Cleanroom is een ruimte met een gecontroleerde concentratie zwevende deeltjes in de lucht. De constructie en het gebruik ervan moeten de introductie, productie en retentie van deeltjes binnenshuis verminderen. Andere relevante parameters zoals temperatuur, vochtigheid en druk in de ruimte moeten indien nodig worden gecontroleerd. De cleanroom wordt gedeeld door het aantal deeltjes van een bepaalde deeltjesgrootte per volume-eenheid lucht. Deze wordt gedeeld op basis van de concentratie zwevende deeltjes in de lucht. Over het algemeen geldt: hoe lager de waarde, hoe hoger het zuiveringsniveau. Dat wil zeggen: klasse 10 > klasse 100 > klasse 10000 > klasse 100000.
De norm voor cleanroomklasse 100 omvat voornamelijk operatiekamers en aseptische productie in de farmaceutische industrie.
Het maximale aantal deeltjes met een zuiverheidsdeeltjesgrootte groter dan of gelijk aan 0,1 micron mag niet groter zijn dan 100.
Drukverschil en temperatuur en vochtigheid: temperatuur 22 °C ± 2; vochtigheid 55% ± 5; in principe moet het volledig bedekt zijn met FFU en verhoogde vloeren worden aangelegd. Maak een MAU + FFU + DC-systeem. Zorg ook voor een positieve druk en de drukgradiënt van aangrenzende ruimtes moet rond de 10 Pa liggen.
Verlichting: Omdat de meeste werkruimtes in stofvrije cleanrooms aan hoge eisen voldoen en het allemaal gesloten ruimtes zijn, zijn er altijd hoge eisen gesteld aan de verlichting. Lokale verlichting: Dit verwijst naar de verlichting die is ingesteld om de verlichting van een bepaalde ruimte te verbeteren. Lokale verlichting wordt echter over het algemeen niet alleen gebruikt voor binnenverlichting. Gemengde verlichting: Dit verwijst naar de verlichting op het werkoppervlak die wordt gecombineerd door één verlichtingsbron en lokale verlichting, waarbij de algemene verlichting 10%-15% van de totale verlichting moet uitmaken.
De norm voor cleanrooms van klasse 1000 is het beperken van het aantal stofdeeltjes met een deeltjesgrootte van minder dan 0,5 micron per kubieke meter tot minder dan 3500, waarmee de internationale stofvrijheidsnorm A wordt bereikt. De stofvrijheidsnorm die momenteel wordt gebruikt in de productie en verwerking van chips op chipniveau stelt hogere eisen aan stof dan klasse A. Zulke hoge normen worden vooral gebruikt bij de productie van chips van een hoger niveau. Het aantal stofdeeltjes wordt strikt gecontroleerd binnen 1000 per kubieke meter, wat in de cleanroomindustrie algemeen bekend staat als klasse 1000.
In de meeste schone, stofvrije werkplaatsen is het noodzakelijk om de interne druk (statische druk) hoger te houden dan de externe druk (statische druk) om te voorkomen dat externe vervuiling binnendringt. Het handhaven van drukverschillen moet over het algemeen voldoen aan de volgende principes: de druk in een schone ruimte moet hoger zijn dan die in een niet-schone ruimte; de druk in een ruimte met een hoge reinheidsgraad moet hoger zijn dan die in aangrenzende ruimten met een lage reinheidsgraad; de deuren tussen aangrenzende cleanrooms moeten openstaan naar ruimtes met een hoge reinheidsgraad. Het handhaven van drukverschillen is afhankelijk van de hoeveelheid verse lucht die de hoeveelheid lucht die door de openingen lekt onder dit drukverschil moet kunnen compenseren. De fysieke betekenis van drukverschillen is daarom de weerstand van lekkende (of infiltrerende) lucht wanneer deze door verschillende openingen in de cleanroom stroomt.
Cleanroomklasse 10000 betekent dat het aantal stofdeeltjes groter dan of gelijk aan 0,5 µm groter is dan 35.000 deeltjes/m³ (35 deeltjes/) tot kleiner dan of gelijk aan 35.000 deeltjes/m³ (350 deeltjes/) en het aantal stofdeeltjes groter dan of gelijk aan 5 µm groter is dan 300 deeltjes/m³ (0,3 deeltjes) tot kleiner dan of gelijk aan 3.000 deeltjes/m³ (3 deeltjes). Regeling van drukverschil en temperatuur en vochtigheid.
Regeling van het droge spoelsysteem voor temperatuur en vochtigheid. De aircobox regelt de waterinlaat van de aircobox door de opening van de driewegklep te regelen via het gemeten signaal.
Een cleanroom van klasse 100.000 betekent dat de deeltjes per kubieke meter in de werkruimte beperkt blijven tot 100.000. De productiewerkplaats van de cleanroom wordt voornamelijk gebruikt in de elektronica-industrie en de farmaceutische industrie. Voor de voedingsmiddelenindustrie is een productiewerkplaats van klasse 100.000 zeer geschikt. Een cleanroom van klasse 100.000 vereist 15-19 luchtverversingen per uur. Na volledige ventilatie mag de luchtreinigingstijd niet langer zijn dan 40 minuten.
Het drukverschil tussen cleanrooms met dezelfde reinheidsgraad moet constant blijven. Het drukverschil tussen aangrenzende cleanrooms met verschillende reinheidsgraden moet 5 Pa bedragen, en het drukverschil tussen cleanrooms en niet-cleanrooms moet > 10 Pa zijn.
Temperatuur en vochtigheid Wanneer er geen speciale eisen zijn voor temperatuur en vochtigheid in een cleanroom van klasse 100.000, is het raadzaam om schone werkkleding te dragen zonder u oncomfortabel te voelen. De temperatuur wordt over het algemeen geregeld op 20~22℃ in de winter en 24~26℃ in de zomer, met een schommeling van ±2C. De luchtvochtigheid van cleanrooms wordt in de winter geregeld op 30-50% en de luchtvochtigheid van cleanrooms wordt in de zomer geregeld op 50-70%. De verlichtingswaarde van de belangrijkste productieruimtes in cleanrooms (gebieden) moet over het algemeen >300Lx zijn: de verlichtingswaarde van hulpstudio's, ruimtes voor personeelsreiniging en materiaalreiniging, luchtkamers, gangen, enz. moet 200~300L zijn.
Plaatsingstijd: 14-04-2025