1. Netheid
Het wordt gebruikt om de grootte en het aantal deeltjes in de lucht per volume-eenheid te karakteriseren en is een standaard om de reinheid van een ruimte te bepalen.
2. Stofconcentratie
Het aantal zwevende deeltjes per volume-eenheid lucht.
3. Lege toestand
De cleanroom is gebouwd en alle stroom is aangesloten en operationeel, maar er zijn geen productieapparatuur, materialen of personeel aanwezig.
4. Statische status
Alle ruimtes zijn voltooid en volledig uitgerust, het luchtreinigingssysteem werkt normaal en er is geen personeel aanwezig. De status van de cleanroom is als volgt: de cleanroom is geïnstalleerd maar nog niet in gebruik; of de cleanroom is na het stoppen van de productieapparatuur en na een zelfreinigende periode van de voorgeschreven tijd; of de cleanroom functioneert op een door beide partijen (de aannemer en de opdrachtgever) overeengekomen wijze.
5. Dynamische status
De faciliteit functioneert zoals gespecificeerd, heeft het gespecificeerde personeel ter plaatse en voert werkzaamheden uit onder overeengekomen voorwaarden.
6. Zelfreinigingstijd
Dit verwijst naar het moment waarop de cleanroom begint met het toevoeren van lucht volgens de ontworpen luchtverversingsfrequentie, en de stofconcentratie in de cleanroom het ontworpen reinheidsniveau bereikt. Hieronder zullen we de zelfreinigende tijd van verschillende cleanroomniveaus bekijken.
①. Klasse 100000: niet meer dan 40 minuten;
②. Les 10000: niet langer dan 30 minuten;
③. Klasse 1000: niet langer dan 20 minuten.
④. Klasse 100: niet langer dan 3 minuten.
7. Luchtsluis
Aan de in- en uitgang van de cleanroom is een luchtsluis geïnstalleerd om de instroom van vervuilde lucht naar buiten of naar aangrenzende ruimtes te blokkeren en om het drukverschil te beheersen.
8. Luchtdouche
Een ruimte waar personeel volgens bepaalde procedures wordt gereinigd voordat ze de cleanroom betreden. Door ventilatoren, filters en controlesystemen te installeren om het hele lichaam van mensen die de cleanroom binnenkomen te reinigen, is dit een van de effectieve manieren om externe vervuiling te verminderen.
9. Luchtdouche voor vrachtruimte
Een ruimte waar materialen volgens bepaalde procedures worden gezuiverd voordat ze de schone zone binnenkomen. Door het installeren van ventilatoren, filters en controlesystemen om materialen te zuiveren, is dit een van de effectieve manieren om externe vervuiling te verminderen.
10. Kleding voor een cleanroom
Schone kleding met een lage stofuitstoot wordt gebruikt om de door werknemers gegenereerde deeltjes te minimaliseren.
11. HEPA-filter
Bij het nominale luchtvolume heeft het luchtfilter een afvangrendement van meer dan 99,9% voor deeltjes met een deeltjesgrootte van 0,3 μm of meer en een luchtstroomweerstand van minder dan 250 Pa.
12. Ultra HEPA-filter
Een luchtfilter met een afscheidingsrendement van meer dan 99,999% voor deeltjes met een deeltjesgrootte van 0,1 tot 0,2 μm en een luchtweerstand van minder dan 280 Pa bij het nominale luchtvolume.
Geplaatst op: 21 maart 2024