Naast strikte controle van deeltjes, hebben elektronische schone kamer weergegeven door chipproductieworkshops, geïntegreerde circuitvrije workshops en workshops voor schijfproductie ook strengere vereisten voor temperatuur- en vochtigheidsregeling, verlichting en micro-schok. Verwijder strikt de impact van statische elektriciteit op productieproducten, zodat het milieu kan voldoen aan de productieprocesvereisten van elektronische producten in een schone omgeving.
De temperatuur en vochtigheid van de elektronische schone kamer moeten worden bepaald volgens de vereisten van de productieproces. Wanneer er geen specifieke vereisten zijn voor het productieproces, kan de temperatuur 20-26 ° C zijn en is de relatieve vochtigheid 30%-70%. De temperatuur van het personeelsruimte en de woonkamer kan 16-28 ℃ zijn. Volgens de Chinese nationale standaard GB-50073, die in overeenstemming is met internationale ISO-normen, is het netheidsniveau van dit type schone kamer 1-9. Onder hen, klasse 1-5, is het luchtstroompatroon een unidirectionele stroom of gemengde stroom; Klasse 6 luchtstroompatroon is niet-unidirectionele stroom en luchtverandering is 50-60 keer/u; Klasse 7 Luchtstroomtype is niet-unidirectionele stroom en luchtverandering is 15-25 keer/u; Klasse 8-9 Luchtstroomtype is niet-unidirectionele stroom, de luchtverandering is 10-15 keer/u.
Volgens de huidige specificaties mag het geluidsniveau binnen klasse 10.000 elektronische schone kamer niet groter zijn dan 65 dB (a).
1. De volledige verhouding van de verticale stroming Clean Room in elektronische schone kamer mag niet minder zijn dan 60%, en de horizontale unidirectionele stromingsruimte mag niet minder zijn dan 40%, anders zal het een gedeeltelijke unidirectionele stroom zijn.
2. Het statische drukverschil tussen elektronische schone kamer en het buitenleven mag niet minder zijn dan 10 pa, en het statische drukverschil tussen schone gebieden en niet-schone gebieden met verschillende luchtreinigheid mag niet minder zijn dan 5Pa.
3. De hoeveelheid frisse lucht in een klasse 10000 elektronische schone kamer moet de waarde van de volgende twee items nemen.
4. Compenseer de som van het binnenuitlaatluchtvolume en het verse luchtvolume dat nodig is om de positieve drukwaarde binnenshuis te behouden.
5. Zorg ervoor dat de hoeveelheid verse lucht die wordt geleverd aan een schone kamer per persoon per uur niet minder dan 40 vierkante meter is.
Posttijd: APR-08-2024