De reinheid van een cleanroom wordt bepaald door het maximaal toegestane aantal deeltjes per kubieke meter (of per kubieke voet) lucht en wordt over het algemeen onderverdeeld in klasse 10, klasse 100, klasse 1000, klasse 10000 en klasse 100000. In de techniek wordt binnenluchtcirculatie doorgaans gebruikt om de reinheid van de cleanroom te handhaven. Onder het voorwendsel van strikte controle van temperatuur en vochtigheid komt de lucht de cleanroom binnen na filtering door het filter, en verlaat de binnenlucht de cleanroom via het retourluchtsysteem. Vervolgens wordt de lucht door het filter gefilterd en komt deze weer terug in de cleanroom.
Noodzakelijke voorwaarden om schone ruimtes schoon te houden:
1. Zuiverheid van de luchttoevoer: Om de zuiverheid van de luchttoevoer te garanderen, moeten de benodigde luchtfilters voor het cleanroomsysteem worden geselecteerd en geïnstalleerd op basis van de werkelijke behoeften, met name de eindfilters. Over het algemeen kunnen HEPA-filters worden gebruikt voor niveaus van 1 miljoen, en lager. Sub-HEPA- of HEPA-filters kunnen worden gebruikt voor klasse 10000. HEPA-filters met een filtratie-efficiëntie ≥ 99,9% kunnen worden gebruikt voor klasse 10000 tot 100, en filters met een filtratie-efficiëntie ≥ 99,999% kunnen worden gebruikt voor klasse 100-1.
2. Luchtverdeling: De juiste luchttoevoermethode moet worden gekozen op basis van de kenmerken van de cleanroom en het cleanroomsysteem. Verschillende luchttoevoermethoden hebben hun eigen voor- en nadelen en moeten worden ontworpen op basis van de werkelijke behoeften.
3. Luchttoevoervolume of luchtsnelheid: Voldoende ventilatievolume is nodig om vervuilde binnenlucht te verdunnen en te verwijderen, wat varieert afhankelijk van de verschillende reinheidseisen. Wanneer de reinheidseisen hoger zijn, moet het aantal luchtverversingen dienovereenkomstig worden verhoogd;
4. Statisch drukverschil: De cleanroom moet een bepaalde positieve druk handhaven om ervoor te zorgen dat de cleanroom niet of minder vervuild raakt en schoon blijft.
Het ontwerpen van een cleanroom is een complex proces. Bovenstaand is slechts een kort overzicht van het hele systeem. De daadwerkelijke realisatie van een cleanroom vereist vooronderzoek, een groot aantal berekeningen van de koel- en verwarmingslast, berekeningen van de luchtvolumebalans, enz. op de middellange termijn, en een redelijk technisch ontwerp, optimalisatie, technische installatie en inbedrijfstelling om de balans en redelijkheid van het hele systeem te garanderen.
Plaatsingstijd: 25-09-2023