Normaal gesproken omvat het toepassingsgebied van cleanroomtesten: milieubeoordeling van cleanrooms, technische acceptatietesten, waaronder voor voedingsmiddelen, gezondheidsproducten, cosmetica, flessenwater, werkplaatsen voor melkproductie, werkplaatsen voor de productie van elektronische producten, GMP-werkplaatsen, operatiekamers in ziekenhuizen, dierenlaboratoria, laboratoria voor biologische veiligheid, veiligheidskasten voor biologische veiligheid, schone werkbanken, stofvrije werkplaatsen, steriele werkplaatsen, enz.
Inhoud van cleanroomtesten: luchtsnelheid en luchtvolume, aantal luchtwisselingen, temperatuur en vochtigheid, drukverschil, zwevende stofdeeltjes, rondzwevende bacteriën, gevestigde bacteriën, geluid, verlichting, enz. Raadpleeg voor meer informatie de relevante normen voor cleanroomtesten.
De detectie van cleanrooms moet de bezettingsstatus ervan duidelijk identificeren. Verschillende statussen resulteren in verschillende testresultaten. Volgens de "Clean Room Design Code" (GB 50073-2001) worden cleanroomtests onderverdeeld in drie toestanden: lege toestand, statische toestand en dynamische toestand.
(1) Lege toestand: de faciliteit is gebouwd, alle stroom is aangesloten en functioneert, maar er zijn geen productie-apparatuur, materialen en personeel.
(2) Er is sprake van een statische toestand, de productie-apparatuur is geïnstalleerd en functioneert zoals overeengekomen door de eigenaar en de leverancier, maar er is geen productiepersoneel.
(3) Een dynamische staat functioneert in een bepaalde staat, heeft bepaald personeel aanwezig en voert werk uit in een overeengekomen staat.
1. Luchtsnelheid, luchtvolume en aantal luchtwisselingen
De reinheid van cleanrooms en cleanrooms wordt voornamelijk bereikt door voldoende schone lucht in te blazen om de in de ruimte gegenereerde deeltjes te verdringen en te verdunnen. Daarom is het zeer noodzakelijk om het luchttoevoervolume, de gemiddelde windsnelheid, de gelijkmatigheid van de luchttoevoer, de luchtstroomrichting en het stromingspatroon van cleanrooms of cleanrooms te meten.
Voor de oplevering van cleanroomprojecten bepalen de "Clean Room Construction and Acceptance Specifications" (JGJ 71-1990) van mijn land duidelijk dat testen en afstellen in lege of statische toestand moeten plaatsvinden. Deze regelgeving kan de kwaliteit van het project tijdiger en objectiever beoordelen en kan ook geschillen over projectafsluiting voorkomen, omdat dynamische resultaten niet volgens planning worden behaald.
Bij de daadwerkelijke opleveringsinspectie komen statische omstandigheden vaak voor en lege omstandigheden zelden. Dit komt doordat een deel van de procesapparatuur in de cleanroom vooraf op zijn plaats moet staan. Vóór de reinheidstest moet de procesapparatuur zorgvuldig worden afgeveegd om te voorkomen dat de testgegevens worden beïnvloed. De regelgeving in de "Clean Room Construction and Acceptance Specifications" (GB50591-2010), die op 1 februari 2011 is geïmplementeerd, is specifieker: "16.1.2 De bezettingsstatus van de cleanroom tijdens de inspectie is als volgt verdeeld: de technische aanpassingstest moet leeg zijn, de inspectie en dagelijkse routinematige inspectie voor projectacceptatie moeten leeg of statisch zijn, terwijl de inspectie en monitoring voor gebruiksacceptatie dynamisch moeten zijn. Indien nodig kan de inspectiestatus ook worden bepaald door middel van overleg tussen de bouwer (gebruiker) en de inspectiepartij."
De gerichte luchtstroom is voornamelijk afhankelijk van een schone luchtstroom die de vervuilde lucht in de ruimte duwt en verplaatst om de reinheid ervan te behouden. Daarom zijn de windsnelheid en -uniformiteit van de luchttoevoer belangrijke parameters die de reinheid beïnvloeden. Hogere en gelijkmatigere dwarsdoorsnedewindsnelheden kunnen verontreinigende stoffen die door binnenprocessen worden geproduceerd, sneller en effectiever verwijderen. Dit zijn dan ook de cleanroomtesten waar we ons voornamelijk op richten.
Niet-unidirectionele stroming is voornamelijk afhankelijk van de inkomende schone lucht om de verontreinigende stoffen in de ruimte te verdunnen en de reinheid te behouden. De resultaten geven aan dat hoe meer luchtverversingen en hoe redelijk het luchtstroompatroon, hoe beter het verdunningseffect zal zijn. Daarom zijn het luchttoevoervolume en de bijbehorende luchtverversingen in cleanrooms en cleanrooms met niet-eenfase-stroming testobjecten voor luchtstroom die veel aandacht hebben getrokken.
2. Temperatuur en vochtigheid
Temperatuur- en vochtigheidsmetingen in cleanrooms of cleanrooms kunnen over het algemeen worden onderverdeeld in twee niveaus: algemene testen en uitgebreide testen. De opleveringstest in lege toestand is geschikter voor de volgende klasse; de uitgebreide prestatietest in statische of dynamische toestand is geschikter voor de volgende klasse. Dit type test is geschikt voor situaties met hoge eisen aan temperatuur en vochtigheid.
