IS0 14644-5 vereist dat de installatie van vaste apparatuur in cleanrooms gebaseerd moet zijn op het ontwerp en de functie van de cleanroom.De volgende details zullen hieronder worden geïntroduceerd.
1. Installatiemethode voor apparatuur: De ideale methode is om de cleanroom te sluiten tijdens de installatieperiode van de apparatuur, en een deur te hebben die de kijkhoek van de apparatuur kan bereiken of een kanaal op het bord te reserveren zodat nieuwe apparatuur er doorheen kan en schoon kan binnenkomen Om te voorkomen dat de cleanroom in de buurt van de installatieperiode besmet raakt, moeten beschermende maatregelen worden genomen om ervoor te zorgen dat de cleanroom nog steeds voldoet aan de reinheidseisen en de daaropvolgende werkzaamheden.
2. Als de werkzaamheden in de cleanroom niet tijdens elke installatieperiode kunnen worden stopgezet, of als er constructies zijn die moeten worden gedemonteerd, moet de lopende cleanroom effectief worden geïsoleerd van het werkgebied: er kunnen tijdelijke isolatiewanden of scheidingswanden worden gebruikt.Om de installatiewerkzaamheden niet te hinderen, moet er voldoende ruimte rondom de apparatuur zijn.Als de omstandigheden het toelaten, kan de toegang tot het isolatiegebied plaatsvinden via servicekanalen of andere niet-kritieke gebieden: als dit niet mogelijk is, moeten maatregelen worden genomen om de vervuilingseffecten veroorzaakt door de installatiewerkzaamheden tot een minimum te beperken.Het isolatiegebied moet een gelijke of negatieve druk handhaven.In de hoogbouw moet de toevoer van schone lucht worden afgesloten om positieve druk op de omliggende schone ruimtes te voorkomen.Als de toegang tot het isolatiegebied alleen via een aangrenzende cleanroom plaatsvindt, moeten plakpads worden gebruikt om vuil van schoenen te verwijderen.
3. Na het betreden van het gebied op grote hoogte kunnen wegwerplaarzen of -overschoenen en werkkleding uit één stuk worden gebruikt om besmetting van de schone kleding te voorkomen.Deze wegwerpartikelen moeten worden verwijderd voordat ze de quarantaineruimte verlaten.Er moeten methoden worden ontwikkeld voor het monitoren van het gebied rond het isolatiegebied tijdens het installatieproces van de apparatuur en de frequentie van de monitoring moet worden bepaald om ervoor te zorgen dat eventuele verontreiniging die in de aangrenzende cleanroom kan lekken, wordt gedetecteerd.Nadat de isolatiemaatregelen zijn getroffen, kunnen diverse benodigde openbare voorzieningen, zoals elektriciteits-, water-, gas-, vacuüm-, perslucht- en afvalwaterleidingen, worden aangelegd.Er moet aandacht worden besteed aan het zoveel mogelijk beheersen en isoleren van de rook en het puin dat door de operatie wordt gegenereerd, om onbedoelde verspreiding naar de omliggende cleanroom te voorkomen.Het moet ook een effectieve reiniging vergemakkelijken voordat de isolatiebarrière wordt verwijderd.Nadat de openbare voorzieningen aan de gebruikseisen voldoen, moet de gehele isolatieruimte worden gereinigd en ontsmet volgens de voorgeschreven reinigingsprocedures.Alle oppervlakken, inclusief alle muren, apparatuur (vast en verplaatsbaar) en vloeren, moeten worden gestofzuigd, afgeveegd en gedweild, waarbij speciale aandacht wordt besteed aan het schoonmaken van gebieden achter apparatuurafschermingen en onder apparatuur.
4. Er kan een voorlopige test van de prestaties van de apparatuur worden uitgevoerd op basis van de werkelijke omstandigheden van de cleanroom en de geïnstalleerde apparatuur, maar daaropvolgende acceptatietests moeten worden uitgevoerd wanneer volledig aan de omstandigheden van de schone omgeving is voldaan.Afhankelijk van de omstandigheden op de plaats van opstelling kunt u beginnen met het voorzichtig demonteren van de isolatiemuur;als de toevoer van schone lucht is uitgeschakeld, start u deze opnieuw;de tijd voor deze fase van het werk moet zorgvuldig worden gekozen om interferentie met het normale werk in de cleanroom tot een minimum te beperken.Op dit moment kan het nodig zijn om te meten of de concentratie van in de lucht zwevende deeltjes voldoet aan de gestelde eisen.
5. Het reinigen en voorbereiden van de binnenkant van de apparatuur en de belangrijkste proceskamers moet worden uitgevoerd onder normale cleanroomomstandigheden.Alle interne kamers en alle oppervlakken die in contact komen met het product of betrokken zijn bij producttransport moeten worden afgeveegd tot het vereiste niveau van reinheid.De reinigingsvolgorde van de apparatuur moet van boven naar beneden zijn.Als deeltjes worden verspreid, zullen grotere deeltjes door de zwaartekracht naar de bodem van de apparatuur of de grond vallen.Reinig het buitenoppervlak van het apparaat van boven naar beneden.Indien nodig moet detectie van oppervlaktedeeltjes worden uitgevoerd in gebieden waar de product- of productieprocesvereisten van cruciaal belang zijn.
