PERSONEELZUIVERINGSEISEN VOOR ELEKTRONISCHE CLEAN ROOM

1. Kamers en faciliteiten voor personeelszuivering moeten worden ingericht in overeenstemming met de grootte en het luchtzuiverheidsniveau van de cleanroom, en er moeten woonkamers worden ingericht.

2. De personeelszuiveringsruimte moet worden ingericht volgens de behoeften van het verwisselen van schoenen, het verwisselen van bovenkleding, het schoonmaken van werkkleding, enz. Woonkamers zoals opslagruimte voor regenkleding, toiletten, wasruimtes, doucheruimtes en ontspanningsruimtes, evenals andere kamers, zoals luchtdoucheruimtes, luchtsluiskamers, wasruimtes voor schone werkkleding en droogkamers, kunnen naar behoefte worden ingericht.

3. Het bouwoppervlak van de personeelszuiveringsruimte en de woonkamer in de cleanroom moet worden bepaald op basis van de schaal van de cleanroom, het luchtzuiverheidsniveau en het aantal personeelsleden in de cleanroom. Het moet gebaseerd zijn op het gemiddelde aantal mensen dat in een cleanroom is ontworpen.

4. De inrichting van personeelszuiveringsruimtes en huiskamers dient te voldoen aan de volgende voorschriften:

(1) Schoenenpoetsfaciliteiten moeten zich bij de ingang van de cleanroom bevinden;

(2) Het omkleden van bovenkleding en schone kleedkamers mogen niet in dezelfde ruimte plaatsvinden;

(3) De jassenopbergkasten moeten worden geconfigureerd volgens het ontworpen aantal mensen in de cleanroom;

(4) Er moeten kledingopslagfaciliteiten worden opgezet om schone werkkleding op te slaan en over luchtzuivering te beschikken;

(5) Er moeten inductieve handenwas- en droogfaciliteiten worden geïnstalleerd;

(6) Het toilet moet zich bevinden voordat de personeelszuiveringsruimte wordt betreden. Als deze zich in de personeelszuiveringsruimte moet bevinden, moet een voorkamer worden ingericht.

5. Het ontwerp van de luchtdoucheruimte in een cleanroom moet aan de volgende eisen voldoen:

①Een luchtdouche moet bij de ingang van de cleanroom worden geïnstalleerd. Als er geen luchtdouche is, moet er een luchtsluisruimte worden geïnstalleerd;

② De luchtdouche moet in de aangrenzende ruimte worden geplaatst na het verwisselen van schone werkkleding;

③Voor elke 30 personen in de maximumklasse moet een luchtdouche voor één persoon worden voorzien. Als er meer dan 5 werknemers in een cleanroom zijn, moet aan één kant van de luchtdouche een eenrichtingsbypassdeur worden geïnstalleerd;

④De in- en uitgang van de luchtdouche mogen niet tegelijkertijd worden geopend en er moeten ketencontrolemaatregelen worden genomen;

⑤ Voor cleanrooms met verticale stroming in één richting en een luchtzuiverheidsniveau van ISO 5 of strenger dan ISO 5 moet een luchtsluisruimte worden geïnstalleerd.

6. Het luchtzuiverheidsniveau van personeelszuiveringskamers en woonkamers moet geleidelijk van buiten naar binnen worden gereinigd, en schone lucht die is gefilterd door een hepa-luchtfilter kan naar een schone kamer worden gestuurd.

Het luchtzuiverheidsniveau van de schone werkkledingkleedkamer moet lager zijn dan het luchtzuiverheidsniveau van de aangrenzende schone kamer; Als er een schone wasruimte voor werkkleding is, moet het luchtzuiverheidsniveau van de wasruimte ISO 8 zijn.