Brandbeveiligingsvoorzieningen vormen een belangrijk onderdeel van de cleanroom. Het belang ervan is niet alleen omdat de procesapparatuur en bouwprojecten duur zijn, maar ook omdat cleanrooms relatief gesloten gebouwen zijn, en sommige zelfs werkplaatsen zonder ramen. De doorgangen in de cleanroom zijn smal en kronkelig, waardoor het moeilijk is personeel te evacueren en vuur te leren. Om de veiligheid van mensenlevens en eigendommen te garanderen, moet het brandbeveiligingsbeleid van "preventie eerst, combinatie van preventie en brand" in het ontwerp worden geïmplementeerd. Naast het nemen van effectieve brandpreventiemaatregelen bij het ontwerp van de cleanroom, worden ook de nodige brandbestrijdingsvoorzieningen ingericht. De productiekenmerken van cleanrooms zijn:
(1) Er zijn veel precisieapparatuur en -instrumenten, en er wordt een verscheidenheid aan brandbare, explosieve, corrosieve en giftige gassen en vloeistoffen gebruikt. Het brandgevaar van sommige productieonderdelen behoort tot categorie C (zoals oxidatiediffusie, fotolithografie, ionenimplantatie, bedrukken en verpakken, enz.), en sommige behoren tot categorie A (zoals het trekken van één kristal, epitaxie, chemische dampafzetting, enz. .).
(2) De cleanroom is zeer luchtdicht. Als er eenmaal brand uitbreekt, zal het moeilijk zijn om personeel te evacueren en de brand te blussen.
(3) De bouwkosten van een cleanroom zijn hoog en de apparatuur en instrumenten zijn duur. Zodra er brand uitbreekt, zullen de economische verliezen enorm zijn.
Op basis van bovenstaande kenmerken stellen cleanrooms zeer hoge eisen aan brandbeveiliging. Naast het brandbeveiligings- en watertoevoersysteem moeten ook vaste brandblusapparaten worden geïnstalleerd, vooral waardevolle apparatuur en instrumenten in cleanrooms moeten zorgvuldig worden bepaald.
Posttijd: 11 april 2024