De vaste apparatuur in een cleanroom is nauw verbonden met de cleanroomomgeving. Dit betreft voornamelijk de apparatuur voor het productieproces in een cleanroom en de apparatuur voor het zuiverings- en airconditioningsysteem om aan de reinheidseisen te voldoen. Het onderhoud en beheer van het operationele proces van de apparatuur voor het zuiverings- en airconditioningsysteem in een cleanroom is binnenlands. Er zijn vergelijkbare bepalingen in relevante normen en specificaties in binnen- en buitenland. Hoewel er verschillen zijn in omstandigheden, toepassingsdata, wet- en regelgeving tussen verschillende landen of regio's, en zelfs verschillen in denken en concepten, is het aantal overeenkomsten nog steeds relatief hoog.
1. Onder normale omstandigheden: de reinheid in cleanrooms moet consistent zijn met de stofdeeltjeslimiet in de lucht om te voldoen aan de gespecificeerde testperiode. Cleanrooms (ruimtes) die gelijk zijn aan of strenger zijn dan ISO 5 mogen niet langer dan 6 maanden worden gecontroleerd, terwijl de controlefrequentie van de stofdeeltjeslimieten in de lucht volgens ISO 6 tot en met 9 in GB 50073 maximaal 12 maanden bedraagt. Reinheidsnormen ISO 1 tot en met 3 zijn cyclische controles, ISO 4 tot en met 6 zijn wekelijkse controles en ISO 7 is eens per 3 maanden, en ISO 8 en 9 eens per 6 maanden.
2. Het luchttoevoervolume of de luchtsnelheid en het drukverschil van de cleanroom (ruimte) tonen aan dat deze nog steeds voldoet aan de gespecificeerde testperiode, die 12 maanden bedraagt voor verschillende reinheidsniveaus: GB 50073 vereist dat de temperatuur en luchtvochtigheid van de cleanroom frequent worden gecontroleerd. Reinheidsniveaus ISO 1-3 zijn cyclische monitoring, andere niveaus zijn 2 keer per dienst. Wat betreft de frequentie van het controleren van drukverschillen in de cleanroom, reinheidsniveaus ISO 1-3 zijn cyclische monitoring, ISO 4-6 is wekelijks en ISO 7-9 is maandelijks.
3. Er zijn ook eisen voor het vervangen van HEPA-filters in zuiveringsluchtbehandelingssystemen. HEPA-luchtfilters moeten in de volgende situaties worden vervangen: de luchtstroomsnelheid daalt tot een relatief lage limiet, zelfs na vervanging van de primaire en middelste luchtfilters kan de luchtstroomsnelheid nog steeds niet worden verhoogd; de weerstand van het HEPA-luchtfilter bereikt 1,5 tot 2 keer de oorspronkelijke weerstand; het HEPA-luchtfilter heeft lekken die niet kunnen worden gerepareerd.
4. Het onderhouds- en reparatieproces en de methoden voor vaste apparatuur moeten worden gecontroleerd en mogelijke besmetting van de cleanroomomgeving moeten worden geminimaliseerd. De regelgeving voor cleanroombeheer moet onderhouds- en reparatieprocedures voor apparatuur documenteren om vervuiling in de cleanroomomgeving te beheersen. Daarnaast moet er een preventief onderhoudsplan worden opgesteld om onderhoud of vervanging van apparatuurcomponenten te realiseren voordat ze "bronnen van vervuiling" worden.
5. Vaste apparatuur zal na verloop van tijd slijten, vuil worden of vervuilen als deze niet wordt onderhouden. Preventief onderhoud zorgt ervoor dat apparatuur geen bron van vervuiling wordt. Bij het onderhouden en repareren van apparatuur moeten de nodige beschermende maatregelen worden genomen om besmetting van de cleanroom te voorkomen.
