1. Binnen een cleanroom moeten verschillende soorten opslag- en distributieruimtes voor chemicaliën worden ingericht, afhankelijk van de eisen van het productieproces en de fysische en chemische eigenschappen van de chemicaliën. Pijpleidingen moeten worden gebruikt om de benodigde chemicaliën naar de productieapparatuur te transporteren. Opslag- en distributieruimtes voor chemicaliën in een cleanroom bevinden zich doorgaans in een nevenproductiegebied, meestal op de begane grond van een gebouw met één of meerdere verdiepingen, dicht bij een buitenmuur. Chemicaliën moeten gescheiden worden opgeslagen op basis van hun fysische en chemische eigenschappen. Incompatibele chemicaliën moeten in aparte opslag- en distributieruimtes worden geplaatst, gescheiden door massieve scheidingswanden. Gevaarlijke chemicaliën moeten worden opgeslagen in aparte opslag- of distributieruimtes met een brandwerendheid van ten minste 2,0 uur tussen aangrenzende ruimten. Deze ruimten moeten zich bevinden op de begane grond van het productiegebouw, dicht bij een buitenmuur.
2. Cleanrooms in de elektronica-industrie beschikken vaak over opslag- en distributieruimtes voor zuren en basen, evenals voor brandbare oplosmiddelen. Opslag- en distributieruimtes voor zuren bevatten doorgaans systemen voor de opslag en distributie van zwavelzuur, fosforzuur, fluorwaterstofzuur en zoutzuur. Opslag- en distributieruimtes voor basen bevatten doorgaans systemen voor de opslag en distributie van natriumhydroxide, hydroxidekoek, ammoniumhydroxide en tetramethylammoniumhydroxide. Opslag- en distributieruimtes voor brandbare oplosmiddelen bevatten doorgaans systemen voor de opslag en distributie van organische oplosmiddelen zoals isopropylalcohol (IPA). Cleanrooms in fabrieken voor de productie van geïntegreerde schakelingen beschikken ook over opslag- en distributieruimtes voor polijstslurry. Opslag- en distributieruimtes voor chemicaliën bevinden zich doorgaans in ondersteunende productie- of hulpruimtes in de buurt van of grenzend aan cleanrooms, meestal op de begane grond met directe toegang tot de buitenlucht.
3. Opslag- en distributieruimten voor chemicaliën zijn uitgerust met opslagvaten of -tanks met verschillende capaciteiten, afhankelijk van het type, de hoeveelheid en de gebruikseigenschappen van de chemicaliën die nodig zijn voor de productproductie. Volgens de geldende normen en voorschriften moeten chemicaliën gescheiden en geclassificeerd worden opgeslagen. De capaciteit van de gebruikte vaten of tanks moet voldoende zijn voor zeven dagen verbruik van de chemicaliën. Er moeten ook dagelijkse vaten of tanks aanwezig zijn met een capaciteit die voldoende is voor 24 uur verbruik van de chemicaliën die nodig zijn voor de productproductie. Opslag- en distributieruimten voor brandbare oplosmiddelen en oxiderende chemicaliën moeten gescheiden zijn van aangrenzende ruimten door middel van massieve brandwerende wanden met een brandwerendheid van 3,0 uur. Indien ze zich op de begane grond van een gebouw met meerdere verdiepingen bevinden, moeten ze van andere ruimten gescheiden zijn door middel van onbrandbare vloeren met een brandwerendheid van ten minste 1,5 uur. De centrale controlekamer voor het chemische veiligheids- en monitoringsysteem in de cleanroom moet zich in een aparte ruimte bevinden.
4. De hoogte van chemische opslag- en distributieruimten binnen een cleanroom moet worden bepaald op basis van de vereisten voor de apparatuur en de leidingindeling en mag in het algemeen niet minder dan 4,5 meter bedragen. Indien deze zich in het hulpproductiegebied van de cleanroom bevinden, moet de hoogte van de chemische opslag- en distributieruimte overeenkomen met de hoogte van het gebouw.
Geplaatst op: 1 augustus 2025