Brandbeveiligingsvoorzieningen vormen een belangrijk onderdeel van een cleanroom. Het belang hiervan is niet alleen te danken aan de hoge kosten van procesapparatuur en bouwprojecten, maar ook aan het feit dat cleanrooms relatief gesloten gebouwen zijn, soms zelfs zonder ramen. De gangen in cleanrooms zijn smal en kronkelig, waardoor het moeilijk is om personeel te evacueren en brand te bestrijden. Om de veiligheid van mensen en eigendommen te waarborgen, moet het brandbeveiligingsbeleid "preventie voorop, gecombineerde preventie en brandbestrijding" in het ontwerp worden toegepast. Naast effectieve brandpreventiemaatregelen in het ontwerp van de cleanroom, moeten ook de nodige brandbestrijdingsvoorzieningen worden geïnstalleerd. De productiekenmerken van cleanrooms zijn:
(1) Er zijn veel precisieapparatuur en -instrumenten, en er wordt gebruik gemaakt van diverse ontvlambare, explosieve, corrosieve en giftige gassen en vloeistoffen. Het brandgevaar van sommige productieonderdelen valt onder categorie C (zoals oxidatiediffusie, fotolithografie, ionenimplantatie, printen en verpakken, enz.), en sommige vallen onder categorie A (zoals het trekken van eenkristallen, epitaxie, chemische dampafzetting, enz.).
(2) De cleanroom is zeer luchtdicht. Als er brand uitbreekt, zal het moeilijk zijn om personeel te evacueren en de brand te blussen.
(3) De bouwkosten van een cleanroom zijn hoog en de apparatuur en instrumenten zijn duur. Als er brand uitbreekt, zullen de economische verliezen enorm zijn.
Op basis van bovenstaande kenmerken stellen cleanrooms zeer hoge eisen aan brandbeveiliging. Naast het brandbeveiligings- en wateraanvoersysteem moeten ook vaste brandblusinstallaties worden geplaatst, met name voor waardevolle apparatuur en instrumenten in de cleanroom.
Geplaatst op: 11 april 2024