① De cleanroom is een grote energieverbruiker. Het energieverbruik omvat de elektriciteit, warmte en koeling die worden gebruikt door de productieapparatuur in de cleanroom, het stroomverbruik, warmteverbruik en de koellast van het zuiverings-airconditioningsysteem, het stroomverbruik van de koelunit en de uitlaatgasbehandeling. Het stroomverbruik en warmteverbruik van het apparaat, het stroomverbruik, warmteverbruik en de koellast van de bereiding en het transport van verschillende zeer zuivere stoffen, het stroomverbruik, warmteverbruik, koel- en verlichtingsverbruik van verschillende openbare elektriciteitsvoorzieningen. Het energieverbruik van een cleanroom onder dezelfde oppervlakte is 10 keer dat van een kantoorgebouw, of zelfs groter. Sommige cleanrooms in de elektronica-industrie vereisen grote ruimtes, grote oppervlakken en grote volumes. Met de ontwikkeling van wetenschap en technologie wordt vaak gebruikgemaakt van grootschalige precisieproductieapparatuur die is geïntegreerd met meerdere processen voor continue productie om te voldoen aan de grootschalige en zeer betrouwbare prestatie-eisen van de productie van elektronische producten. Hiervoor moet deze worden gerangschikt in een groot gebouw, een schone productieruimte en boven- en ondertechnologie. De "mezzanine" is een grote ruimte en een gecombineerd grootschalig cleanroomgebouw.
② In cleanrooms in de elektronica-industrie worden vaak bijbehorende transportleidingen en benodigde afzuiginstallaties geïnstalleerd. Deze afzuiginstallaties verbruiken niet alleen energie, maar vergroten ook het luchttoevoervolume van de cleanroom. Cleanrooms voor elektronische producten verbruiken veel energie. De luchtzuiveringsinstallaties die nodig zijn voor een schone productieomgeving, waaronder zuiveringssystemen voor airconditioning en koel- en verwarmingssystemen, verbruiken veel energie. Als de eisen aan de luchtreinheid streng zijn, is het energieverbruik hoog vanwege het toevoervolume voor schone lucht en de grote hoeveelheid verse lucht. Bovendien is de cleanroom bijna het hele jaar door dag en nacht in bedrijf.
③Continuïteit in het gebruik van verschillende energieverbruikende faciliteiten. Om de consistentie van de luchtzuiverheid in verschillende cleanrooms, de stabiliteit van verschillende functionele binnenparameters en de behoeften van productproductieprocessen te waarborgen, zijn veel cleanrooms online, meestal 24 uur per dag en nacht. Vanwege de continue werking van de cleanroom moeten stroomvoorziening, koeling, verwarming, enz. worden gepland volgens de vereisten van het productproductieproces of de productieplanning in de cleanroom, en kunnen verschillende energiebronnen tijdig worden geleverd. Naast de energievoorziening van productproductieapparatuur en koelwater, zeer zuivere stoffen, chemicaliën en speciale gassen die nauw verband houden met de productvariëteit, verandert de energievoorziening in de cleanroom mee met de productvariëteit en het productieproces. Een groot deel van het totale energieverbruik bestaat uit elektriciteit en koeling (warmte) van koelmachines en zuiverings-airconditioningsystemen.
4 Afhankelijk van de eisen van het productieproces en de eisen voor milieubeheersing van cleanrooms, of het nu in de winter, het overgangsseizoen of de zomer is, is er vraag naar zogenaamde "laagwaardige thermische energie" met een temperatuur lager dan 60 °C. Zo vereist het zuiveringsluchtbehandelingssysteem de toevoer van warm water van verschillende temperaturen om de frisse buitenlucht in de winter en het overgangsseizoen te verwarmen, maar de warmtetoevoer is in verschillende seizoenen anders. Een grote hoeveelheid zuiver water wordt meestal gebruikt in cleanrooms voor de productie van elektronische producten. Het uurverbruik van zuiver water in de productieprocessen van chips voor geïntegreerde schakelingen en TFT-LCD-panelen loopt op tot honderden tonnen. Om de vereiste kwaliteit zuiver water te verkrijgen, wordt doorgaans RO-omgekeerde osmosetechnologie gebruikt. RO-apparatuur vereist dat de watertemperatuur rond de 25 °C wordt gehouden en moet vaak warm water van een bepaalde temperatuur leveren. Onderzoek bij enkele bedrijven toont aan dat de afgelopen jaren laagwaardige warmte-energie in cleanrooms, zoals de condensatiewarmte van koelmachines, geleidelijk is gebruikt om warm water met een lage temperatuur van ongeveer 40 °C te leveren. Dit vervangt het oorspronkelijke gebruik van lagedrukstoom of warm water met een hoge temperatuur voor verwarming/voorverwarming en levert duidelijke energiebesparende en economische voordelen op. Cleanrooms beschikken daarom over zowel de "bronnen" van laagwaardige warmtebronnen als over de vraag naar laagwaardige warmte-energie. Dit is een van de belangrijke kenmerken van cleanrooms die laagwaardige warmte-energie integreren en gebruiken om het energieverbruik te verminderen.
Plaatsingstijd: 14-11-2023