Het beheersen van het luchtvolume door middel van drukverschil is cruciaal om de reinheid van een cleanroom te garanderen en de verspreiding van verontreiniging te voorkomen. Hieronder volgen duidelijke stappen en methoden om het luchtvolume te regelen voor drukverschil.
1. Het basisdoel van luchtvolumeregeling op basis van drukverschil.
Het voornaamste doel van drukverschilregeling van het luchtvolume is het handhaven van een bepaald statisch drukverschil tussen de cleanroom en de omringende ruimte om de reinheid van de cleanroom te waarborgen en de verspreiding van verontreinigende stoffen te voorkomen.
2. Strategie voor drukverschilregeling van het luchtvolume.
(1). Bepaal de vereiste drukverschil
Bepaal aan de hand van de ontwerp- en productievereisten van de cleanroom of het drukverschil tussen de cleanroom en de omgeving positief of negatief moet zijn. Het drukverschil tussen cleanrooms van verschillende classificaties en tussen schone en niet-schone zones mag niet minder dan 5 Pa bedragen, en het drukverschil tussen de schone zone en de buitenlucht mag niet minder dan 10 Pa bedragen.
(2). Bereken het luchtvolume door drukverschil
Het volume van de luchtlekkage kan worden berekend door het aantal luchtverversingen in de ruimte te schatten of door middel van de spleetmethode. De spleetmethode is redelijker en nauwkeuriger, omdat deze rekening houdt met de luchtdichtheid en de spleetoppervlakte van de behuizing.
Berekeningsformule: LC = µP × AP × ΔP × ρ of LC = α × q × l, waarbij LC het benodigde luchtvolume is om het drukverschil in de cleanroom te handhaven, µP de stromingscoëfficiënt is, AP de spleetoppervlakte is, ΔP het statische drukverschil is, ρ de dichtheid van lucht is, α de veiligheidsfactor is, q het lekvolume per lengte-eenheid van de spleet is en l de spleetlengte is.
Toegepaste controlemethode:
① Constante luchtvolumeregeling (CAV): Bepaal eerst de referentiewerkfrequentie van het airconditioningsysteem om ervoor te zorgen dat het toevoerluchtvolume overeenkomt met het ontworpen luchtvolume. Bepaal de verse-luchtverhouding en stel deze in op de ontwerpwaarde. Stel de retourluchtklephoek van de schone gang zo af dat het drukverschil in de gang binnen het juiste bereik blijft. Deze waarde dient als referentie voor de aanpassing van het drukverschil in andere ruimten.
② Variabele luchtvolumeregeling (VAV): Het toevoer- of afvoerluchtvolume wordt continu aangepast via een elektrische luchtklep om de gewenste druk te handhaven. De pure differentiële drukregeling (OP) maakt gebruik van een differentiële druksensor om het drukverschil tussen de ruimte en een referentiegebied te meten en dit te vergelijken met het ingestelde punt. Vervolgens wordt het toevoer- of afvoerluchtvolume geregeld via een PID-regelalgoritme.
Inbedrijfstelling en onderhoud van het systeem:
Na de installatie van het systeem wordt een luchtbalanscontrole uitgevoerd om te garanderen dat het luchtvolume met drukverschil voldoet aan de ontwerpvereisten. Het systeem, inclusief filters, ventilatoren, luchtregelaars, enz., moet regelmatig worden gecontroleerd en onderhouden om een stabiele werking te waarborgen.
3. Samenvatting
Regeling van het luchtvolume op basis van drukverschil is een cruciale schakel in het ontwerp en beheer van cleanrooms. Door de benodigde drukverschilbehoefte te bepalen, het luchtvolume op basis van het drukverschil te berekenen, geschikte regelmethoden toe te passen en het systeem in bedrijf te stellen en te onderhouden, kunnen de reinheid en veiligheid van de cleanroom worden gewaarborgd en de verspreiding van verontreinigende stoffen worden voorkomen.
Geplaatst op: 29 juli 2025