ISO 14644-5 vereist dat de installatie van vaste apparatuur in cleanrooms gebaseerd moet zijn op het ontwerp en de functie van de cleanroom. Hieronder worden de details nader toegelicht.
1. Installatiemethode van de apparatuur: De ideale methode is om de cleanroom af te sluiten tijdens de installatie van de apparatuur. Er moet een deur aanwezig zijn die het zicht op de apparatuur garandeert, of er moet een opening in de vloerplaat worden gemaakt waardoor nieuwe apparatuur de cleanroom kan betreden. Dit om te voorkomen dat de cleanroom tijdens de installatieperiode wordt gecontamineerd. Er moeten beschermende maatregelen worden genomen om ervoor te zorgen dat de cleanroom nog steeds aan de reinheidseisen voldoet en dat de daaropvolgende werkzaamheden kunnen worden uitgevoerd.
2. Als de werkzaamheden in de cleanroom tijdens elke installatieperiode niet kunnen worden onderbroken, of als er constructies moeten worden gedemonteerd, moet de cleanroom effectief worden afgescheiden van het werkgebied: hiervoor kunnen tijdelijke scheidingswanden of -wanden worden gebruikt. Om de installatiewerkzaamheden niet te belemmeren, moet er voldoende ruimte rondom de apparatuur zijn. Indien mogelijk kan de isolatiezone worden bereikt via servicekanalen of andere niet-kritische gebieden: als dit niet mogelijk is, moeten maatregelen worden genomen om de vervuiling door de installatiewerkzaamheden te minimaliseren. De isolatiezone moet een gelijke druk of onderdruk hebben. De toevoer van schone lucht moet in het hoogbouwgedeelte worden afgesloten om overdruk in de omliggende cleanrooms te voorkomen. Als de isolatiezone alleen toegankelijk is via een aangrenzende cleanroom, moeten kleefpads worden gebruikt om vuil van schoenen te verwijderen.
3. Na het betreden van het hooggelegen gebied kunnen wegwerplaarzen of -overschoenen en werkkleding uit één stuk worden gebruikt om besmetting van de schone kleding te voorkomen. Deze wegwerpartikelen moeten worden verwijderd voordat het quarantainegebied wordt verlaten. Er moeten methoden worden ontwikkeld voor het bewaken van het gebied rond de isolatiezone tijdens de installatie van de apparatuur en de frequentie van de bewaking moet worden vastgesteld om ervoor te zorgen dat eventuele besmetting die in de aangrenzende cleanroom kan lekken, wordt gedetecteerd. Nadat de isolatiemaatregelen zijn getroffen, kunnen diverse benodigde openbare voorzieningen, zoals elektriciteit, water, gas, vacuüm, perslucht en afvalwaterleidingen, worden aangelegd. Er moet zoveel mogelijk aandacht worden besteed aan het beheersen en isoleren van de rook en het stof die tijdens de werkzaamheden ontstaan om onbedoelde verspreiding naar de omliggende cleanroom te voorkomen. Dit moet ook zorgen voor een effectieve reiniging voordat de isolatiebarrière wordt verwijderd. Nadat de openbare voorzieningen aan de gebruikseisen voldoen, moet de gehele isolatiezone worden gereinigd en ontsmet volgens de voorgeschreven reinigingsprocedures. Alle oppervlakken, inclusief alle muren, apparatuur (vast en verplaatsbaar) en vloeren, moeten worden gestofzuigd, afgeweegd en gedweild, met speciale aandacht voor het reinigen van de ruimtes achter beschermkappen en onder de apparatuur.
4. Een voorlopige test van de prestaties van de apparatuur kan worden uitgevoerd op basis van de feitelijke omstandigheden in de cleanroom en met de geïnstalleerde apparatuur. De daaropvolgende acceptatietest moet echter pas worden uitgevoerd wanneer volledig aan de voorwaarden voor een schone omgeving is voldaan. Afhankelijk van de omstandigheden op de installatielocatie kan de scheidingswand voorzichtig worden verwijderd. Indien de toevoer van schone lucht is uitgeschakeld, moet deze opnieuw worden ingeschakeld. Het tijdstip voor deze fase van de werkzaamheden moet zorgvuldig worden gekozen om de normale werking van de cleanroom zo min mogelijk te verstoren. Op dit moment kan het nodig zijn om te meten of de concentratie van zwevende deeltjes aan de gespecificeerde eisen voldoet.
5. Het reinigen en voorbereiden van de binnenkant van de apparatuur en de belangrijkste procesruimtes moet gebeuren onder normale cleanroomomstandigheden. Alle interne ruimtes en alle oppervlakken die in contact komen met het product of betrokken zijn bij producttransport, moeten worden afgeveegd tot het vereiste reinheidsniveau. De reinigingsvolgorde van de apparatuur moet van boven naar beneden zijn. Als deeltjes verspreid zijn, zullen grotere deeltjes door de zwaartekracht naar de bodem van de apparatuur of de grond vallen. Reinig het buitenoppervlak van de apparatuur van boven naar beneden. Indien nodig moet er een deeltjesdetectie op het oppervlak worden uitgevoerd in gebieden waar de product- of productieprocesvereisten kritisch zijn.
