ISO 14644-5 vereist dat de installatie van vaste apparatuur in cleanrooms gebaseerd moet zijn op het ontwerp en de functie van de cleanroom. Hieronder worden de details toegelicht.
1. Methode voor installatie van apparatuur: De ideale methode is om de cleanroom tijdens de installatieperiode van de apparatuur te sluiten en een deur te plaatsen die past bij de kijkhoek van de apparatuur of een kanaal op het bord te reserveren waar nieuwe apparatuur doorheen kan en de cleanroom kan binnengaan. Zo voorkomt u dat de cleanroom in de buurt van de installatieperiode besmet raakt. Er moeten beschermende maatregelen worden genomen om ervoor te zorgen dat de cleanroom nog steeds voldoet aan de reinheidseisen en dat er aan de daaropvolgende werkzaamheden wordt voldaan.
2. Als het werk in de cleanroom niet tijdens elke installatieperiode kan worden stopgezet, of als er constructies moeten worden gedemonteerd, moet de draaiende cleanroom effectief worden geïsoleerd van de werkruimte: tijdelijke isolatiewanden of scheidingswanden kunnen worden gebruikt. Om de installatiewerkzaamheden niet te hinderen, moet er voldoende ruimte rond de apparatuur zijn. Indien de omstandigheden het toelaten, kan de isolatieruimte worden bereikt via servicekanalen of andere niet-kritieke ruimtes. Indien dit niet mogelijk is, moeten maatregelen worden genomen om de vervuiling door de installatiewerkzaamheden te minimaliseren. De isolatieruimte moet een gelijke druk of negatieve druk handhaven. De toevoer van schone lucht moet in de hoogbouw worden afgesloten om positieve druk op de omliggende cleanrooms te voorkomen. Als de toegang tot de isolatieruimte alleen via een aangrenzende cleanroom is, moeten kleefpads worden gebruikt om vuil van schoenen te verwijderen.
3. Na het betreden van het gebied op grote hoogte kunnen wegwerplaarzen of -overschoenen en werkkleding uit één stuk worden gedragen om besmetting van de schone kleding te voorkomen. Deze wegwerpartikelen moeten worden verwijderd voordat de quarantaineruimte wordt verlaten. Methoden voor het monitoren van het gebied rond het isolatiegebied tijdens het installatieproces van de apparatuur moeten worden ontwikkeld en de frequentie van de monitoring moet worden bepaald om ervoor te zorgen dat eventuele besmetting die in de aangrenzende cleanroom kan lekken, wordt gedetecteerd. Nadat de isolatiemaatregelen zijn getroffen, kunnen diverse vereiste openbare voorzieningen, zoals elektriciteit, water, gas, vacuüm, perslucht en afvalwaterleidingen, worden geïnstalleerd. Er moet aandacht worden besteed aan het zoveel mogelijk beheersen en isoleren van de rook en het vuil dat door de operatie wordt gegenereerd om onbedoelde verspreiding naar de omliggende cleanroom te voorkomen. Het moet ook een effectieve reiniging mogelijk maken voordat de isolatiebarrière wordt verwijderd. Nadat de openbare voorzieningen aan de gebruikseisen voldoen, moet het gehele isolatiegebied worden gereinigd en ontsmet volgens de voorgeschreven reinigingsprocedures. Alle oppervlakken, inclusief alle muren, apparatuur (vast en verplaatsbaar) en vloeren, moeten worden gestofzuigd, geveegd en gedweild. Er moet speciale aandacht worden besteed aan het schoonmaken van de gebieden achter de apparatuurbeveiligingen en onder de apparatuur.
4. Een voorlopige test van de apparatuurprestaties kan worden uitgevoerd op basis van de werkelijke omstandigheden van de cleanroom en de geïnstalleerde apparatuur, maar een daaropvolgende acceptatietest dient te worden uitgevoerd wanneer volledig aan de schone omgevingscondities is voldaan. Afhankelijk van de omstandigheden op de installatielocatie kunt u beginnen met het voorzichtig demonteren van de isolatiewand; indien de toevoer van schone lucht is afgesloten, start u deze opnieuw op; het tijdstip voor deze werkfase moet zorgvuldig worden gekozen om verstoring van de normale werking van de cleanroom tot een minimum te beperken. Op dit moment kan het nodig zijn om te meten of de concentratie van zwevende deeltjes aan de gespecificeerde eisen voldoet.
5. Reiniging en voorbereiding van de binnenkant van de apparatuur en de belangrijkste proceskamers dienen te worden uitgevoerd onder normale cleanroomomstandigheden. Alle interne kamers en alle oppervlakken die in contact komen met het product of betrokken zijn bij het producttransport, moeten worden afgenomen tot het vereiste niveau van reinheid. De reinigingsvolgorde van de apparatuur dient van boven naar beneden te zijn. Indien deeltjes worden verspreid, zullen grotere deeltjes door de zwaartekracht naar de bodem van de apparatuur of de grond zakken. Reinig de buitenkant van de apparatuur van boven naar beneden. Indien nodig dient oppervlaktedeeltjesdetectie te worden uitgevoerd in gebieden waar de product- of productieprocesvereisten kritisch zijn.
