Een cleanroom is een ruimte met een gecontroleerde concentratie zwevende deeltjes in de lucht. De constructie en het gebruik ervan moeten de introductie, de vorming en de aanwezigheid van deeltjes binnenshuis minimaliseren. Andere relevante parameters, zoals temperatuur, luchtvochtigheid en luchtdruk in de ruimte, moeten naar behoefte worden gecontroleerd. Cleanrooms worden ingedeeld op basis van het aantal deeltjes van een bepaalde deeltjesgrootte per volume-eenheid lucht. Over het algemeen geldt: hoe lager de waarde, hoe hoger het zuiveringsniveau. Dat wil zeggen: klasse 10 > klasse 100 > klasse 10000 > klasse 100000.
De norm voor cleanrooms van klasse 100 omvat hoofdzakelijk operatiekamers en aseptische productieomgevingen in de farmaceutische industrie.
Het maximale aantal deeltjes met een reinheidsdeeltjesgrootte van 0,1 micron of groter mag niet groter zijn dan 100.
Drukverschil en temperatuur en luchtvochtigheid: temperatuur 22℃±2; luchtvochtigheid 55%±5; in principe moet het volledig worden afgedekt met FFU en moeten er verhoogde vloeren worden aangebracht. Maak een MAU+FFU+DC-systeem. Zorg ook voor een positieve druk en een drukgradiënt van ongeveer 10 Pa tussen aangrenzende ruimtes.
Verlichting: Omdat de meeste werkzaamheden in stofvrije cleanrooms aan hoge eisen voldoen en het allemaal gesloten ruimtes zijn, zijn er altijd hoge eisen aan de verlichting. Lokale verlichting: Dit verwijst naar verlichting die is ingesteld om een specifieke locatie te verlichten. Lokale verlichting wordt echter over het algemeen niet als enige binnenverlichting gebruikt. Gemengde verlichting: Dit verwijst naar de verlichting van het werkoppervlak die een combinatie is van algemene verlichting en lokale verlichting, waarbij de algemene verlichting 10% tot 15% van de totale verlichting moet uitmaken.
De norm voor een cleanroom van klasse 1000 is het beperken van het aantal stofdeeltjes met een deeltjesgrootte van minder dan 0,5 micron per kubieke meter tot minder dan 3.500, wat voldoet aan de internationale stofvrije norm A. De stofvrije norm die momenteel wordt gebruikt voor de productie en verwerking van chips stelt hogere eisen aan de stofconcentratie dan klasse A. Zulke hoge normen worden voornamelijk gebruikt bij de productie van bepaalde geavanceerde chips. Het aantal stofdeeltjes wordt strikt beperkt tot 1.000 per kubieke meter, wat in de cleanroomindustrie algemeen bekend staat als klasse 1000.
Voor de meeste schone, stofvrije werkplaatsen is het, om te voorkomen dat externe vervuiling binnendringt, noodzakelijk om de interne druk (statische druk) hoger te houden dan de externe druk (statische druk). Het handhaven van dit drukverschil moet over het algemeen voldoen aan de volgende principes: de druk in een schone ruimte moet hoger zijn dan die in een niet-schone ruimte; de druk in een ruimte met een hoge reinheidsgraad moet hoger zijn dan die in een aangrenzende ruimte met een lage reinheidsgraad; de deuren tussen aangrenzende cleanrooms moeten openstaan naar ruimtes met een hoge reinheidsgraad. Het handhaven van dit drukverschil is afhankelijk van de hoeveelheid verse lucht, die voldoende moet zijn om de hoeveelheid lucht die door de kieren lekt te compenseren. De fysieke betekenis van drukverschil is dus de weerstand die het volume lekkende (of binnendringende) lucht ondervindt wanneer deze door verschillende kieren in de cleanroom stroomt.
Een cleanroom van klasse 10000 betekent dat het aantal stofdeeltjes groter dan of gelijk aan 0,5 µm groter is dan 35.000 deeltjes/m³ (35 deeltjes/m³) en kleiner dan of gelijk aan 35.000 deeltjes/m³ (350 deeltjes/m³), en dat het aantal stofdeeltjes groter dan of gelijk aan 5 µm groter is dan 300 deeltjes/m³ (0,3 deeltjes/m³) en kleiner dan of gelijk aan 3.000 deeltjes/m³ (3 deeltjes/m³). Drukverschil, temperatuur en luchtvochtigheid worden geregeld.
Temperatuur- en vochtigheidsregeling van het droogspoelsysteem. De airconditioningunit regelt de wateraanvoer naar de koelspiraal door de opening van de driewegklep te regelen aan de hand van een sensorsignaal.
Een cleanroom van klasse 100.000 betekent dat het aantal deeltjes per kubieke meter in de werkruimte onder de 100.000 blijft. Productieruimtes van cleanrooms van klasse 100.000 worden voornamelijk gebruikt in de elektronica- en farmaceutische industrie. Ook voor de voedingsmiddelenindustrie is een cleanroom van klasse 100.000 zeer geschikt. Een cleanroom van klasse 100.000 vereist 15-19 luchtverversingen per uur. Na volledige ventilatie mag de luchtzuiveringstijd niet langer dan 40 minuten bedragen.
Het drukverschil tussen cleanrooms met hetzelfde reinheidsniveau moet constant blijven. Het drukverschil tussen aangrenzende cleanrooms met verschillende reinheidsniveaus mag maximaal 5 Pa bedragen, en het drukverschil tussen cleanrooms en niet-cleanrooms mag niet meer dan 10 Pa zijn.
Temperatuur en luchtvochtigheid: Wanneer er geen speciale eisen zijn voor temperatuur en luchtvochtigheid in een cleanroom van klasse 100.000, is het raadzaam om schone werkkleding te dragen zonder dat dit oncomfortabel aanvoelt. De temperatuur wordt over het algemeen geregeld op 20-22 °C in de winter en 24-26 °C in de zomer, met een schommeling van ±2 °C. De luchtvochtigheid in cleanrooms wordt in de winter geregeld op 30-50% en in de zomer op 50-70%. De verlichtingswaarde van de belangrijkste productieruimtes in cleanrooms (zones) moet over het algemeen >300 Lx zijn; de verlichtingswaarde van hulpstudio's, personeels- en materiaalreinigingsruimtes, luchtkamers, gangen, enz. moet 200-300 Lx zijn.
Geplaatst op: 14 april 2025