De reinheid van een cleanroom wordt bepaald door het maximaal toegestane aantal deeltjes per kubieke meter (of per kubieke voet) lucht en wordt over het algemeen onderverdeeld in klasse 10, klasse 100, klasse 1000, klasse 10000 en klasse 100000. In de techniek wordt doorgaans gebruikgemaakt van luchtcirculatie binnenshuis om het reinheidsniveau van de cleanroom te handhaven. Onder strikte controle van temperatuur en luchtvochtigheid komt de lucht de cleanroom binnen na filtering en verlaat de cleanroom via het retourluchtsysteem. Daar wordt de lucht opnieuw gefilterd en komt deze weer de cleanroom binnen.
Noodzakelijke voorwaarden voor het bereiken van een schone ruimte:
1. Zuiverheid van de toevoerlucht: Om de zuiverheid van de toevoerlucht te garanderen, moeten de benodigde luchtfilters voor het cleanroomsysteem worden geselecteerd en geïnstalleerd op basis van de werkelijke behoeften, met name de eindfilters. Over het algemeen kunnen HEPA-filters worden gebruikt voor niveaus van 1 miljoen, en sub-HEPA- of HEPA-filters voor klasse 10000, HEPA-filters met een filtratie-efficiëntie van ≥99,9% voor klasse 10000 tot 100, en filters met een filtratie-efficiëntie van ≥99,999% voor klasse 100-1;
2. Luchtverdeling: De juiste luchttoevoermethode moet worden gekozen op basis van de kenmerken van de cleanroom en de cleanroomsystemen. Verschillende luchttoevoermethoden hebben hun eigen voor- en nadelen en moeten worden ontworpen op basis van de daadwerkelijke behoeften;
3. Luchttoevoervolume of luchtsnelheid: Een voldoende ventilatievolume is nodig om de vervuilde binnenlucht te verdunnen en af te voeren. Dit volume varieert afhankelijk van de vereiste reinheid. Bij hogere reinheidseisen dient het aantal luchtverversingen dienovereenkomstig te worden verhoogd.
4. Statisch drukverschil: De cleanroom moet een bepaalde overdruk handhaven om ervoor te zorgen dat de cleanroom niet of minder vervuild raakt en de reinheid behouden blijft.
Het ontwerpen van een cleanroom is een complex proces. Bovenstaande is slechts een beknopt overzicht van het gehele systeem. De daadwerkelijke realisatie van een cleanroom vereist voorbereidend onderzoek, een groot aantal berekeningen van de koel- en verwarmingsbelasting, berekeningen van de luchtvolumebalans, enzovoort, en vervolgens een doordacht technisch ontwerp, optimalisatie, installatie en inbedrijfstelling om de balans en de redelijkheid van het gehele systeem te waarborgen.
Geplaatst op: 25 september 2023