Afhankelijk van de organisatie van de luchtstroom en de ligging van de verschillende pijpleidingen, evenals de eisen aan de inrichting van de toevoer- en afvoerlucht van het zuiveringsluchtbehandelingssysteem, verlichtingsarmaturen, alarmdetectoren, enz., wordt de cleanroom doorgaans ingericht op de bovenste technische tussenverdieping, de onderste technische tussenverdieping, de technische tussenverdieping of de technische schacht.
Technische mezzanine
Elektrische leidingen in cleanrooms moeten zich in technische tussenverdiepingen of tunnels bevinden. Er moeten halogeenvrije kabels met een laag rookgehalte worden gebruikt. De kabelgoten moeten van onbrandbaar materiaal zijn. Elektrische leidingen in schone productieruimtes moeten verborgen worden aangelegd en er moeten betrouwbare afdichtingsmaatregelen worden genomen bij de verbindingen tussen openingen voor elektrische leidingen en diverse elektrische apparatuur die aan de muur is geïnstalleerd. De bovenste stroomverdelingsmethode in cleanrooms: laagspanningstransmissie- en distributielijnen hanteren over het algemeen twee methoden: de kabelbrug wordt naar de verdeelkast gelegd en de verdeelkast naar de elektrische apparatuur; of de gesloten busleiding met tien stekkerdozen (de aansluiting wordt geblokkeerd wanneer deze niet in gebruik is) van de stekkerdoos naar de elektrische schakelkast van de productieapparatuur of productielijn. Deze laatste stroomverdelingsmethode wordt alleen gebruikt in fabrieken voor elektronica, communicatie, elektrische apparatuur en complete machinefabrieken met lage reinheidseisen. Het kan leiden tot wijzigingen in productieproducten, updates en wijzigingen in productielijnen, en tot verschuivingen, toevoegingen en verwijderingen van productieapparatuur. Het is uiterst praktisch. Het is niet nodig om de stroomverdeelapparatuur en bedrading in de werkplaats aan te passen. U hoeft alleen de stekkerdoos van de busbar te verplaatsen of de reserve stekkerdoos te gebruiken om de stroomkabel naar buiten te leiden.
Mezzaninebedrading
Technische mezzaninebedrading in een cleanroom: Dit dient te worden gebruikt wanneer er een technische mezzanine boven de cleanroom is of wanneer er een systeemplafond boven de cleanroom aanwezig is. Systeemplafonds kunnen worden onderverdeeld in structurele vormen zoals sandwichpanelen van gewapend beton en metalen wandpanelen. Metalen wandpanelen en systeemplafonds worden vaak gebruikt in cleanrooms.
Afdichtingsbehandeling
De bedradingsmethode van de technische mezzanine in een cleanroom verschilt niet veel van de hierboven genoemde stroomverdelingsmethode, maar het moet worden benadrukt dat wanneer kabels en leidingen door het plafond lopen, deze moeten worden afgedicht om te voorkomen dat stof en bacteriën in het plafond de cleanroom binnendringen en om de positieve (negatieve) druk in de cleanroom te behouden. De bovenste mezzanine van een cleanroom met niet-unidirectionele stroming die alleen een bovenste technische mezzanine heeft, wordt meestal aangelegd met ventilatiekanalen voor airconditioning, gasleidingen, waterleidingen, elektrische en communicatieleidingen (sterk- en zwakstroom), bruggen, verzamelrails, enz., en de leidingen zijn vaak kruislings. Het is zeer complex. Uitgebreide planning is vereist tijdens het ontwerp, er worden "verkeersregels" opgesteld en uitgebreide dwarsdoorsnedetekeningen van leidingen zijn vereist om verschillende leidingen op een ordelijke manier te ordenen en de constructie en het onderhoud te vergemakkelijken. Onder normale omstandigheden moeten sterkstroomkabelgoten airconditioningkanalen vermijden en moeten andere leidingen gesloten verzamelrails vermijden. Wanneer de mezzanine in het plafond van de cleanroom hoog is (bijvoorbeeld 2 m en hoger), moeten er verlichtings- en onderhoudsstopcontacten in het plafond worden geïnstalleerd. Ook moeten er brandalarmen worden geïnstalleerd volgens de voorschriften.
Boven- en onder technische mezzanine
Bedrading op de onderste technische tussenverdieping van de cleanroom: De laatste jaren worden in cleanrooms voor grootschalige productie van geïntegreerde chips en LCD-panelen doorgaans meerdere lagen toegepast met een meerlaagse lay-out. Op de bovenste en onderste delen van de schone productielaag worden de bovenste technische tussenverdiepingen ingericht. De vloerhoogte is hoger dan 4,0 m.
Retourluchtplenum
De onderste technische mezzanine wordt meestal gebruikt als retourluchtplenum van het gezuiverde airconditioningsysteem. Afhankelijk van de technische ontwerpvereisten kunnen elektrische leidingen, kabelgoten en gesloten stroomrails in het retourluchtplenum worden gelegd. De laagspanningsdistributiemethode verschilt niet veel van de vorige methode, behalve dat het retourluchtplenum een integraal onderdeel is van het cleanroomsysteem. De leidingen, kabels en stroomrails die in het statische plenum worden gelegd, moeten vooraf worden gereinigd voordat ze worden geïnstalleerd en gelegd om dagelijkse reiniging te vergemakkelijken. De lowtech mezzanine-methode voor elektrische bedrading brengt stroom over naar de elektrische apparatuur in de cleanroom. De transmissieafstand is kort en er zijn weinig tot geen blootgestelde leidingen in de cleanroom, wat de reinheid ten goede komt.
Tunneltype cleanroom
De onderste mezzanine van de cleanroom en de elektrische bedrading op de bovenste en onderste verdiepingen van een cleanroom met meerdere verdiepingen bevinden zich in een schone werkplaats die een tunnelvormige cleanroom of een schone werkplaats met technische gangen en technische schachten gebruikt. Omdat de tunnelvormige cleanroom is ingericht met een schone productieruimte en een ruimte voor hulpapparatuur, bevinden de meeste hulpapparatuur, zoals vacuümpompen, schakelkasten, openbare elektriciteitsleidingen, elektrische leidingen, kabelgoten, gesloten stroomrails en verdeelkasten, zich in de ruimte voor hulpapparatuur. De hulpapparatuur kan stroom- en besturingskabels gemakkelijker aansluiten op elektrische apparatuur in een schone productieruimte.
Technische schacht
Wanneer de cleanroom is uitgerust met technische gangpaden of technische schachten, kan de elektrische bedrading in de bijbehorende technische gangpaden of technische schachten worden geplaatst, afhankelijk van de indeling van het productieproces. Hierbij moet echter wel rekening worden gehouden met de benodigde ruimte voor installatie en onderhoud. Ook de lay-out, installatie- en onderhoudsruimte van andere pijpleidingen en bijbehorende accessoires in dezelfde technische tunnel of schacht moet volledig worden overwogen. Er moet sprake zijn van een algehele planning en uitgebreide coördinatie.
Plaatsingstijd: 1 november 2023