6. Gezien de kenmerken van cleanrooms, met name de grote oppervlakte, de hoge investering, de hoge output en de zeer strenge reinheidseisen van hightech cleanrooms, is de installatie van productieapparatuur in dit type cleanrooms vergelijkbaar met die van gewone cleanrooms. Daarom bevat de nationale norm "Code voor de bouw en kwaliteitsacceptatie van schone fabrieken", die in 2015 werd gepubliceerd, enkele bepalingen voor de installatie van productieapparatuur in cleanrooms, waaronder voornamelijk de volgende.
1. Om besmetting of zelfs schade aan de cleanroom te voorkomen die tijdens het installatieproces van de apparatuur voor het productieproces "leeg" is opgeleverd, mag er tijdens de installatie van de apparatuur geen sprake zijn van overmatige trillingen of kanteling en mag de apparatuur niet worden verdeeld en verontreinigd.
2. Om de installatie van productieapparatuur in de cleanroom ordelijk en met zo min mogelijk stilstand te laten verlopen, en om het systeem voor schoon productiebeheer in de cleanroom te volgen, moet ervoor worden gezorgd dat het installatieproces van de productieapparatuur wordt beveiligd met betrekking tot de verschillende "eindproducten" en "halffabricaten" die in "lege toestand" worden geaccepteerd. Materialen, machines, enz. die in het installatieproces worden gebruikt, mogen geen schadelijke stoffen uitstoten of kunnen produceren (ook niet tijdens de normale werking van de cleanroom gedurende langere tijd). Schone materialen die stofvrij, roestvrij en vetvrij zijn en geen stof produceren tijdens gebruik, moeten worden gebruikt.
3. Het oppervlak van de cleanroom moet worden beschermd met schone, stofvrije platen, folies en andere materialen; de achterplaat van de apparatuur moet worden gemaakt volgens de eisen van het ontwerp of de technische documentatie van de apparatuur. Indien er geen eisen zijn, moeten roestvrijstalen of kunststof platen worden gebruikt. Koolstofstalen profielen voor onafhankelijke funderingen en vloerversterkingen moeten worden behandeld met een corrosiewerende laag en het oppervlak moet vlak en glad zijn; elastische afdichtingsmaterialen worden gebruikt voor het afdichten.
④. Materialen moeten worden gemarkeerd met ingrediënten, variëteiten, productiedatum, geldigheidsduur van de opslag, instructies voor de constructiemethode en productkwalificatiecertificaten. Machines en gereedschappen die in cleanrooms worden gebruikt, mogen niet voor gebruik naar niet-cleanrooms worden verplaatst. Machines en gereedschappen mogen niet voor gebruik naar de cleanroom worden verplaatst. Machines en gereedschappen die in de cleanroom worden gebruikt, moeten ervoor zorgen dat de blootgestelde onderdelen van de machine geen stof produceren of maatregelen nemen om te voorkomen dat stof het milieu vervuilt. Veelgebruikte machines en gereedschappen moeten in de luchtsluis worden gereinigd voordat ze naar de cleanroom worden verplaatst. , moeten voldoen aan de eisen van olievrij, vuilvrij, stofvrij en roestvrij zijn, en moeten worden verplaatst na inspectie en het aanbrengen van een bordje "Schoon" of "Alleen schone ruimte".
5. De apparatuur voor het productieproces in de cleanroom moet op "specifieke vloeren" worden geïnstalleerd, zoals verhoogde vloeren. De fundering van de apparatuur moet over het algemeen op de lagere technische mezzaninevloer of op de poreuze cementplaat worden geplaatst; de werkzaamheden die moeten worden gedemonteerd om de fundering te installeren, moeten worden uitgevoerd. De structuur van de vloer, nadat deze met een handbediende elektrische zaag is gezaagd, moet worden versterkt en het draagvermogen mag niet lager zijn dan het oorspronkelijke draagvermogen. Wanneer een onafhankelijke fundering van een stalen frameconstructie wordt gebruikt, moet deze van gegalvaniseerd materiaal of roestvrij staal zijn en moet het blootgestelde oppervlak vlak en glad zijn.
⑥. Wanneer het installatieproces van productieapparatuur in een cleanroom het openen van gaten in wandpanelen, verlaagde plafonds en verhoogde vloeren vereist, mogen de boorwerkzaamheden de oppervlakken van de wandpanelen en verlaagde plafondpanelen die behouden moeten blijven, niet verdelen of verontreinigen. Wanneer de verhoogde vloer na het openen van de verhoogde vloer niet op tijd kan worden geïnstalleerd, moeten veiligheidshekken en waarschuwingsborden worden geplaatst. Nadat de productieapparatuur is geïnstalleerd, moet de opening rond het gat worden afgedicht. De apparatuur en afdichtingscomponenten moeten flexibel contact maken en de verbinding tussen de afdichtingscomponent en de wandplaat moet strak en stevig zijn. Het afdichtingsoppervlak aan één zijde van de werkruimte moet vlak en glad zijn.
Plaatsingstijd: 06-09-2023