1. Ontwerpkenmerken
Vanwege de eisen op het gebied van functionaliteit, miniaturisatie, integratie en precisie van chipproducten, verschillen de ontwerpeisen voor chipcleanrooms voor de productie aanzienlijk van die van reguliere fabrieken.
(1) Reinheidseisen: De chip-productieomgeving stelt hoge eisen aan de controle van het aantal luchtdeeltjes;
(2) Luchtdichtheidseisen: Verminder structurele openingen en versterk de luchtdichtheid van openingen om de impact van luchtlekkage of vervuiling te minimaliseren;
(3) Eisen aan het fabriekssysteem: Speciale stroom- en elektromechanische systemen voldoen aan de behoeften van procesmachines, zoals speciale gassen, chemicaliën, gezuiverd afvalwater, enz.;
(4) Eisen ten aanzien van microtrillingen: Bij de chipverwerking is een hoge precisie vereist en de impact van trillingen op de apparatuur moet worden verminderd;
(5) Ruimtevereisten: De plattegrond van de fabrieksvloer is eenvoudig, met duidelijke functionele indelingen, verborgen leidingen en een redelijke ruimteverdeling, wat flexibiliteit biedt bij het bijwerken van productieprocessen en apparatuur.
2. Focus op de bouw
(1). Kortere bouwtijd. Volgens de wet van Moore verdubbelt de chipintegratiedichtheid gemiddeld elke 18 tot 24 maanden. Met de updates en iteraties van elektronische producten verandert ook de vraag naar productie-installaties. Door de snelle vernieuwing van elektronische producten is de werkelijke levensduur van elektronische cleanrooms slechts 10 tot 15 jaar.
(2). Hogere eisen aan de organisatie van middelen. Elektronische cleanrooms hebben over het algemeen een groot bouwvolume, een korte bouwtijd, nauw op elkaar aansluitende processen, een moeilijke omloopsnelheid van middelen en een geconcentreerder verbruik van hoofdmaterialen. Deze strakke organisatie van middelen leidt tot een hoge druk op het algehele planbeheer en hoge eisen aan de organisatie van middelen. In de funderings- en hoofdfase komt dit vooral tot uiting in arbeidskosten, wapeningsstaal, beton, framematerialen, hijsmachines, enz.; in de elektromechanische, decoratie- en installatiefase komt dit vooral tot uiting in de eisen op de bouwplaats, diverse leidingen en hulpmaterialen voor bouwmachines, speciale apparatuur, enz.
(3). De hoge eisen aan de bouwkwaliteit komen vooral tot uiting in de drie aspecten vlakheid, luchtdichtheid en stofarme constructie. Naast het beschermen van precisieapparatuur tegen milieuschade, externe trillingen en omgevingsresonantie, is de stabiliteit van de apparatuur zelf eveneens van groot belang. Daarom is de eis voor de vlakheid van de vloer 2 mm/2 m. Het waarborgen van de luchtdichtheid speelt een belangrijke rol bij het handhaven van drukverschillen tussen verschillende schone zones en daarmee bij het beheersen van vervuilingsbronnen. De reiniging van de cleanroom moet strikt worden gecontroleerd vóór de installatie van luchtfiltratie- en conditioneringsapparatuur, en de stofgevoelige schakels moeten worden gecontroleerd tijdens de bouwvoorbereiding en de bouw na de installatie.
(4) Hoge eisen aan het beheer en de coördinatie van onderaannemers. Het bouwproces van een elektronische cleanroom is complex, zeer gespecialiseerd, omvat veel gespecialiseerde onderaannemers en kent een breed scala aan kruisbestuiving tussen verschillende disciplines. Daarom is het noodzakelijk om de processen en werkoppervlakken van elke discipline te coördineren, kruisbestuiving te minimaliseren, de daadwerkelijke behoeften van de interfaceoverdracht tussen disciplines te begrijpen en een goede coördinatie en aansturing van de hoofdaannemer te garanderen.
Geplaatst op: 22 september 2025