De bronnen van deeltjes zijn verdeeld in anorganische deeltjes, organische deeltjes en levende deeltjes. Voor het menselijk lichaam is het gemakkelijk om luchtweg- en longziekten te veroorzaken, en het kan ook allergieën en virale infecties veroorzaken; Voor siliciumchips zal de bevestiging van stofdeeltjes vervorming of kortsluiting van geïntegreerde circuitcircuits veroorzaken, waardoor de chips hun bedrijfsfuncties verliezen, dus de controle van bronnen voor microverontreiniging is een belangrijk onderdeel geworden van het beheer van schone kamer.
Het belang van de milieucontrole van een schone kamer ligt in het ervoor zorgen dat de omgevingscondities in het productieproces voldoen aan specifieke netheidsnormen, wat cruciaal is voor veel industrieën. Het volgende is het belang en de specifieke rol van de omgevingscontrole van een schone kamer:
1. Zorg voor productkwaliteit
1.1 Voorkom vervuiling: in industrieën zoals halfgeleiders, farmaceutische producten en medische apparatuur, kunnen kleine deeltjesverontreinigende stoffen productdefecten of storingen veroorzaken. Door de luchtkwaliteit en de deeltjesconcentratie in een schone kamer te regelen, kunnen deze verontreinigende stoffen effectief worden verhinderd het product te beïnvloeden.
Naast de initiële investering van de hardwareapparatuur, vereist het onderhoud en de controle van de netheid van de schone kamer ook een goed "software" -beheersysteem om een goede netheid te behouden. De operators hebben de grootste impact op de netheid van de schone kamer. Wanneer de operators de schone kamer binnenkomen, neemt het stof aanzienlijk toe. Wanneer er mensen heen en weer lopen, verslechtert de netheid onmiddellijk. Het is te zien dat de belangrijkste reden voor de verslechtering van de netheid menselijke factoren is.
1.2 Consistentie: de Clean Room -omgeving helpt de consistentie en herhaalbaarheid van het productieproces te behouden, waardoor de stabiele productkwaliteit wordt gewaarborgd.
Wat het glazen substraat betreft, zal de hechting van stofdeeltjes krassen veroorzaken op het glazen substraat, korte circuits en bubbels en andere slechte proceskwaliteit, wat resulteert in scheuren. Daarom is de controle van vervuilingsbronnen een belangrijk onderdeel geworden van het management van het schone kamer.
Externe stofinbreuk en preventie
De schone kamer moet de juiste positieve druk (> 0,5 mm/hg) handhaven, goed werk verrichten in het voorlopige bouwproject om geen luchtlekkage te garanderen en het personeel, apparatuur, grondstoffen, gereedschap, verbruiksartikelen, enz. Reinigen en vegen en vegen. Breng ze naar de schone kamer. Tegelijkertijd moeten reinigingsgereedschap goed worden geplaatst en regelmatig worden vervangen of gereinigd.
Stofopwekking en preventie in schone kamers
Geschikte selectie van schone kamermaterialen zoals partitieborden en vloeren, controle van stofopwekking in procesapparatuur, dwz regelmatig onderhoud en reiniging, productiepersoneel mag niet rondlopen of grote lichaamsbewegingen maken op hun locaties, en preventieve maatregelen zoals toevoegen zoals toevoegen Sticky Mats worden genomen op speciale stations.
2. Verbeter de productie -efficiëntie
2.1 Verminder de schrootsnelheid: door onzuiverheden en verontreinigende stoffen in het productieproces te verminderen, kan de schroot worden verlaagd, kan de opbrengstsnelheid worden verhoogd en kan de productie -efficiëntie worden verbeterd.
Bijvoorbeeld: er zijn 600 stappen in de productie van wafer. Als de opbrengst van elk proces 99%is, wat is dan de totale opbrengst van 600 procesprocedures? Antwoord: 0.99600 = 0,24%.
Hoe hoog moet de opbrengst van elke stap zijn om een proces economisch haalbaar te maken?
• 0.999600 = 54,8%
• 0.9999600 = 94,2%
Elk procesopbrengst moet meer dan 99,99% bereiken om te voldoen aan het uiteindelijke proces dat meer dan 90% oplevert, en de besmetting van microdeeltjes heeft direct invloed op het procesopbrengst.
2.2 Versnel het proces: werken in een schone omgeving kan onnodige reiniging en herwerktijd verminderen, waardoor het productieproces efficiënter wordt.
3. Zorg voor de gezondheid en veiligheid van personeel
3.1 Beroepsgezondheid: voor sommige productieprocessen die schadelijke stoffen kunnen vrijgeven, kunnen schone kamers voorkomen dat schadelijke stoffen zich verspreiden naar de externe omgeving en de gezondheid van werknemers beschermen. Sinds de ontwikkeling van de mensheid, zijn technologie, apparatuur en kennis verbeterd, maar de luchtkwaliteit is teruggetrokken. Een persoon inhaleert ongeveer 270.000 m3 lucht in zijn leven en besteedt 70% tot 90% van zijn tijd binnenshuis. Kleine deeltjes worden ingeademd door het menselijk lichaam en afgezet in het ademhalingssysteem. Deeltjes van 5 tot 30um worden afgezet in de nasopharynx, deeltjes van 1 tot 5um worden afgezet in de trachea en bronchiën en deeltjes onder 1um worden afgezet in de alveolaire wand.
