Reinheid van schone kamer wordt bepaald door het maximaal toegestane aantal deeltjes per kubieke meter (of per kubieke voet) lucht en is in het algemeen verdeeld in klasse 10, klasse 100, klasse 1000, klasse 10000 en klasse 100000. In engineering, binnenluchtcirculatie wordt over het algemeen gebruikt om het netheidsniveau van het schone gebied te behouden. Onder het uitgangspunt van strikt regelende temperatuur en vochtigheid, komt de lucht de schone kamer binnen nadat hij door het filter is gefilterd, en de binnenlucht verlaat de schone kamer door het retourluchtsysteem. Vervolgens wordt het gefilterd door het filter en voert het de schone kamer opnieuw in.
Noodzakelijke omstandigheden om schoonheid van schone kamer te bereiken:
1. Air Supply Reinheid: om de schoonheid van de luchttoevoer te waarborgen, moeten de luchtfilters die nodig zijn voor het schone kamersysteem worden geselecteerd en geïnstalleerd volgens de werkelijke behoeften, met name de eindfilters. Over het algemeen kunnen HEPA-filters worden gebruikt voor 1 miljoen niveaus, en onder sub-HEPA- of HEPA-filters kunnen worden gebruikt voor klasse 10000, HEPA-filters met filtratie-efficiëntie ≥99,9% kunnen worden gebruikt voor klasse 10000 tot 100, en filters met filtratie-efficiëntie ≥ ≥ ≥ worden 99,999% kan worden gebruikt voor klasse 100-1;
2. Luchtverdeling: de juiste methode voor luchttoevoer moet worden geselecteerd op basis van de kenmerken van de kenmerken van de schone kamer en het schone kamersysteem. Verschillende methoden voor luchttoevoer hebben hun eigen voor- en nadelen en moeten worden ontworpen volgens de werkelijke behoeften;
3. Volume van de luchttoevoer of luchtsnelheid: voldoende ventilatievolume is het verdunnen en elimineren van binnenvervuilde lucht, wat varieert volgens verschillende reinheidseisen. Wanneer de reinheidseisen hoger zijn, moet het aantal luchtveranderingen op de juiste manier worden verhoogd;
4. Statisch drukverschil: de schone kamer moet een bepaalde positieve druk behouden om ervoor te zorgen dat de schone kamer niet vervuild of minder vervuild is om zijn netheid te behouden.
Clean Room Design is een complex proces. Het bovenstaande is slechts een kort overzicht van het hele systeem. De werkelijke creatie van een schone kamer vereist voorlopig onderzoek, een groot aantal koel- en verwarmingsbelastingsberekeningen, luchtvolumebalansberekeningen, enz. Op de middellange term redelijkheid van het hele systeem.
Posttijd: SEP-25-2023