het is het beste om deze heel dicht bij de cleanroom te plaatsen. De machinekamer moet aandacht besteden aan trillingsisolatie en geluidsisolatie. De vloer moet waterdicht zijn en drainagemaatregelen hebben. Trillingsisolatie: De beugels en bases van de trillingsbronventilatoren, motoren, waterpompen, enz. moeten worden behandeld met een trillingsdempende behandeling. Indien nodig moet de apparatuur op een betonnen plaat worden geïnstalleerd en vervolgens moet de plaat worden ondersteund door trillingsdempende materialen. Het gewicht van de plaat moet 2 tot 3 keer het totale gewicht van de apparatuur zijn. Geluidsisolatie: Naast het installeren van een geluiddemper op het systeem, kunnen grote machinekamers overwegen om materialen met bepaalde geluidsabsorberende eigenschappen aan de wanden te bevestigen. Er dienen geluiddichte deuren te worden geïnstalleerd. Open geen deuren in de scheidingswand met de schone ruimte.
5. Veilige evacuatie
Omdat de cleanroom een zeer gesloten gebouw is, is veilige evacuatie ervan een zeer belangrijke en prominente kwestie, die ook nauw verband houdt met de installatie van het zuiveringsluchtbehandelingssysteem. Over het algemeen moeten de volgende punten in acht worden genomen:
(1) Elke brandwerende of cleanroomruimte op een productievloer moet ten minste twee nooduitgangen hebben. Slechts één nooduitgang is toegestaan indien de oppervlakte kleiner is dan 50 vierkante meter en het aantal werknemers minder dan vijf bedraagt.
(2). Ingangen van cleanrooms mogen niet als evacuatie-uitgangen worden gebruikt. Omdat cleanroomroutes vaak omwegen vormen, kan het voor personeel moeilijk zijn om snel naar buiten te komen als er rook of vuur in de ruimte hangt.
(3). Luchtdoucheruimtes mogen niet worden gebruikt als algemene toegangsroutes. Deze deuren hebben vaak twee vergrendelings- of automatische deuren, en een storing kan de evacuatie aanzienlijk beïnvloeden. Daarom worden bypassdeuren meestal in doucheruimtes geïnstalleerd en zijn ze essentieel als er meer dan vijf medewerkers zijn. Normaal gesproken moet personeel de cleanroom verlaten via de bypassdeur, niet via de luchtdoucheruimte.
(4). Om de binnendruk te handhaven, moeten de deuren van elke cleanroom binnen de cleanroom gericht zijn op de ruimte met de hoogste druk. Dit is afhankelijk van de druk om de deur gesloten te houden, wat duidelijk in strijd is met de eisen voor veilige evacuatie. Om rekening te houden met de eisen van zowel normale reinheid als noodevacuatie, is bepaald dat deuren tussen schone en niet-schone zones, en deuren tussen schone en de buitenlucht, als veiligheidsevacuatiedeuren moeten worden beschouwd en dat hun openingsrichting allemaal in de evacuatierichting moet zijn. Hetzelfde geldt uiteraard voor enkelvoudige veiligheidsdeuren.
Plaatsingstijd: 09-09-2025