Naast strikte deeltjesbeheersing hanteren elektronische cleanrooms, zoals chipproductiewerkplaatsen, stofvrije werkplaatsen voor geïntegreerde schakelingen en werkplaatsen voor de productie van schijven, ook strengere eisen op het gebied van temperatuur- en vochtigheidsregeling, verlichting en microshockbestendigheid. De impact van statische elektriciteit op productieproducten moet strikt worden geëlimineerd, zodat de omgeving kan voldoen aan de eisen voor het productieproces van elektronische producten in een schone omgeving.
De temperatuur en vochtigheid van de elektronische cleanroom moeten worden bepaald op basis van de vereisten van het productieproces. Wanneer er geen specifieke vereisten voor het productieproces zijn, kan de temperatuur 20-26 °C zijn en de relatieve vochtigheid 30%-70%. De temperatuur van de personeelscleanroom en de woonkamer kan 16-28 °C zijn. Volgens de Chinese nationale norm GB-50073, die in overeenstemming is met de internationale ISO-normen, is het reinheidsniveau van dit type cleanroom 1-9. Hiertoe behoren klasse 1-5, waarbij het luchtstroompatroon unidirectioneel of gemengd is; klasse 6, waarbij het luchtstroompatroon niet-unidirectioneel is en de luchtverversing 50-60 keer/u bedraagt; klasse 7, waarbij het luchtstroomtype niet-unidirectioneel is en de luchtverversing 15-25 keer/u bedraagt; klasse 8-9, waarbij het luchtstroomtype niet-unidirectioneel is en de luchtverversing 10-15 keer/u bedraagt.
Volgens de huidige specificaties mag het geluidsniveau in een elektronische cleanroom van klasse 10.000 niet hoger zijn dan 65 dB(A).
1. De volledige verhouding van de verticale stroming in een cleanroom voor elektronica mag niet minder zijn dan 60%, en de horizontale unidirectionele stroming in een cleanroom mag niet minder zijn dan 40%, anders is er sprake van een gedeeltelijke unidirectionele stroming.
2. Het statische drukverschil tussen de elektronische cleanroom en de buitenlucht mag niet minder dan 10 Pa bedragen. Het statische drukverschil tussen schone en niet-schone ruimtes met verschillende luchtreinheid mag niet minder dan 5 Pa bedragen.
3. De hoeveelheid verse lucht in een elektronische cleanroom van klasse 10000 moet de waarde van de volgende twee items aannemen.
4. Compenseer de som van het volume aan afgevoerde lucht binnenshuis en het volume aan verse lucht dat nodig is om de positieve druk binnenshuis te handhaven.
5. Zorg ervoor dat de hoeveelheid frisse lucht die per persoon per uur naar de schone ruimte wordt gevoerd, niet minder dan 40 vierkante meter bedraagt.
Plaatsingstijd: 08-04-2024