1. Ontwerpkenmerken
Vanwege de eisen aan functionalisering, miniaturisering, integratie en precisie van chipproducten, verschillen de ontwerpvereisten voor cleanrooms voor chipproductie aanzienlijk van die voor algemene fabrieken.
(1) Eisen aan de netheid: de chipproductieomgeving stelt hoge eisen aan de controle van het aantal luchtdeeltjes;
(2) Luchtdichtheidseisen: verminder structurele openingen en versterk de luchtdichtheid van openingen in constructies om de impact van luchtverlies of vervuiling te minimaliseren;
(3) Eisen aan het fabriekssysteem: Speciale energie- en elektromechanische systemen voldoen aan de behoeften van procesmachines, zoals speciale gassen, chemicaliën, zuiver afvalwater, enz.;
(4) Eisen aan het tegengaan van microvibraties: chipbewerking vereist een hoge precisie en de impact van trillingen op de apparatuur moet worden verminderd;
(5) Ruimtevereisten: De plattegrond van de fabriek is eenvoudig, met duidelijke functionele indelingen, verborgen pijpleidingen en een redelijke ruimteverdeling, wat flexibiliteit biedt bij het updaten van productieprocessen en -apparatuur.
2. Bouwfocus
(1). Kortere bouwperiode. Volgens de Wet van Moore verdubbelt de chipintegratiedichtheid gemiddeld elke 18 tot 24 maanden. Met de update en iteratie van elektronische producten zal ook de vraag naar productiefaciliteiten toenemen. Door de snelle update van elektronische producten bedraagt de werkelijke levensduur van elektronische reinigingsinstallaties slechts 10 tot 15 jaar.
(2). Hogere eisen aan de organisatie van resources. Elektronische cleanrooms hebben over het algemeen een groot bouwvolume, een korte bouwperiode, dicht op elkaar liggende processen, een moeizame doorloop van resources en een geconcentreerder verbruik van hoofdmaterialen. Een dergelijke nauwe organisatie van resources resulteert in een hoge druk op het algehele planbeheer en hoge eisen aan de organisatie van resources. In de funderings- en hoofdfase komt dit vooral tot uiting in arbeid, stalen staven, beton, framematerialen, hijswerktuigen, enz.; in de elektromechanische, decoratie- en apparatuurinstallatiefase komt dit vooral tot uiting in locatievereisten, diverse leidingen en hulpmaterialen voor bouwmachines, speciale apparatuur, enz.
(3). Hoge eisen aan de bouwkwaliteit komen voornamelijk tot uiting in de drie aspecten vlakheid, luchtdichtheid en stofarme constructie. Naast het beschermen van precisieapparatuur tegen omgevingsschade, externe trillingen en omgevingsresonantie, is de stabiliteit van de apparatuur zelf even belangrijk. Daarom is de eis voor vloervlakheid 2 mm/2 m. Het waarborgen van luchtdichtheid speelt een belangrijke rol bij het handhaven van drukverschillen tussen verschillende schone ruimtes en daarmee het beheersen van vervuilingsbronnen. Controleer de reiniging van de cleanroom strikt vóór de installatie van luchtfiltratie- en conditioneringapparatuur en beperk de stofgevoelige verbindingen tijdens de bouwvoorbereiding en na de installatie.
(4) Hoge eisen aan onderaannemingsbeheer en -coördinatie. Het bouwproces van een elektronische cleanroom is complex, zeer gespecialiseerd, omvat veel gespecialiseerde onderaannemers en kent een breed scala aan kruisoperaties tussen verschillende disciplines. Daarom is het noodzakelijk om de processen en werkoppervlakken van elke discipline te coördineren, kruisoperaties te beperken, de werkelijke behoeften van interface-overdracht tussen disciplines te begrijpen en goed werk te leveren in de coördinatie en het beheer van de hoofdaannemer.
Plaatsingstijd: 22-09-2025