6. Gezien de kenmerken van cleanrooms, met name het grote oppervlak, de hoge investeringen, de hoge output en de zeer strenge reinheidseisen van hightech cleanrooms, lijkt de installatie van productieprocesapparatuur in dit type schone fabriek meer op die van gewone schone kamers.Daartoe zijn in de nationale norm "Code for Clean Factory Construction and Quality Acceptance", die in 2015 werd uitgebracht, enkele voorzieningen getroffen voor de installatie van productieprocesapparatuur in schone fabrieken, waaronder voornamelijk de volgende.
①.Om verontreiniging of zelfs schade aan de cleanroom die een "lege" acceptatie heeft ondergaan tijdens het installatieproces van productieprocesapparatuur te voorkomen, mag het installatieproces van de apparatuur niet overmatig trillen of kantelen, en mag deze niet worden verdeeld en de apparatuur verontreinigen. oppervlakken.
②.Om de installatie van productieprocesapparatuur in de cleanroom ordelijk en zonder of met minder zitten te laten verlopen, en om het schone productiebeheersysteem in een schone werkplaats te volgen, moet u ervoor zorgen dat het installatieproces van de productieapparatuur wordt beschermd volgens de verschillende " eindproducten” en “halffabrikaten” die in “lege toestand” worden geaccepteerd, materialen, machines, etc. die bij het installatieproces moeten worden gebruikt, mogen geen emissies uitstoten of mogen produceren (ook niet bij de normale werking van de cleanroom gedurende lange tijd). tijd) verontreinigende stoffen die schadelijk zijn voor de geproduceerde producten.Er moeten schone materialen worden gebruikt die stofvrij, roestvrij en vetvrij zijn en tijdens het gebruik geen stof produceren.
③.Het bouwdecoratieoppervlak van de cleanroom moet worden beschermd met schone, stofvrije platen, films en andere materialen;de achterplaat van de apparatuur moet worden gemaakt volgens de technische documentvereisten van het ontwerp of de apparatuur.Als er geen eisen zijn, moeten roestvrijstalen platen of kunststofplaten worden gebruikt.Koolstofstaalprofielen die worden gebruikt voor onafhankelijke funderingen en vloerversterkingen moeten worden behandeld met corrosiebescherming en het oppervlak moet vlak en glad zijn;elastische afdichtingsmaterialen die worden gebruikt voor afdichtingen.
④.Materialen moeten worden gemarkeerd met ingrediënten, variëteiten, productiedatum, geldigheidsduur van opslag, instructies voor de constructiemethode en productkwalificatiecertificaten.Machines en gereedschappen die in cleanrooms worden gebruikt, mogen voor gebruik niet naar niet-cleanrooms worden verplaatst.Machines en gereedschappen mogen voor gebruik niet naar de cleanroom worden verplaatst.Machines en gereedschappen die in de schone ruimte worden gebruikt, moeten ervoor zorgen dat de blootgestelde delen van de machine geen stof produceren of maatregelen nemen om te voorkomen dat stof het milieu vervuilt.Veelgebruikte machines en gereedschappen moeten in de luchtsluis worden gereinigd voordat ze naar de schone ruimte worden verplaatst., moet voldoen aan de vereisten om olievrij, vuilvrij, stofvrij en roestvrij te zijn, en moet worden verplaatst nadat hij de inspectie heeft doorstaan en een bordje met 'Clean' of 'Alleen een schoon gebied' heeft aangebracht.
⑤.De productieprocesapparatuur in de cleanroom moet op "specifieke vloeren" zoals verhoogde vloeren worden geïnstalleerd.De fundering van de apparatuur moet doorgaans op de onderste technische tussenverdieping of op de poreuze cementplaat worden geplaatst;de activiteiten die moeten worden gedemonteerd om de fundering te installeren. De structuur van de vloer, nadat deze is doorgesneden met een handbediende elektrische zaag, moet worden versterkt en het draagvermogen mag niet lager zijn dan het oorspronkelijke draagvermogen.Wanneer een onafhankelijke fundering van een stalen frameconstructie wordt gebruikt, moet deze zijn gemaakt van gegalvaniseerd materiaal of roestvrij staal en moet het blootgestelde oppervlak vlak en glad zijn.
⑥.Wanneer het installatieproces van productieprocesapparatuur in een cleanroom het openen van gaten in wandpanelen, verlaagde plafonds en verhoogde vloeren vereist, mogen de boorwerkzaamheden de oppervlakken van de wandpanelen en verlaagde plafondpanelen die moeten worden behouden niet verdelen of vervuilen.Na het openen van de verhoogde vloer, wanneer de fundering niet op tijd kan worden geïnstalleerd, moeten veiligheidsleuningen en gevarenborden worden geïnstalleerd;nadat de productieapparatuur is geïnstalleerd, moet de opening rond het gat worden afgedicht en moeten de apparatuur en afdichtingscomponenten flexibel contact maken, en moet de verbinding tussen het afdichtingsonderdeel en de muurplaat strak en stevig zijn;het afdichtingsoppervlak aan één zijde van de werkruimte moet vlak en glad zijn.
Posttijd: 06-sep-2023