Naast strikte controle op deeltjes, gelden in elektronische cleanrooms, zoals chip-, geïntegreerde circuit- en schijfproductiewerkplaatsen, ook strengere eisen voor temperatuur- en vochtigheidsregeling, verlichting en micro-schokken. De invloed van statische elektriciteit op de producten wordt strikt geminimaliseerd, zodat de productieomgeving voldoet aan de eisen voor een schone productie van elektronische producten.
De temperatuur en luchtvochtigheid van de cleanroom voor elektronica moeten worden bepaald aan de hand van de eisen van het productieproces. Als er geen specifieke eisen zijn voor het productieproces, kan de temperatuur 20-26 °C zijn en de relatieve luchtvochtigheid 30-70%. De temperatuur in de cleanroom voor personeel en de leefruimte kan 16-28 °C zijn. Volgens de Chinese nationale norm GB-50073, die overeenkomt met de internationale ISO-normen, is het reinheidsniveau van dit type cleanroom 1-9. Bij klasse 1-5 is de luchtstroom unidirectioneel of gemengd; bij klasse 6 is de luchtstroom niet-unidirectioneel en is de luchtverversing 50-60 keer per uur; bij klasse 7 is de luchtstroom niet-unidirectioneel en is de luchtverversing 15-25 keer per uur; bij klasse 8-9 is de luchtstroom niet-unidirectioneel en is de luchtverversing 10-15 keer per uur.
Volgens de huidige specificaties mag het geluidsniveau in een elektronische cleanroom van klasse 10.000 niet hoger zijn dan 65 dB(A).
1. Het aandeel verticale luchtstroom in de cleanroom voor elektronica mag niet minder dan 60% bedragen, en het aandeel horizontale luchtstroom in één richting mag niet minder dan 40% bedragen; anders is er sprake van een gedeeltelijke luchtstroom in één richting.
2. Het statische drukverschil tussen de elektronische cleanroom en de buitenlucht mag niet minder dan 10 Pa bedragen, en het statische drukverschil tussen schone en niet-schone zones met verschillende luchtzuiverheid mag niet minder dan 5 Pa bedragen.
3. De hoeveelheid verse lucht in een cleanroom voor elektronica van klasse 10000 moet de waarde hebben van de volgende twee items.
4. Compenseer de som van het volume aan afgevoerde binnenlucht en het volume aan verse lucht dat nodig is om de positieve binnendruk te handhaven.
5. Zorg ervoor dat de hoeveelheid verse lucht die per persoon per uur in de cleanroom wordt aangevoerd, niet minder is dan 40 vierkante meter.
Geplaatst op: 08-04-2024