6. Goed onderhoud omvat ook de ontsmetting van het buitenoppervlak. Indien het productieproces dit vereist, moet ook het binnenoppervlak worden ontsmet. Niet alleen moet de apparatuur in werkende staat zijn, maar ook de stappen om verontreiniging aan de binnen- en buitenoppervlakken te verwijderen, moeten in overeenstemming zijn met de procesvereisten. De belangrijkste maatregelen om de verontreiniging die ontstaat tijdens het onderhoud van vaste apparatuur te beheersen, zijn: de te repareren apparatuur moet vóór de reparatie zoveel mogelijk buiten de regio worden verplaatst om de kans op besmetting te verkleinen; indien nodig moet de vaste apparatuur goed worden geïsoleerd van de omliggende cleanroom. Daarna worden grote reparatie- of onderhoudswerkzaamheden uitgevoerd, of worden alle producten in bewerking naar de juiste locatie verplaatst; de cleanroom naast de te repareren apparatuur moet adequaat worden bewaakt om effectieve beheersing van besmetting te garanderen;
7. Onderhoudspersoneel dat in een afgesloten ruimte werkt, mag niet in contact komen met degenen die productie- of procesprocessen uitvoeren. Al het personeel dat apparatuur in een cleanroom onderhoudt of repareert, dient zich te houden aan de regels en voorschriften die voor die ruimte gelden, inclusief het dragen van cleanroomkleding. Draag de vereiste cleanroomkleding in de cleanroom en reinig de ruimte en apparatuur nadat het onderhoud is voltooid.
8. Voordat technici op hun rug moeten liggen of onder de apparatuur moeten gaan liggen om onderhoud uit te voeren, moeten ze eerst de omstandigheden van de apparatuur, productieprocessen, enz. verduidelijken en effectief omgaan met chemicaliën, zuren of biologisch gevaarlijke stoffen voordat ze aan het werk gaan. Er moeten maatregelen worden genomen om de schone kleding te beschermen tegen contact met smeermiddelen of proceschemicaliën en tegen scheuren door de randen van de spiegel. Alle gereedschappen, dozen en karren die worden gebruikt voor onderhouds- of reparatiewerkzaamheden, moeten grondig worden gereinigd voordat ze de cleanroom betreden. Verroeste of gecorrodeerde gereedschappen zijn niet toegestaan. Als deze gereedschappen in een biologische cleanroom worden gebruikt, moeten ze mogelijk ook worden gesteriliseerd of gedesinfecteerd. Technici mogen geen gereedschappen, reserveonderdelen, beschadigde onderdelen of schoonmaakmiddelen in de buurt van werkoppervlakken plaatsen die zijn voorbereid voor product- en procesmaterialen.
9. Tijdens het onderhoud moet er te allen tijde aandacht worden besteed aan de reiniging om ophoping van besmetting te voorkomen. Handschoenen moeten regelmatig worden vervangen om te voorkomen dat de huid wordt blootgesteld aan schone oppervlakken vanwege beschadigde handschoenen. Gebruik indien nodig handschoenen die niet geschikt zijn voor cleanrooms (zoals zuurbestendige, hittebestendige of krasbestendige handschoenen). Deze handschoenen moeten geschikt zijn voor cleanrooms of moeten over een paar cleanroomhandschoenen worden gedragen.
10. Gebruik een stofzuiger bij het boren en zagen. Onderhouds- en bouwwerkzaamheden vereisen meestal het gebruik van boren en zagen. Speciale afdekkingen kunnen worden gebruikt om het gereedschap en de werkgebieden van de boor- en potmachines af te dekken; open gaten die na het boren achterblijven op de grond, muur, zijkant van apparatuur of andere dergelijke oppervlakken, moeten goed worden afgedicht om te voorkomen dat er vuil in de cleanroom terechtkomt. Afdichtingsmethoden omvatten het gebruik van kit, lijm en speciale afdichtplaten. Nadat de reparatiewerkzaamheden zijn voltooid, kan het nodig zijn om de reinheid van de oppervlakken van de gerepareerde of onderhouden apparatuur te controleren.
Plaatsingstijd: 17-11-2023