1. Reinheid
Het wordt gebruikt om de grootte en hoeveelheid deeltjes in lucht per volume van de ruimte te karakteriseren en is een standaard voor het onderscheiden van de netheid van een ruimte.
2. Stofconcentratie
Het aantal gesuspendeerde deeltjes per volume lucht.
3. Lege staat
De schone kamerfaciliteit is gebouwd en alle stroom is verbonden en actief, maar er zijn geen productieapparatuur, materialen of personeel.
4. Statische status
Allen zijn voltooid en volledig uitgerust, het zuiverings airconditioningsysteem werkt normaal en er is geen personeel ter plaatse. De status van de schone kamer waar de productieapparatuur is geïnstalleerd maar niet in bedrijf is; of de toestand van de schone kamer nadat de productieapparatuur is gestopt met werken en voor de gespecificeerde tijd zichzelf heeft gereinigd; of de staat van de schone kamer werkt op een manier die door beide partijen overeenkomt (de bouwer en de bouwpartij).
5. Dynamische status
De faciliteit werkt zoals gespecificeerd, heeft een gespecificeerd personeel aanwezig en voert werk uit onder overeengekomen voorwaarden.
6. Zelfreinigende tijd
Dit verwijst naar de tijd dat de schone kamer aan de kamer begint te leveren volgens de ontworpen luchtuitwisselingsfrequentie, en de stofconcentratie in een schone kamer bereikt het ontworpen netheidsniveau. Wat we hieronder gaan zien, is de zelfreinigende tijd van verschillende niveaus van schone kamers.
①. Klasse 100000: niet meer dan 40 minuten (minuten);
②. Klasse 10000: niet meer dan 30 minuten (minuten);
③. Klasse 1000: niet meer dan 20 minuten (minuten).
④. Klasse 100: niet meer dan 3min (minuten).
7. Airlock Room
Een luchtsluisruimte is geïnstalleerd bij de ingang en uitgang van de schone kamer om de vervuilde luchtstroom buiten of in aangrenzende kamers te blokkeren en het drukverschil te regelen.
8. Luchtdouche
Een kamer waar personeel wordt gezuiverd volgens bepaalde procedures voordat het de schone gebied binnengaat. Door fans, filters en besturingssystemen te installeren om het hele lichaam van mensen die een schone kamer binnenkomen te zuiveren, is het een van de effectieve manieren om externe vervuiling te verminderen.
9. Cargo Air Shower
Een kamer waar materialen worden gezuiverd volgens bepaalde procedures voordat ze het schone gebied betreden. Door fans, filters en besturingssystemen te installeren om materialen te zuiveren, is het een van de effectieve manieren om externe vervuiling te verminderen.
10. Clean Room -kledingstuk
Schone kleding met lage stofemissie gebruikt om de door werknemers gegenereerde deeltjes te minimaliseren.
11. HEPA -filter
Onder het nominale luchtvolume heeft het luchtfilter een verzamelefficiëntie van meer dan 99,9% voor deeltjes met een deeltjesgrootte van 0,3 μm of meer en een luchtstroomweerstand van minder dan 250 pa.
12. Ultra HEPA -filter
Een luchtfilter met een verzamelefficiëntie van meer dan 99,999% voor deeltjes met een deeltjesgrootte van 0,1 tot 0,2 μm en een luchtstroomweerstand van minder dan 280 pa onder nominaal luchtvolume.
Posttijd: Mar-21-2024