De optimale waarde van het toevoerluchtvolume in een cleanroom is niet vaststaand, maar hangt af van meerdere factoren, waaronder het reinheidsniveau, de oppervlakte, de hoogte, het aantal personeelsleden en de procesvereisten van de cleanroom. De volgende algemene richtlijnen zijn gebaseerd op een uitgebreide afweging van verschillende factoren.
1. Niveau van reinheid
Bepaal het aantal luchtverversingen op basis van het reinheidsniveau: Het aantal luchtverversingen in een cleanroom is een van de belangrijkste factoren bij het bepalen van het benodigde luchtvolume. Volgens de relevante regelgeving gelden er verschillende eisen voor luchtverversing in cleanrooms met verschillende reinheidsniveaus. Zo is een luchtverversingsfrequentie voor een cleanroom van klasse 1000 minimaal 50 keer per uur, voor een cleanroom van klasse 10000 minimaal 25 keer per uur en voor een cleanroom van klasse 100000 minimaal 15 keer per uur. Deze luchtverversingsfrequenties zijn statische eisen; in de praktijk kan er enige marge worden aangehouden om de reinheid van de cleanroom te garanderen.
ISO 14644-norm: Deze norm is een van de meest gebruikte internationale normen voor luchtvolume en luchtsnelheid in cleanrooms. Volgens de ISO 14644-norm gelden er voor cleanrooms van verschillende niveaus verschillende eisen ten aanzien van luchtvolume en luchtsnelheid. Zo vereist een ISO 5-cleanroom een luchtsnelheid van 0,3-0,5 m/s, terwijl een ISO 7-cleanroom een luchtsnelheid van 0,14-0,2 m/s vereist. Hoewel deze eisen ten aanzien van de luchtsnelheid niet volledig overeenkomen met het toevoerluchtvolume, bieden ze een belangrijke referentie voor het bepalen van het toevoerluchtvolume.
2. Werkplaatsoppervlakte en hoogte
Bereken het volume van de schone werkplaats: Bij de berekening van het toevoerluchtvolume moet rekening worden gehouden met de oppervlakte en de hoogte van de werkplaats om het totale volume te bepalen. Gebruik de formule V = lengte * breedte * hoogte om het volume van de werkplaats te berekenen (V is het volume in kubieke meters).
Bereken het luchttoevoervolume in combinatie met het aantal luchtverversingen: Gebruik op basis van het werkplaatsvolume en het vereiste aantal luchtverversingen de formule Q = V*n om het luchttoevoervolume te berekenen (Q is het luchttoevoervolume in kubieke meters per uur; n is het aantal luchtverversingen).
3. Personeels- en procesvereisten
Vereisten voor de hoeveelheid verse lucht per persoon: Afhankelijk van het aantal personen in de cleanroom wordt de totale hoeveelheid verse lucht berekend op basis van de benodigde hoeveelheid per persoon (meestal 40 kubieke meter per persoon per uur). Deze hoeveelheid verse lucht moet worden opgeteld bij de hoeveelheid toevoerlucht die is berekend op basis van het volume van de werkplaats en de luchtverversing.
Compensatie van het afvoervolume van proceslucht: Als er procesapparatuur in de cleanroom aanwezig is die moet worden afgevoerd, moet het toevoervolume van de lucht worden gecompenseerd op basis van het afvoervolume van de apparatuur om de luchtbalans in de cleanroom te handhaven.
4. Uitgebreide bepaling van het toevoerluchtvolume
Uitgebreide afweging van diverse factoren: Bij het bepalen van het toevoerluchtvolume van de cleanroom moeten al de bovengenoemde factoren uitgebreid in overweging worden genomen. Er kan sprake zijn van wederzijdse beïnvloeding en beperking tussen verschillende factoren, waardoor een uitgebreide analyse en afweging noodzakelijk zijn.
Ruimtereservering: Om de reinheid en operationele stabiliteit van de cleanroom te garanderen, wordt in het ontwerp vaak een bepaalde hoeveelheid luchtvolume gereserveerd. Dit biedt tot op zekere hoogte de mogelijkheid om de impact van noodsituaties of proceswijzigingen op het toevoerluchtvolume op te vangen.
Samenvattend is er geen vaste, geschikte waarde voor het toevoerluchtvolume van de cleanroom, maar moet dit op basis van de specifieke situatie van de cleanroom worden bepaald. In de praktijk is het raadzaam een professioneel cleanroom-engineeringbedrijf te raadplegen om de rationaliteit en effectiviteit van het toevoerluchtvolume te waarborgen.
Geplaatst op: 7 juli 2025