De reinheid van een schone ruimte wordt bepaald door het maximaal toegestane aantal deeltjes per kubieke meter (of per kubieke voet) lucht, en wordt doorgaans onderverdeeld in klasse 10, klasse 100, klasse 1000, klasse 10000 en klasse 100000. In de techniek: binnenluchtcirculatie wordt over het algemeen gebruikt om het netheidsniveau van het schone gebied te handhaven. Onder het uitgangspunt van strikte controle van de temperatuur en vochtigheid, komt de lucht de clean room binnen nadat deze door het filter is gefilterd, en verlaat de binnenlucht de clean room via het retourluchtsysteem. Vervolgens wordt het door het filter gefilterd en komt het opnieuw in de cleanroom terecht.
Noodzakelijke voorwaarden om de reinheid van een cleanroom te bereiken:
1. Reinheid van de luchttoevoer: Om de zuiverheid van de luchttoevoer te garanderen, moeten de luchtfilters die nodig zijn voor het cleanroomsysteem worden geselecteerd en geïnstalleerd op basis van de werkelijke behoeften, vooral de eindfilters. Over het algemeen kunnen hepa-filters worden gebruikt voor 1 miljoen niveaus, en daaronder kunnen sub-hepa- of hepa-filters worden gebruikt voor klasse 10000, hepa-filters met filtratie-efficiëntie ≥99,9% kunnen worden gebruikt voor klasse 10000 tot 100, en filters met filtratie-efficiëntie ≥ 99,999% kan worden gebruikt voor klasse 100-1;
2. Luchtverdeling: De juiste luchttoevoermethode moet worden geselecteerd op basis van de kenmerken van de cleanroom en de kenmerken van het cleanroomsysteem. Verschillende luchttoevoermethoden hebben hun eigen voor- en nadelen en moeten worden ontworpen op basis van de werkelijke behoeften;
3. Luchttoevoervolume of luchtsnelheid: Voldoende ventilatievolume is bedoeld om vervuilde binnenlucht te verdunnen en te elimineren, wat varieert afhankelijk van de verschillende reinheidsvereisten. Wanneer de reinheidseisen hoger zijn, moet het aantal luchtverversingen op passende wijze worden verhoogd;
4. Statisch drukverschil: De cleanroom moet een bepaalde positieve druk handhaven om ervoor te zorgen dat de cleanroom niet of minder vervuild is om de reinheid te behouden.
Het ontwerpen van een cleanroom is een complex proces. Het bovenstaande is slechts een kort overzicht van het gehele systeem. De daadwerkelijke creatie van een cleanroom vereist voorlopig onderzoek, een groot aantal berekeningen van de koel- en verwarmingsbelasting, berekeningen van de luchtvolumebalans, enz. op de middellange termijn, en een redelijk technisch ontwerp, optimalisatie, technische installatie en inbedrijfstelling om de balans en de inbedrijfstelling te garanderen. redelijkheid van het gehele systeem.
Posttijd: 25 september 2023