IS0 14644-5 vereist dat de installatie van vaste apparatuur in schone kamers gebaseerd moet zijn op het ontwerp en de functie van een schone kamer. De volgende details worden hieronder geïntroduceerd.
1. Apparatuurinstallatiemethode: de ideale methode is om de schone kamer te sluiten tijdens de installatieperiode van de apparatuur en een deur te hebben die kan voldoen aan de kijkhoek van de apparatuur of een kanaal op het bord reserveren om nieuwe apparatuur te laten passeren en schoon te maken. Room Om te voorkomen dat een schone ruimte in de buurt van de installatieperiode wordt besmet, moeten beschermende maatregelen worden genomen om ervoor te zorgen dat de schone kamer nog steeds voldoet aan de reinheidseisen en het daaropvolgende vereiste werk.
2. Als het werk in Clean Room niet kan worden gestopt tijdens elke installatieperiode, of als er structuren zijn die moeten worden ontmanteld, moet de lopende schone kamer effectief worden geïsoleerd uit het werkgebied: tijdelijke isolatiemuren of partities kunnen worden gebruikt. Om het installatiewerk niet te belemmeren, moet er voldoende ruimte rond de apparatuur zijn. Als de omstandigheden het toelaat, kan de toegang tot het isolatiegebied via servicekanalen of andere niet-kritische gebieden zijn: als dit niet mogelijk is, moeten maatregelen worden genomen om de vervuilingsimpact te minimaliseren die wordt veroorzaakt door het installatiewerkzaamheden. Het isolatiegebied moet gelijke druk of negatieve druk handhaven. De schone luchttoevoer moet worden afgesneden in het hoogbouwgebied om positieve druk op de omringende schone kamers te voorkomen. Als de toegang tot het isolatiegebied alleen via een aangrenzende schone kamer is, moeten plakkerige kussens worden gebruikt om vuil van schoenen te verwijderen.
3. Na het betreden van het gebied op hoge hoogte, kunnen wegwerpschoenen of overschrijvingen en werkkleding uit één stuk worden gebruikt om te voorkomen dat de schone kleding wordt vervuild. Deze wegwerpartikelen moeten worden verwijderd voordat het quarantainegebied wordt verlaten. Methoden voor het bewaken van het gebied rond het isolatiegebied tijdens het installatieproces van apparatuur moeten worden ontwikkeld en de frequentie van monitoring moet worden bepaald om ervoor te zorgen dat elke verontreiniging die in de aangrenzende schone kamer kan lekken wordt gedetecteerd. Nadat de isolatiemaatregelen zijn opgezet, kunnen verschillende vereiste openbare dienstfaciliteiten, zoals elektriciteit, water, gas, vacuüm, perslucht en afvalwaterpijpleidingen, worden opgezet. Aandacht moet worden besteed aan het controleren en isoleren van de door de operatie gegenereerde rook en puin die zoveel mogelijk door de operatie is gegenereerd om onbedoelde verspreiding naar de omliggende schone kamer te voorkomen. Het moet ook effectieve reiniging vergemakkelijken voordat de isolatiebarrière wordt verwijderd. Nadat de openbare dienstfaciliteiten aan de gebruikseisen voldoen, moet het hele isolatiegebied worden gereinigd en ontsmet volgens de voorgeschreven reinigingsprocedures. Alle oppervlakken, inclusief alle muren, apparatuur (vast en beweegbaar) en vloeren, moeten stofzuigers worden, worden weggevaagd en gedweekt, met speciale aandacht worden besteed aan schoonmaakgebieden achter apparatuurbeschermers en onder apparatuur.
4. Een voorlopige test van apparatuurprestaties kan worden uitgevoerd op basis van de werkelijke omstandigheden van de schone kamer en geïnstalleerde apparatuur, maar daaropvolgende acceptatietests moeten worden uitgevoerd wanneer de schone omgevingscondities volledig worden voldaan. Afhankelijk van de voorwaarden op de installatieplaats, kunt u de isolatiemuur zorgvuldig beginnen te ontmantelen; Als de schone luchttoevoer is uitgeschakeld, start u deze opnieuw; De tijd voor deze fase van het werk moet zorgvuldig worden geselecteerd om interferentie met het normale werk van de schone kamer te minimaliseren. Op dit moment kan het nodig zijn om te meten of de concentratie van deeltjes in de lucht voldoet aan de gespecificeerde vereisten.
5. Reiniging en voorbereiding van het interieur van de apparatuur en belangrijke proceskamers moet worden uitgevoerd onder normale schone kameromstandigheden. Alle interne kamers en alle oppervlakken die in contact komen met het product of betrokken zijn bij producttransport, moeten worden weggevaagd tot het vereiste niveau van netheid. De reinigingsvolgorde van de apparatuur moet van boven naar beneden zijn. Als deeltjes worden verspreid, vallen grotere deeltjes op de bodem van de apparatuur of de grond als gevolg van de zwaartekracht. Reinig het buitenoppervlak van de apparatuur van boven naar beneden. Indien nodig moet oppervlaktedetectie worden uitgevoerd in gebieden waar het product- of productieprocesvereisten van cruciaal belang zijn.
