Naast strikte controle op deeltjes, hebben elektronische cleanrooms, vertegenwoordigd door chipproductieworkshops, stofvrije workshops met geïntegreerde schakelingen en werkplaatsen voor schijfproductie, ook strengere eisen voor temperatuur- en vochtigheidscontrole, verlichting en microshocks. Verwijder strikt de impact van statische elektriciteit op productieproducten, zodat het milieu kan voldoen aan de vereisten van het productieproces van elektronische producten in een schone omgeving.
De temperatuur en vochtigheid van de elektronische cleanroom moeten worden bepaald volgens de vereisten van het productieproces. Wanneer er geen specifieke eisen aan het productieproces gesteld worden, kan de temperatuur 20-26°C zijn en de relatieve luchtvochtigheid 30%-70%. De temperatuur van de schone kamer en woonkamer van het personeel kan 16-28 ℃ zijn. Volgens de Chinese nationale norm GB-50073, die in overeenstemming is met de internationale ISO-normen, is het reinheidsniveau van dit type cleanroom 1-9. Onder hen, klasse 1-5, is het luchtstroompatroon eenrichtingsstroom of gemengde stroom; klasse 6 luchtstroompatroon is niet-unidirectionele stroom en luchtverversing is 50-60 keer/uur; klasse 7 luchtstroomtype is een niet-unidirectionele stroom en de luchtverversing is 15-25 keer per uur; klasse 8-9 luchtstroomtype is niet-unidirectionele stroom, de luchtverversing is 10-15 keer/u.
Volgens de huidige specificaties mag het geluidsniveau binnen elektronische cleanrooms van klasse 10.000 niet hoger zijn dan 65 dB(A).
1. De volledige verhouding van de cleanroom met verticale stroom in de elektronische cleanroom mag niet minder zijn dan 60%, en de cleanroom met horizontale unidirectionele stroom mag niet minder zijn dan 40%, anders zal het een gedeeltelijke unidirectionele stroom zijn.
2. Het statische drukverschil tussen de elektronische cleanroom en de buitenlucht mag niet minder zijn dan 10 Pa, en het statische drukverschil tussen schone ruimtes en niet-schone ruimtes met verschillende luchtzuiverheid mag niet minder zijn dan 5 Pa.
3. De hoeveelheid frisse lucht in een elektronische cleanroom van klasse 10.000 moet de waarde aannemen van de volgende twee items.
4. Compenseer de som van het uitlaatluchtvolume binnenshuis en het volume verse lucht dat nodig is om de positieve drukwaarde binnenshuis te behouden.
5. Zorg ervoor dat de hoeveelheid verse lucht die per persoon per uur naar de schone kamer wordt gevoerd, niet minder dan 40 vierkante meter bedraagt.
Posttijd: 08 april 2024