Brandbeveiligingsvoorzieningen vormen een belangrijk onderdeel van de cleanroom. Deze voorzieningen zijn niet alleen belangrijk vanwege de hoge kosten van procesapparatuur en bouwprojecten, maar ook omdat cleanrooms relatief gesloten gebouwen zijn en sommige zelfs raamloze werkplaatsen. De doorgangen in de cleanroom zijn smal en kronkelig, waardoor het moeilijk is om personeel te evacueren en brand te blussen. Om de veiligheid van mensenlevens en eigendommen te waarborgen, moet het brandbeveiligingsbeleid van "preventie eerst, preventie en brand combineren" in het ontwerp worden geïmplementeerd. Naast het nemen van effectieve brandpreventiemaatregelen in het ontwerp van de cleanroom, worden ook de nodige brandbestrijdingsvoorzieningen getroffen. De productiekenmerken van cleanrooms zijn:
(1) Er zijn veel precisieapparatuur en -instrumenten en er wordt gebruikgemaakt van diverse ontvlambare, explosieve, corrosieve en giftige gassen en vloeistoffen. Het brandgevaar van sommige productieonderdelen valt onder categorie C (zoals oxidatiediffusie, fotolithografie, ionenimplantatie, bedrukking en verpakking, enz.), en sommige onder categorie A (zoals monokristallijne extractie, epitaxie, chemische dampdepositie, enz.).
(2) De cleanroom is zeer luchtdicht. Als er brand uitbreekt, zal het moeilijk zijn om personeel te evacueren en de brand te blussen.
(3) De bouwkosten van een cleanroom zijn hoog en de apparatuur en instrumenten zijn duur. Als er brand uitbreekt, zullen de economische verliezen enorm zijn.
Gezien bovenstaande kenmerken stellen cleanrooms zeer hoge eisen aan brandbeveiliging. Naast het brandbeveiligings- en watervoorzieningssysteem moeten er ook vaste brandblusapparatuur worden geïnstalleerd. Vooral waardevolle apparatuur en instrumenten in cleanrooms moeten zorgvuldig worden geselecteerd.
Plaatsingstijd: 11-04-2024