6. Gezien de kenmerken van schone kamers, met name het grote gebied, hoge investeringen, hoge output en zeer strikte reinheidseisen van hightech cleanrooms, is de installatie van productieprocesapparatuur in dit type schone fabriek meer vergelijkbaar met dat van gewone schone kamers. Daartoe heeft de nationale standaard "Code voor schone fabrieksconstructie en kwaliteitsacceptatie" in 2015 enkele bepalingen gedaan voor de installatie van productieprocesapparatuur in schone fabrieken, voornamelijk inclusief het volgende.
①. Om verontreiniging of zelfs schade aan de schone kamer te voorkomen die "lege" acceptatie heeft ondergaan tijdens het installatieproces van productieprocesapparatuur, mag het installatieproces van de apparatuur geen overmatige trillingen of kanteling hebben, en mag niet worden verdeeld en verontreinigingsapparatuur worden oppervlakken.
②. Om de installatie van productieprocesapparatuur in de Clean Room ordelijk en zonder of met minder zitten, en om het schone productiebeheersysteem in schone workshop te volgen, moet u ervoor zorgen dat het installatieproces van de productieapparatuur wordt beschermd volgens de verschillende " Afgewerkte producten "en" semi-afgewerkte producten "geaccepteerd in" lege toestand ", materialen, machines, enz. Die moeten worden gebruikt in het installatieproces mogen niet worden uitgezonden of kunnen produceren (inclusief in de normale werking van de schone ruimte voor een lange tijd) verontreinigende stoffen die zijn schadelijk voor de geproduceerde producten. Schone materialen die stofvrij, roestvrij, vetvrij zijn en geen stof produceren tijdens gebruik moet worden gebruikt.
③. Het gebouwdecoratieoppervlak van de schone kamer moet worden beschermd met schone, stofvrije platen, films en andere materialen; De back -plaat van de apparatuur moet worden gemaakt volgens de vereisten van het ontwerp of de apparatuur. Als er geen vereisten zijn, moeten roestvrijstalen platen of plastic platen worden gebruikt. Koolstofstaalprofielen die worden gebruikt voor onafhankelijke stichtingen en vloerversterkingen moeten worden behandeld met anti-corrosie en het oppervlak moet plat en glad zijn; Elastische afdichtmaterialen die worden gebruikt voor het afdichten.
④. Materialen moeten worden gemarkeerd met ingrediënten, variëteiten, productiedatum, opslagvaliditeitsperiode, instructies van de bouwmethode en productkwalificatiecertificaten. Machines en gereedschappen die in schone kamers worden gebruikt, mogen niet worden verplaatst naar niet-reeks kamers voor gebruik. Machines en gereedschappen mogen niet worden verplaatst naar de schone ruimte voor gebruik. Machines en gereedschappen die in het schone gebied worden gebruikt, moeten ervoor zorgen dat de blootgestelde delen van de machine geen stof produceren of maatregelen nemen om te voorkomen dat stof het milieu vervuilt. Veelgebruikte machines en gereedschappen moeten in de luchtsluis worden gereinigd voordat ze naar het schone gebied worden verplaatst. , moet voldoen aan de vereisten om olievrij, vuilvrij, stofvrij en roestvrij te zijn en moet worden verplaatst na het doorgeven van de inspectie en het aanbrengen van een "schone" of "alleen" onderteken ".
⑤. De productieprocesapparatuur in de schone kamer moet worden geïnstalleerd op "specifieke vloeren" zoals verhoogde vloeren. De fundering van de apparatuur moet in het algemeen worden ingesteld op de lagere technische mezzaninebloem of op de poreuze plaat; De activiteiten die moeten worden gedemonteerd om de fundering te installeren, de structuur van de vloer nadat ze zijn gesneden met een draagbare elektrische zaag, moeten worden versterkt, en de belastingdragende capaciteit moet niet lager zijn dan de oorspronkelijke belastingdragende capaciteit. Wanneer een onafhankelijke fundering van een stalen framestructuur wordt gebruikt, moet deze worden gemaakt van gegalvaniseerd materiaal of roestvrij staal en moet het blootgestelde oppervlak plat en glad zijn.
⑥. Wanneer het installatieproces van productieprocesapparatuur in een schone kamer het openen van gaten in wandpanelen, hangende plafonds en verhoogde vloeren vereist, mogen de booractiviteiten de oppervlakken van wandpanelen en gesuspendeerde plafondpanelen die moeten worden behouden niet verdelen of vervuilen. Na de opening van de verhoogde vloer moeten de fundering niet op tijd worden geïnstalleerd, moeten veiligheidsgeldrails en gevarenborden worden geïnstalleerd; Nadat de productieapparatuur is geïnstalleerd, moet de opening rond het gat worden afgesloten en moeten de apparatuur en afdichtingscomponenten in flexibel contact staan en de verbinding tussen de afdichtingscomponent en de wandplaat moet strak en stevig zijn; Het afdichtingsoppervlak aan een kant van de werkkamer moet plat en glad zijn.
Posttijd: SEP-06-2023