① Een cleanroom is een grote energieverbruiker. Het energieverbruik omvat de elektriciteit, warmte en koeling van de productieapparatuur in de cleanroom, het stroomverbruik, de warmtebehoefte en de koelbelasting van het luchtzuiveringssysteem, het stroomverbruik van de koelinstallatie en de afzuiginstallatie. Daarnaast is er het stroom- en warmteverbruik van de apparatuur, het stroom- en warmteverbruik en de koelbelasting voor de voorbereiding en het transport van diverse hoogzuivere stoffen, en het stroom-, warmte-, koel- en verlichtingsverbruik van diverse openbare energievoorzieningen. Het energieverbruik van een cleanroom met eenzelfde oppervlakte is tien keer zo hoog als dat van een kantoorgebouw, of zelfs nog hoger. Sommige cleanrooms in de elektronica-industrie vereisen grote ruimtes, oppervlakken en volumes. Met de ontwikkeling van wetenschap en technologie wordt, om te voldoen aan de eisen van grootschalige en betrouwbare productie van elektronische producten, vaak gebruikgemaakt van grootschalige precisieproductieapparatuur met meerdere processen voor continue productie. Hiervoor is een groot gebouw nodig, met een schone productiezone en een boven- en onderliggende technologie. De "mezzanine" is een grote ruimte en een gecombineerd, grootschalig cleanroomgebouw.
② In cleanrooms in de elektronica-industrie worden vaak bijbehorende transportleidingen en noodzakelijke afzuiginstallaties aangelegd. Deze afzuiginstallaties verbruiken niet alleen energie, maar vergroten ook het luchttoevoervolume van de cleanroom. Cleanrooms voor elektronische producten verbruiken veel energie. De luchtzuiveringsinstallaties die nodig zijn om een schone productieomgeving te garanderen, waaronder luchtzuiveringssystemen en koel- en verwarmingssystemen, verbruiken veel energie. Als de eisen aan de luchtzuiverheid streng zijn, is het energieverbruik hoog vanwege het grote volume schone lucht en de grote hoeveelheid verse lucht die nodig is. Bovendien draaien deze systemen bijna dag en nacht, het hele jaar door.
③Continu gebruik van diverse energieverbruikende installaties. Om de consistentie van de luchtzuiverheid in verschillende cleanrooms, de stabiliteit van diverse functionele parameters binnenshuis en de behoeften van de productieprocessen te waarborgen, werken veel cleanrooms online, meestal 24 uur per dag en nacht. Door de continue werking van de cleanroom moeten de stroomvoorziening, koeling, verwarming, enz. worden afgestemd op de eisen van het productieproces of de planning in de cleanroom, zodat diverse energiebronnen tijdig kunnen worden aangeleverd. Naast de energievoorziening voor productieapparatuur en koelwater, variëren de energiebehoeften van hoogzuivere stoffen, chemicaliën en speciale gassen die nauw samenhangen met de productvariëteit, afhankelijk van de productvariëteit en het productieproces. Een groot deel van het totale energieverbruik bestaat uit elektriciteit en koelenergie (warmte) van koelinstallaties en luchtzuiveringssystemen.
④ Afhankelijk van de eisen van het productieproces en de milieubeheersing in cleanrooms, is er, zowel in de winter, de overgangsperiode als de zomer, behoefte aan zogenaamde "laagwaardige thermische energie" met een temperatuur onder de 60 °C. Zo vereist een luchtzuiveringssysteem bijvoorbeeld de aanvoer van warm water met verschillende temperaturen om de buitenlucht in de winter en de overgangsperiode te verwarmen, maar de warmtetoevoer verschilt per seizoen. In cleanrooms wordt doorgaans een grote hoeveelheid zuiver water gebruikt voor de productie van elektronische producten. Het uurlijkse verbruik van zuiver water bij de productie van geïntegreerde schakelingen en TFT-LCD-panelen bedraagt honderden tonnen. Om de vereiste kwaliteit zuiver water te verkrijgen, wordt meestal omgekeerde osmose (RO) toegepast. RO-apparatuur vereist dat de watertemperatuur rond de 25 °C wordt gehouden en vaak moet er warm water met een bepaalde temperatuur worden aangevoerd. Onderzoek bij sommige bedrijven toont aan dat de afgelopen jaren de laagwaardige warmte-energie in cleanrooms, zoals de condensatiewarmte van koelinstallaties, steeds vaker wordt gebruikt voor de productie van warm water van ongeveer 40 °C. Dit vervangt het oorspronkelijke gebruik van lagedrukstoom of heet water met hoge temperatuur voor verwarming/voorverwarming en levert duidelijke energiebesparende en economische voordelen op. Cleanrooms beschikken dus over zowel de "bronnen" van laagwaardige warmtebronnen als de vraag naar laagwaardige warmte-energie. Dit is een van de belangrijke kenmerken van cleanrooms: de integratie en het gebruik van laagwaardige warmte-energie om het energieverbruik te verlagen.
Geplaatst op: 14 november 2023