De bronnen van deeltjes zijn onderverdeeld in anorganische deeltjes, organische deeltjes en levende deeltjes. Voor het menselijk lichaam is het gemakkelijk om ademhalings- en longziekten te veroorzaken, maar het kan ook allergieën en virusinfecties veroorzaken; bij siliciumchips zal de aanhechting van stofdeeltjes vervorming of kortsluiting van geïntegreerde schakelingen veroorzaken, waardoor de chips hun operationele functies verliezen. Daarom is de beheersing van bronnen van microverontreiniging een belangrijk onderdeel geworden van het beheer van cleanrooms.
Het belang van milieucontrole in cleanrooms ligt in het garanderen dat de omgevingsomstandigheden in het productieproces voldoen aan specifieke reinheidsnormen, wat cruciaal is voor veel industrieën. Hieronder volgt het belang en de specifieke rol van milieucontrole in cleanrooms:
1. Zorg voor productkwaliteit
1.1 Voorkom vervuiling: In industrieën zoals halfgeleiders, farmaceutische producten en medische apparatuur kunnen kleine verontreinigende deeltjes productdefecten of defecten veroorzaken. Door de luchtkwaliteit en de deeltjesconcentratie in de cleanroom te controleren, kan effectief worden voorkomen dat deze verontreinigende stoffen het product aantasten.
Naast de initiële investering in hardwareapparatuur vereist het onderhoud en de controle van de netheid van de cleanroom ook een goed "software"-managementsysteem om een goede netheid te behouden. Uit de gegevensresultaten in de bovenstaande figuur blijkt dat de operators de grootste invloed hebben op de netheid van de cleanroom. Wanneer de operators de cleanroom betreden, neemt het stof aanzienlijk toe. Wanneer er mensen heen en weer lopen, gaat de netheid direct achteruit. Het is duidelijk dat de belangrijkste reden voor de verslechtering van de netheid menselijke factoren zijn.
1.2 Consistentie: De cleanroomomgeving helpt de consistentie en herhaalbaarheid van het productieproces te behouden, waardoor een stabiele productkwaliteit wordt gegarandeerd.
Wat het glassubstraat betreft, zal de hechting van stofdeeltjes krassen op het glassubstraat, kortsluitingen en luchtbellen en andere slechte proceskwaliteit veroorzaken, resulterend in sloop. Daarom is de beheersing van bronnen van vervuiling een belangrijk onderdeel geworden van het beheer van cleanrooms.
Externe stofindringing en preventie
De cleanroom moet de juiste positieve druk behouden (>0,5 mm/Hg), goed werk leveren tijdens het voorbereidende bouwproject om ervoor te zorgen dat er geen luchtlekkage is, en voordat personeel, apparatuur, grondstoffen, gereedschappen, verbruiksartikelen, enz. worden aangevoerd. in de schone ruimte worden gebracht, moeten ze worden schoongemaakt en afgeveegd, enz. Acties ter voorkoming van stof. Tegelijkertijd moeten schoonmaakgereedschappen op de juiste manier worden geplaatst en regelmatig worden vervangen of gereinigd.
Stofontwikkeling en -preventie in cleanrooms
Een juiste selectie van cleanroommaterialen zoals scheidingswanden en vloeren, controle van procesapparatuur, dwz regelmatig onderhoud en reiniging, het productiepersoneel mag niet rondlopen of grote lichaamsbewegingen maken op hun locaties, en preventieve maatregelen zoals het toevoegen van kleverige matten zijn noodzakelijk. genomen op speciale stations.
2. Verbeter de productie-efficiëntie
2.1 Verlaag het schrootpercentage: Door het verminderen van onzuiverheden en verontreinigende stoffen in het productieproces kan het schrootpercentage worden verlaagd, kan de opbrengst worden verhoogd en kan de productie-efficiëntie worden verbeterd.
Bijvoorbeeld: Er zijn 600 stappen bij de productie van wafels. Als de opbrengst van elk proces 99% is, wat is dan de totale opbrengst van 600 procesprocedures? Antwoord: 0,99^600 = 0,24%.
Om een proces economisch haalbaar te maken, hoe hoog moet de opbrengst van elke stap zijn?
•0,999^600= 54,8%
•0,9999^600=94,2%
Elke procesopbrengst moet meer dan 99,99% bereiken om aan de uiteindelijke procesopbrengst van meer dan 90% te voldoen, en de verontreiniging van microdeeltjes zal de procesopbrengst rechtstreeks beïnvloeden.
2.2 Versnel het proces: Werken in een schone omgeving kan onnodige schoonmaak- en herbewerkingstijd verminderen, waardoor het productieproces efficiënter wordt.
3. Zorg voor de gezondheid en veiligheid van het personeel
3.1 Gezondheid op het werk: Voor sommige productieprocessen waarbij schadelijke stoffen vrij kunnen komen, kunnen cleanrooms voorkomen dat schadelijke stoffen zich naar de externe omgeving verspreiden en de gezondheid van werknemers beschermen. Sinds de ontwikkeling van de mensheid zijn de technologie, apparatuur en kennis verbeterd, maar is de luchtkwaliteit achteruitgegaan. Een mens inhaleert tijdens zijn leven ongeveer 270.000 M3 lucht en brengt 70% tot 90% van zijn tijd binnenshuis door. Kleine deeltjes worden door het menselijk lichaam ingeademd en in het ademhalingssysteem afgezet. Deeltjes van 5 tot 30 µm worden afgezet in de nasopharynx, deeltjes van 1 tot 5 µm worden afgezet in de luchtpijp en de bronchiën, en deeltjes kleiner dan 1 µm worden afgezet in de alveolaire wand.
