Regeling van het luchtvolume met drukverschillen is cruciaal om de netheid van een cleanroom te garanderen en de verspreiding van besmetting te voorkomen. Hieronder vindt u duidelijke stappen en methoden om het luchtvolume te regelen op basis van drukverschillen.
1. Het basisdoel van drukverschilregeling van het luchtvolume
Het hoofddoel van luchtvolumeregeling met behulp van drukverschil is het handhaven van een bepaald statisch drukverschil tussen de cleanroom en de omliggende ruimte, om de reinheid van de cleanroom te waarborgen en de verspreiding van verontreinigende stoffen te voorkomen.
2. Strategie voor drukverschilregeling van het luchtvolume
(1). Bepaal de drukverschilvereiste
Bepaal, op basis van de ontwerpspecificaties en de eisen van het productieproces van de cleanroom, of het drukverschil tussen de cleanroom en de omringende ruimte positief of negatief moet zijn. Het drukverschil tussen cleanrooms van verschillende klassen en tussen schone en niet-schone ruimtes mag niet minder zijn dan 5 Pa, en het drukverschil tussen de schone ruimte en de buitenruimte mag niet minder zijn dan 10 Pa.
(2). Bereken het drukverschil in het luchtvolume
Het lekluchtvolume kan worden berekend door het aantal keren dat de lucht in de ruimte moet worden ververst te schatten of door de gap-methode te gebruiken. De gap-methode is redelijker en nauwkeuriger en houdt rekening met de luchtdichtheid en het gap-oppervlak van de behuizing.
Berekeningsformule: LC = µP × AP × ΔP × ρ of LC = α × q × l, waarbij LC het luchtvolume is dat nodig is om het drukverschil in de cleanroom te handhaven, µP de stroomcoëfficiënt is, AP het oppervlak van de opening is, ΔP het statische drukverschil is, ρ de luchtdichtheid is, α de veiligheidsfactor is, q het lekluchtvolume per lengte-eenheid van de opening is en l de lengte van de opening is.
Toegepaste controlemethode:
① Constante luchtvolumeregeling (CAV): Bepaal eerst de referentiefrequentie van het airconditioningsysteem om ervoor te zorgen dat het toevoerluchtvolume consistent is met het ontworpen luchtvolume. Bepaal de verhouding verse lucht en pas deze aan aan de ontwerpwaarde. Pas de hoek van de retourluchtklep van de schone gang aan om ervoor te zorgen dat het drukverschil in de gang binnen het juiste bereik ligt, wat als referentie dient voor de drukverschilregeling in andere ruimtes.
2. Variabele luchtvolumeregeling (VAV): Regel continu het toevoerluchtvolume of afvoerluchtvolume via een elektrische luchtklep om de gewenste druk te behouden. De pure differentiaaldrukregeling (OP) gebruikt een differentiaaldruksensor om het drukverschil tussen de ruimte en de referentiezone te meten en te vergelijken met de ingestelde waarde. Vervolgens regelt de variabele luchtvolume of afvoerluchtvolume via het PID-algoritme.
Inbedrijfstelling en onderhoud van het systeem:
Nadat het systeem is geïnstalleerd, wordt de luchtbalans in bedrijf gesteld om ervoor te zorgen dat het luchtvolume met drukverschil voldoet aan de ontwerpeisen. Controleer en onderhoud het systeem regelmatig, inclusief filters, ventilatoren, luchtkleppen, enz., om stabiele systeemprestaties te garanderen.
3. Samenvatting
Regeling van het luchtvolume door middel van drukverschil is een belangrijke schakel in het ontwerp en beheer van cleanrooms. Door de vraag naar drukverschillen te bepalen, het luchtvolume door drukverschillen te berekenen, geschikte regelmethoden toe te passen en het systeem in bedrijf te stellen en te onderhouden, kunnen de reinheid en veiligheid van de cleanroom worden gewaarborgd en kan de verspreiding van verontreinigende stoffen worden voorkomen.
Plaatsingstijd: 29-07-2025