Brandbeveiligingsfaciliteiten zijn een belangrijk onderdeel van de schone kamer. Het belang ervan is niet alleen omdat de procesapparatuur en bouwprojecten duur zijn, maar ook omdat schone kamers relatief gesloten gebouwen zijn, en sommige zijn zelfs workshops zonder ramen. De passages van de schone kamer zijn smal en kronkelig, waardoor het moeilijk is om personeel te evacueren en vuur te onderwijzen. Om de veiligheid van het leven en eigendom van mensen te waarborgen, moet het brandbeveiligingsbeleid van "preventie eerst, het combineren van preventie en brandcombinatie" in het ontwerp worden geïmplementeerd. Naast het nemen van effectieve brandpreventiemaatregelen bij het ontwerp van de schone ruimte, worden ook de noodzakelijke brandbestrijdingsfaciliteiten opgezet. De productiekarakteristieken van schone kamers zijn:
(1) Er zijn veel precisie -apparatuur en instrumenten, en een verscheidenheid aan ontvlambare, explosieve, corrosieve en giftige gassen en vloeistoffen worden gebruikt. Het brandgevaar van sommige productieonderdelen behoort tot categorie C (zoals oxidatiediffusie, fotolithografie, ionenimplantatie, afdrukken en verpakking, enz.), En sommige behoren tot categorie A (zoals enkel kristal trekken, epitaxie, chemische dampafzetting, enz .).
(2) De schone kamer is zeer luchtdicht. Zodra een brand uitbreekt, is het moeilijk om personeel te evacueren en het vuur te blussen.
(3) De bouwkosten van de schone kamer zijn hoog en de apparatuur en instrumenten zijn duur. Zodra een brand uitbreekt, zullen de economische verliezen enorm zijn.
Op basis van bovenstaande kenmerken hebben schone kamers zeer hoge vereisten voor brandbeveiliging. Naast het brandbeveiligings- en watervoorzieningssysteem, moeten ook fixed brandweerapparaten worden geïnstalleerd, met name waardevolle apparatuur en instrumenten in een schone kamer moeten zorgvuldig worden bepaald.
Posttijd: april-11-2024