6. Gezien de kenmerken van cleanrooms, met name de grote oppervlakte, de hoge investering, de hoge productiecapaciteit en de zeer strenge reinheidseisen van hightech cleanrooms, is de installatie van productieapparatuur in dit type cleanroom vergelijkbaar met die in gewone cleanrooms. Daarom bevat de nationale norm "Code voor de bouw en kwaliteitsacceptatie van cleanrooms", die in 2015 is uitgebracht, een aantal bepalingen voor de installatie van productieapparatuur in cleanrooms, waaronder hoofdzakelijk de volgende.
①. Om besmetting of zelfs schade aan de cleanroom die "leeg" is bevonden tijdens de installatie van de productieapparatuur te voorkomen, mag er tijdens de installatie geen sprake zijn van overmatige trillingen of kanteling, en mogen de oppervlakken van de apparatuur niet worden beschadigd of verontreinigd.
②. Om de installatie van productieapparatuur in de cleanroom ordelijk en met zo min mogelijk zittijd te laten verlopen, en om het cleanproductiemanagementsysteem in de cleanroom te volgen, moet ervoor worden gezorgd dat het installatieproces van de productieapparatuur wordt beschermd volgens de verschillende "eindproducten" en "halffabrikaten" die in "lege toestand" worden geaccepteerd. Materialen, machines, enz. die tijdens het installatieproces moeten worden gebruikt, mogen geen schadelijke stoffen uitstoten of produceren (ook niet tijdens langdurig normaal gebruik van de cleanroom). Er moeten schone materialen worden gebruikt die stofvrij, roestvrij en vetvrij zijn en tijdens gebruik geen stof produceren.
③. Het decoratieve oppervlak van de cleanroom moet worden beschermd met schone, stofvrije platen, folies en andere materialen; de achterplaat van de apparatuur moet worden vervaardigd volgens de eisen van het ontwerp of de technische documentatie van de apparatuur. Indien er geen eisen zijn, moeten roestvrijstalen of kunststof platen worden gebruikt. Koolstofstalen profielen die worden gebruikt voor onafhankelijke funderingen en vloerverstevigingen moeten worden behandeld met een anticorrosiemiddel en het oppervlak moet vlak en glad zijn; elastische afdichtingsmaterialen moeten worden gebruikt voor het afdichten.
④. Materialen moeten worden gemarkeerd met ingrediënten, soorten, productiedatum, houdbaarheidsperiode, instructies voor de constructiemethode en productkwalificatiecertificaten. Machines en gereedschap die in cleanrooms worden gebruikt, mogen niet naar niet-cleanrooms worden verplaatst voor gebruik. Machines en gereedschap mogen niet naar de cleanroom worden verplaatst voor gebruik. Machines en gereedschap die in de cleanroom worden gebruikt, moeten ervoor zorgen dat de blootgestelde onderdelen van de machine geen stof produceren, of er moeten maatregelen worden genomen om te voorkomen dat stof het milieu vervuilt. Veelgebruikte machines en gereedschap moeten in de luchtsluis worden gereinigd voordat ze naar de cleanroom worden verplaatst. Ze moeten voldoen aan de eisen dat ze olievrij, vuilvrij, stofvrij en roestvrij zijn, en mogen pas worden verplaatst nadat ze de inspectie hebben doorstaan en een bordje met "Reinigen" of "Alleen cleanroom" hebben aangebracht.
⑤. De productieapparatuur in de cleanroom moet op "specifieke vloeren" zoals verhoogde vloeren worden geplaatst. De fundering van de apparatuur moet over het algemeen op de lagere technische tussenverdieping of op een poreuze cementvloer worden geplaatst. De vloerconstructie die na het zagen met een handzaag moet worden gedemonteerd, moet worden versterkt en het draagvermogen mag niet lager zijn dan het oorspronkelijke draagvermogen. Bij gebruik van een vrijstaande fundering met een stalen frameconstructie moet deze van gegalvaniseerd materiaal of roestvrij staal zijn en moet het zichtbare oppervlak vlak en glad zijn.
⑥. Wanneer het installatieproces van productieapparatuur in een cleanroom het boren van gaten in wandpanelen, systeemplafonds en verhoogde vloeren vereist, mogen de boorwerkzaamheden de oppervlakken van de wandpanelen en systeemplafondpanelen die behouden moeten blijven, niet beschadigen of vervuilen. Als na het boren van de verhoogde vloer de fundering niet tijdig kan worden aangebracht, moeten veiligheidsleuningen en waarschuwingsborden worden geplaatst. Na de installatie van de productieapparatuur moet de opening rond het gat worden afgedicht, waarbij de apparatuur en de afdichtingscomponenten flexibel contact moeten maken en de verbinding tussen de afdichtingscomponent en de wandplaat strak en stevig moet zijn. Het afdichtingsoppervlak aan één zijde van de werkruimte moet vlak en glad zijn.
Geplaatst op: 06-09-2023