Bij testen in een cleanroom wordt doorgaans gekeken naar stofdeeltjes, afzettende en zwevende bacteriën, drukverschillen, luchtverversing, luchtsnelheid, hoeveelheid verse lucht, verlichting, geluid, temperatuur, relatieve vochtigheid, enzovoort.
1. Volume van toevoerlucht en volume van afvoerlucht: Als het een cleanroom met turbulente stroming betreft, is het noodzakelijk om het volume van de toevoerlucht en het volume van de afvoerlucht te meten. Als het een cleanroom met unidirectionele laminaire stroming betreft, moet de luchtsnelheid worden gemeten.
2. Regeling van de luchtstroom tussen ruimtes: Om de juiste richting van de luchtstroom tussen ruimtes aan te tonen, dat wil zeggen van de schone ruimtes op hoog niveau naar de schone ruimtes op laag niveau, is het noodzakelijk om het volgende te bepalen: Het drukverschil tussen de verschillende ruimtes is correct; De richting van de luchtstroom bij de ingang of openingen in muren, vloeren, enz. is correct, dat wil zeggen van de schone ruimtes op hoog niveau naar de schone ruimtes op laag niveau.
3. Detectie van isolatielekken: Deze test moet aantonen dat zwevende verontreinigende stoffen niet door de bouwmaterialen heen dringen en in de cleanroom terechtkomen.
4. Regeling van de binnenluchtstroom: Het type luchtstroomtest moet afhangen van de luchtstroommodus van de cleanroom - of het turbulente of unidirectionele stroming betreft. Als de luchtstroom in de cleanroom turbulent is, moet worden gecontroleerd of er geen gebieden in de ruimte zijn met onvoldoende luchtstroom. Als het een cleanroom met unidirectionele stroming betreft, moet worden gecontroleerd of de luchtsnelheid en -richting van de gehele ruimte voldoen aan de ontwerpvereisten.
5. Concentratie van zwevende deeltjes en microbiële concentratie: Als bovenstaande testen aan de eisen voldoen, meet dan de concentratie van deeltjes en de microbiële concentratie (indien nodig) om te verifiëren of ze voldoen aan de technische voorwaarden voor het ontwerp van een cleanroom.
6. Overige testen: Naast de hierboven genoemde testen op vervuilingsbeheersing, moeten soms ook een of meer van de volgende testen worden uitgevoerd: temperatuur, relatieve vochtigheid, verwarmings- en koelcapaciteit binnenshuis, geluidswaarde, verlichtingswaarde, trillingswaarde, enz.
Geplaatst op: 30 mei 2023