Testen in een cleanroom omvatten over het algemeen stofdeeltjes, afzettende bacteriën, zwevende bacteriën, drukverschil, luchtverversing, luchtsnelheid, volume verse lucht, verlichting, geluid, temperatuur, relatieve vochtigheid, enz.
1. Volume toevoerlucht en volume afvoerlucht: Als het een schone kamer met turbulente stroming is, is het noodzakelijk om het toevoerluchtvolume en het afvoerluchtvolume te meten. Als het een schone ruimte met laminaire stroming in één richting is, moet de luchtsnelheid worden gemeten.
2. Controle van de luchtstroom tussen gebieden: Om de juiste richting van de luchtstroom tussen gebieden te bewijzen, dat wil zeggen van schone gebieden op hoog niveau naar schone gebieden op laag niveau, is het noodzakelijk om het volgende te detecteren: Het drukverschil tussen elk gebied is juist; De luchtstroomrichting bij de ingang of openingen in muren, vloeren etc. is correct, dat wil zeggen van de schone ruimtes op hoog niveau naar schone ruimtes op laag niveau.
3. Isolatielekdetectie: Deze test is bedoeld om te bewijzen dat zwevende verontreinigende stoffen niet door de bouwmaterialen dringen om de cleanroom binnen te dringen.
4. Controle van de luchtstroom binnenshuis: Het type luchtstroomcontroletest moet afhangen van de luchtstroommodus van de cleanroom - of het nu een turbulente of eenrichtingsstroming is. Als de luchtstroom in de cleanroom turbulent is, moet worden gecontroleerd of er geen gebieden in de ruimte zijn met onvoldoende luchtstroom. Als het een schone kamer met unidirectionele stroom betreft, moet worden geverifieerd dat de luchtsnelheid en -richting van de gehele kamer voldoen aan de ontwerpvereisten.
5. Zwevende deeltjesconcentratie en microbiële concentratie: Als bovenstaande tests aan de vereisten voldoen, meet dan de deeltjesconcentratie en microbiële concentratie (indien nodig) om te verifiëren dat ze voldoen aan de technische voorwaarden voor een cleanroomontwerp.
6. Andere tests: Naast de bovengenoemde tests ter beheersing van de verontreiniging moeten soms ook een of meer van de volgende tests worden uitgevoerd: temperatuur, relatieve vochtigheid, verwarmings- en koelvermogen binnenshuis, geluidswaarde, verlichting, trillingswaarde, enz.
Posttijd: 30 mei 2023