1. Netheid
Het wordt gebruikt om de grootte en hoeveelheid deeltjes in de lucht per eenheid ruimtevolume te karakteriseren, en is een standaard om de reinheid van een ruimte te onderscheiden.
2. Stofconcentratie
Het aantal zwevende deeltjes per volume-eenheid lucht.
3. Lege toestand
De cleanroomfaciliteit is gebouwd en alle stroom is aangesloten en werkt, maar er zijn geen productieapparatuur, materialen of personeel aanwezig.
4. Statische status
Ze zijn allemaal voltooid en volledig uitgerust, het luchtzuiveringssysteem werkt normaal en er is geen personeel ter plaatse. De staat van de cleanroom waar de productieapparatuur is geïnstalleerd maar niet in bedrijf is; of de staat van de cleanroom nadat de productieapparatuur is gestopt met werken en gedurende de gespecificeerde tijd zelfreinigend is geweest; of de staat van de cleanroom functioneert op een manier die door beide partijen (de bouwer en de bouwpartij) is overeengekomen.
5. Dynamische status
De inrichting functioneert zoals gespecificeerd, beschikt over gespecificeerd personeel en voert werkzaamheden uit onder afgesproken condities.
6. Zelfreinigende tijd
Dit verwijst naar het tijdstip waarop de cleanroom lucht naar de kamer begint te voeren volgens de ontworpen luchtuitwisselingsfrequentie, en de stofconcentratie in de cleanroom het ontworpen reinheidsniveau bereikt. Wat we hieronder gaan zien is de zelfreinigingstijd van verschillende niveaus van schone kamers.
①. Klasse 100000: niet meer dan 40 minuten (minuten);
②. Klasse 10000: niet meer dan 30min (minuten);
③. Klasse 1000: niet meer dan 20 minuten (minuten).
④. Klasse 100: niet meer dan 3 minuten (minuten).
7. Luchtsluiskamer
Bij de in- en uitgang van de cleanroom wordt een luchtsluisruimte geïnstalleerd om de vervuilde luchtstroom naar buiten of in aangrenzende ruimtes te blokkeren en het drukverschil te beheersen.
8. Luchtdouche
Een ruimte waar het personeel volgens bepaalde procedures wordt gezuiverd voordat het de schone ruimte betreedt. Door ventilatoren, filters en controlesystemen te installeren om het hele lichaam van mensen die de cleanroom binnenkomen te zuiveren, is dit een van de effectieve manieren om externe vervuiling te verminderen.
9. Cargoluchtdouche
Een ruimte waar materialen volgens bepaalde procedures worden gezuiverd voordat ze de schone ruimte betreden. Door ventilatoren, filters en regelsystemen te installeren om materialen te zuiveren, is dit een van de effectieve manieren om externe vervuiling te verminderen.
10. Kledingstuk voor een schone kamer
Schone kleding met een lage stofemissie die wordt gebruikt om de door werknemers gegenereerde deeltjes te minimaliseren.
11. HEPA-filter
Onder het nominale luchtvolume heeft het luchtfilter een verzamelefficiëntie van meer dan 99,9% voor deeltjes met een deeltjesgrootte van 0,3 μm of meer en een luchtstroomweerstand van minder dan 250 Pa.
12. Ultra HEPA-filter
Een luchtfilter met een verzamelefficiëntie van meer dan 99,999% voor deeltjes met een deeltjesgrootte van 0,1 tot 0,2 μm en een luchtstroomweerstand van minder dan 280 Pa onder nominaal luchtvolume.
Posttijd: 21 maart 2024