Mensen die al lang in een kamer met onvoldoende frisse luchtvolume zijn, zijn vatbaar voor "indoor syndroom", met symptomen zoals hoofdpijn, strakheid van de borst en vermoeidheid, en zijn ook vatbaar voor ziekten en ziekten van het zenuwstelsel. De nationale standaard GB/T18883-2002 van mijn land bepaalt dat het frisse luchtvolume niet minder dan 30 m3/u mag zijn. persoon.
Het frisse luchtvolume van de schone kamer zou de maximale waarde van de volgende twee items moeten nemen:
A. De som van het luchtvolume dat nodig is om het uitlaatvolume binnenshuis te compenseren en de positieve drukwaarde binnenshuis te garanderen.
B. Zorg ervoor dat de frisse lucht vereist is door het personeel van het schone kamer. Volgens de specificaties van de cleanroom -ontwerp is het frisse luchtvolume per persoon per uur niet minder dan 40m3.
3.2 Veilige productie: door het regelen van omgevingsparameters zoals vochtigheid en temperatuur, kunnen veiligheidsrisico's zoals elektrostatische ontlading worden vermeden om de productieveiligheid te waarborgen.
4. voldoen aan de wettelijke en standaardvereisten
4.1 Industriestandaarden: veel industrieën hebben strikte netheidsnormen (zoals ISO 14644) en de productie moet worden uitgevoerd in schone kamers van specifieke kwaliteiten. Naleving van deze normen is niet alleen een wettelijke vereiste, maar ook een weerspiegeling van het concurrentievermogen van het bedrijf.
Voor schone werkbank, schone schuur, laminaire stroomoverdrachtvenster, ventilatorfiltereenheid FFU, schone garderobe, laminaire stroomkap, weegkap, schoon scherm, zelfonderzoek, luchtdouche-series, het is noodzakelijk om de methoden van netheidstests te standaardiseren van Bestaande producten om de betrouwbaarheid van producten te verbeteren.
4.2 Certificering en audit: geef de audit door van certificeringsagentschappen van derden en verkrijg relevante certificeringen (zoals GMP, ISO 9001, enz.) Om de klanttrust te verbeteren en de markttoegang uit te breiden.
5. Bevorderen technologische innovatie
5.1 R & D-ondersteuning: schone kamers bieden een ideale experimentele omgeving voor hightech productontwikkeling en helpen de ontwikkeling van nieuwe producten te versnellen.
5.2 Procesoptimalisatie: onder een strikt gecontroleerde omgeving is het gemakkelijker om de impact van procesveranderingen op de productprestaties te observeren en te analyseren, waardoor procesverbetering wordt bevorderd.
6. Verbeter het merkimago
6.1 Kwaliteitsborging: het hebben van hoge standaard schone productiefaciliteiten kunnen het merkimago verbeteren en de klantvertrouwen in productkwaliteit vergroten.
6.2 Marktconcurrentievermogen: producten die in een schone omgeving kunnen worden geproduceerd, worden vaak beschouwd als een symbool van hoge kwaliteit en hoge betrouwbaarheid, waardoor bedrijven opvallen in de felle marktconcurrentie.
7. Reparatie- en onderhoudskosten verlagen
7.1 De levensduur van de apparatuur verlengen: productieapparatuur en gereedschappen die onder schone omstandigheden werken, zijn minder vatbaar voor corrosie en slijtage, waardoor de levensduur wordt verlengd en de onderhoudsfrequentie en kosten worden verlaagd.
7.2 Verminder het energieverbruik: door het ontwerp en het beheer van schone kamers te optimaliseren, de energie -efficiëntie te verbeteren, het energieverbruik en de bedrijfskosten te verminderen.
Vier principes van Clean Room Operation Management:
1. Breng niet binnen:
Het frame van het HEPA -filter kan niet lekken.
De ontworpen druk moet binnen worden gehandhaafd.
Operators moeten van kleding veranderen en de schone kamer binnenkomen na de luchtdouche.
Alle materialen, apparatuur en gereedschappen moeten worden schoongemaakt voordat ze kunnen worden binnengebracht.
2. Genereer niet:
Mensen moeten stofvrije kleding dragen.
Verminder onnodige acties.
Gebruik geen materialen die gemakkelijk te genereren zijn stof te genereren.
Onnodigde items kunnen niet worden binnengebracht.
3. Verzamel niet:
Er mogen geen hoeken en machine -periferie zijn die moeilijk te reinigen of schoon zijn.
Probeer de blootgestelde luchtkanalen, waterleidingen, etc. binnenshuis te minimaliseren.
Reiniging moet worden uitgevoerd volgens standaardmethoden en gespecificeerde tijden.
4. Verwijder onmiddellijk:
Verhoog het aantal luchtveranderingen.
Uituitlaat in de buurt van het onderdeel van het stof.
Verbeter de luchtstroomvorm om te voorkomen dat stof zich aan het product houdt.
Kortom, Clean Room Environmental Control is van groot belang bij het waarborgen van productkwaliteit, het verbeteren van de productie -efficiëntie, het beschermen van de gezondheid en veiligheid van het personeel, het voldoen aan de wettelijke vereisten, het bevorderen van technologische innovatie en het verbeteren van het merkimago. Ondernemingen moeten deze factoren volledig overwegen bij het bouwen en onderhouden van schone kamers om ervoor te zorgen dat de schone kamers kunnen voldoen aan de behoeften van productie en R&D.
Posttijd: 22-2025