1. Schoonheid
Het wordt gebruikt om de grootte en hoeveelheid deeltjes in de lucht per volume-eenheid van een ruimte te karakteriseren en is een standaard om de reinheid van een ruimte te beoordelen.
2. Stofconcentratie
Het aantal zwevende deeltjes per volume-eenheid lucht.
3. Lege toestand
De cleanroom-faciliteit is gebouwd en alle stroom is aangesloten en operationeel, maar er zijn geen productieapparatuur, materialen of personeel aanwezig.
4. Statische status
Alle installaties zijn voltooid en volledig uitgerust, het zuiveringsluchtbehandelingssysteem werkt normaal en er is geen personeel aanwezig. De staat van de cleanroom waar de productieapparatuur is geïnstalleerd maar niet in gebruik is; of de staat van de cleanroom nadat de productieapparatuur is gestopt met werken en zichzelf gedurende de aangegeven tijd heeft gereinigd; of de staat van de cleanroom functioneert op een manier die door beide partijen (de bouwer en de bouwpartij) is overeengekomen.
5. Dynamische status
De faciliteit functioneert zoals gespecificeerd, er is gespecificeerd personeel aanwezig en het werk wordt uitgevoerd onder de overeengekomen voorwaarden.
6. Zelfreinigende tijd
Dit verwijst naar het moment waarop de cleanroom begint met het toevoeren van lucht volgens de ingestelde luchtverversingsfrequentie en de stofconcentratie in de cleanroom het ingestelde reinheidsniveau bereikt. Hieronder ziet u de zelfreinigende tijd van verschillende niveaus van cleanrooms.
①. Klasse 100000: niet meer dan 40 min (minuten);
②. Klasse 10000: niet meer dan 30 min (minuten);
③. Klasse 1000: niet meer dan 20 min. (minuten).
④. Klasse 100: niet meer dan 3 min (minuten).
7. Luchtsluiskamer
Bij de ingang en uitgang van de cleanroom wordt een sluis geplaatst om de stroom vervuilde lucht naar buiten of naar aangrenzende ruimtes te blokkeren en het drukverschil te regelen.
8. Luchtdouche
Een ruimte waar personeel volgens bepaalde procedures wordt gezuiverd voordat het de schone ruimte betreedt. Door ventilatoren, filters en regelsystemen te installeren om het hele lichaam van de mensen die de cleanroom betreden te zuiveren, is dit een van de effectieve manieren om externe vervuiling te verminderen.
9. Vrachtluchtdouche
Een ruimte waar materialen volgens bepaalde procedures worden gezuiverd voordat ze de schone ruimte binnenkomen. Door ventilatoren, filters en regelsystemen te installeren om materialen te zuiveren, is dit een van de effectieve manieren om externe vervuiling te verminderen.
10. Kledingstuk voor schone kamers
Schone kleding met een lage stofemissie, die wordt gebruikt om de deeltjes die werknemers produceren tot een minimum te beperken.
11. HEPA-filter
Onder het nominale luchtvolume heeft het luchtfilter een opvangrendement van meer dan 99,9% voor deeltjes met een deeltjesgrootte van 0,3 μm of groter en een luchtstroomweerstand van minder dan 250 Pa.
12. Ultra HEPA-filter
Een luchtfilter met een opvangrendement van meer dan 99,999% voor deeltjes met een deeltjesgrootte van 0,1 tot 0,2 μm en een luchtstroomweerstand van minder dan 280 Pa onder het nominale luchtvolume.
Plaatsingstijd: 21-03-2024