Mensen die lange tijd in een kamer verblijven met onvoldoende frisse lucht, zijn vatbaar voor het ‘binnensyndroom’, met symptomen zoals hoofdpijn, benauwdheid op de borst en vermoeidheid, en zijn ook vatbaar voor ziekten van de luchtwegen en het zenuwstelsel. De nationale norm GB/T18883-2002 van mijn land bepaalt dat het volume verse lucht niet minder dan 30 m³/u mag bedragen. persoon.
Het volume verse lucht van de cleanroom moet de maximale waarde van de volgende twee items aannemen:
A. De som van het luchtvolume dat nodig is om het uitlaatgasvolume binnenshuis te compenseren en de positieve drukwaarde binnenshuis te garanderen.
B. Zorg voor de frisse lucht die het cleanroompersoneel nodig heeft. Volgens de ontwerpspecificaties van de cleanroom bedraagt het volume verse lucht per persoon per uur niet minder dan 40 m3.
3.2 Veilige productie: Door omgevingsparameters zoals vochtigheid en temperatuur te beheersen, kunnen veiligheidsrisico's zoals elektrostatische ontladingen worden vermeden om de productieveiligheid te garanderen.
4. Voldoen aan wettelijke en standaardvereisten
4.1 Industrienormen: Veel industrieën hanteren strikte normen voor reinheid (zoals ISO 14644) en de productie moet worden uitgevoerd in cleanrooms van specifieke kwaliteiten. Naleving van deze normen is niet alleen een wettelijke vereiste, maar ook een weerspiegeling van het concurrentievermogen van bedrijven.
Voor een schone werkbank, een schone schuur, een overdrachtsvenster met laminaire stroming, een ventilatorfiltereenheid FFU, een schone kledingkast, een afzuigkap met laminaire stroming, een weegkap, een schoon scherm, een zelfreiniger en producten uit de luchtdoucheserie, is het noodzakelijk om de methoden voor het testen van de reinheid van bestaande producten om de betrouwbaarheid van producten te verbeteren.
4.2 Certificering en audit: doorloop de audit van externe certificeringsinstanties en verkrijg relevante certificeringen (zoals GMP, ISO 9001, enz.) om het vertrouwen van de klant te vergroten en de markttoegang uit te breiden.
5. Bevorder technologische innovatie
5.1 R&D-ondersteuning: Cleanrooms bieden een ideale experimentele omgeving voor hightech productontwikkeling en helpen de ontwikkeling van nieuwe producten te versnellen.
5.2 Procesoptimalisatie: In een strikt gecontroleerde omgeving is het gemakkelijker om de impact van procesveranderingen op de productprestaties te observeren en analyseren, waardoor procesverbetering wordt bevorderd.
6. Verbeter het merkimago
6.1 Kwaliteitsborging: Het hebben van hoogwaardige, schone productiefaciliteiten kan het merkimago verbeteren en het vertrouwen van de klant in de productkwaliteit vergroten.
6.2 Marktconcurrentievermogen: Producten die in een schone omgeving kunnen worden geproduceerd, worden vaak gezien als een symbool van hoge kwaliteit en hoge betrouwbaarheid, waardoor bedrijven zich kunnen onderscheiden in de felle concurrentie op de markt.
7. Verlaag de reparatie- en onderhoudskosten
7.1 Verleng de levensduur van apparatuur: Productieapparatuur en gereedschappen die onder schone omstandigheden werken, zijn minder gevoelig voor corrosie en slijtage, waardoor de levensduur wordt verlengd en de onderhoudsfrequentie en -kosten worden verlaagd.
7.2 Verminder het energieverbruik: Door het ontwerp en het beheer van cleanrooms te optimaliseren, verbetert u de energie-efficiëntie, verlaagt u het energieverbruik en de bedrijfskosten.
Vier principes van het beheer van cleanroomoperaties:
1. Niet meenemen:
Het frame van het hepafilter mag niet lekken.
De ontworpen druk moet binnenshuis worden gehandhaafd.
Operators moeten zich omkleden en na een luchtdouche de schone kamer betreden.
Alle gebruikte materialen, apparatuur en gereedschappen moeten worden gereinigd voordat ze kunnen worden binnengebracht.
2. Genereer geen:
Het personeel moet stofvrije kleding dragen.
Verminder onnodige acties.
Gebruik geen materialen die gemakkelijk stof veroorzaken.
Onnodige spullen kunnen niet meegebracht worden.
3. Niet ophopen:
Er mogen geen hoeken en machineranden zijn die moeilijk schoon te maken of schoon te maken zijn.
Probeer de blootgestelde luchtkanalen, waterleidingen, enz. binnenshuis tot een minimum te beperken.
Reiniging dient te geschieden volgens standaardmethoden en vastgelegde tijden.
4. Onmiddellijk verwijderen:
Verhoog het aantal luchtverversingen.
Uitlaat nabij het stofgenererende onderdeel.
Verbeter de vorm van de luchtstroom om te voorkomen dat stof zich aan het product hecht.
Kortom, milieucontrole in cleanrooms is van groot belang bij het waarborgen van de productkwaliteit, het verbeteren van de productie-efficiëntie, het beschermen van de gezondheid en veiligheid van het personeel, het voldoen aan wettelijke vereisten, het bevorderen van technologische innovatie en het verbeteren van het merkimago. Bedrijven moeten deze factoren volledig in overweging nemen bij het bouwen en onderhouden van cleanrooms om ervoor te zorgen dat de cleanrooms kunnen voldoen aan de behoeften van productie en R&D.
Posttijd: 12 november 2024