Deze test wordt uitgevoerd na de test van de uniformiteit van de luchtstroom en de afstelling van het airconditioningsysteem. Gedurende deze testperiode functioneerde het airconditioningsysteem goed en waren de omstandigheden stabiel. Het is minimaal noodzakelijk om in elke vochtigheidsregelzone een vochtigheidssensor te installeren en de sensor voldoende tijd te geven om te stabiliseren. De meting moet geschikt zijn voor daadwerkelijk gebruik totdat de sensor stabiel is voordat de meting wordt gestart. De meettijd moet langer zijn dan 5 minuten.
3. Drukverschil
Dit type test is bedoeld om te verifiëren of een bepaald drukverschil kan worden gehandhaafd tussen de voltooide faciliteit en de omgeving, en tussen elke ruimte in de faciliteit. Deze detectie geldt voor alle drie de bezettingstoestanden. Deze test is onmisbaar. De detectie van het drukverschil moet worden uitgevoerd met alle deuren gesloten, beginnend van hoge druk naar lage druk, beginnend vanuit de binnenruimte, ver van de buitenruimte qua indeling, en vervolgens naar buiten in volgorde. Cleanrooms van verschillende klasse met onderling verbonden openingen hebben alleen redelijke luchtstroomrichtingen bij de ingangen.
Vereisten voor drukverschiltests:
(1) Wanneer alle deuren in het schone gebied gesloten moeten zijn, wordt het statische drukverschil gemeten.
(2) Ga in een schone kamer te werk van hoge naar lage reinheid totdat u een kamer met directe toegang tot buiten ontdekt.
(3) Wanneer er geen luchtstroom in de kamer is, moet de mond van de meetbuis op een willekeurige positie worden geplaatst en moet het oppervlak van de mond van de meetbuis parallel aan de luchtstroomlijn zijn.
(4) De gemeten en geregistreerde gegevens moeten nauwkeurig zijn tot 1,0 Pa.
Stappen voor het detecteren van drukverschillen:
(1) Sluit alle deuren.
(2) Gebruik een drukverschilmeter om het drukverschil te meten tussen elke schone kamer, tussen de gangen van de schone kamer en tussen de gang en de buitenwereld.
(3) Alle gegevens moeten worden vastgelegd.
Standaardvereisten voor drukverschillen:
(1) Het statische drukverschil tussen schone ruimten of schone gebieden van verschillende niveaus en niet-schone ruimten (gebieden) moet meer dan 5 Pa bedragen.
(2) Het statische drukverschil tussen de schone ruimte (ruimte) en de buitenlucht moet meer dan 10 Pa bedragen.
(3) Voor schone ruimten met unidirectionele stroming en met een luchtzuiverheidsniveau dat strenger is dan ISO 5 (klasse 100), moet de stofconcentratie op het binnenwerkoppervlak op 0,6 m afstand van de deur lager zijn dan de stofconcentratiegrens van het overeenkomstige niveau wanneer de deur wordt geopend.
(4) Indien niet aan de bovenstaande normvereisten wordt voldaan, moeten het verseluchtvolume en het afvoerluchtvolume opnieuw worden aangepast totdat ze gekwalificeerd zijn.
4. Zwevende deeltjes
(1) Testers die binnen testen, moeten schone kleding dragen en kleiner zijn dan twee personen. Ze moeten zich aan de lijzijde van het testpunt bevinden, op afstand van het testpunt. Ze moeten zich licht bewegen bij het wisselen van punten om te voorkomen dat het personeel de schoonmaak binnenshuis hindert.
(2) De apparatuur moet binnen de kalibratieperiode worden gebruikt.
(3) De apparatuur moet vóór en na de test worden schoongemaakt.
(4) In het gebied met unidirectionele stroming moet de geselecteerde bemonsteringssonde zich dicht bij dynamische bemonstering bevinden en moet de afwijking tussen de luchtsnelheid die de bemonsteringssonde binnenkomt en de te bemonsteren luchtsnelheid minder dan 20% bedragen. Indien dit niet het geval is, moet de bemonsteringspoort in de hoofdrichting van de luchtstroom zijn gericht. Bij bemonsteringspunten met niet-unidirectionele stroming moet de bemonsteringspoort verticaal omhoog gericht zijn.
(5) De verbindingsleiding van de bemonsteringspoort naar de stofdeeltjesteller-sensor moet zo kort mogelijk zijn.
5. Zwevende bacteriën
Het aantal laaggeplaatste bemonsteringspunten komt overeen met het aantal bemonsteringspunten voor zwevende deeltjes. De meetpunten in het werkgebied bevinden zich ongeveer 0,8-1,2 m boven de grond. De meetpunten bij de luchttoevoeropeningen bevinden zich op ongeveer 30 cm afstand van het luchttoevoeroppervlak. Meetpunten kunnen worden toegevoegd bij belangrijke apparatuur of belangrijke werkactiviteiten. Elk bemonsteringspunt wordt meestal één keer bemonsterd.
6. Gevestigde bacteriën
Werk op een afstand van 0,8-1,2 m van de grond. Plaats de voorbereide petrischaal op het monsterpunt. Open het deksel van de petrischaal. Dek de petrischaal na de aangegeven tijd weer af. Plaats de petrischaal in een broedstoof met constante temperatuur voor de kweek. De benodigde tijd bedraagt meer dan 48 uur. Elke batch moet een controletest ondergaan om te controleren op besmetting van het kweekmedium.
7. Ruis
Als de meethoogte ongeveer 1,2 meter vanaf de grond is en de oppervlakte van de cleanroom kleiner is dan 15 vierkante meter, kan er slechts één punt in het midden van de kamer worden gemeten. Als de oppervlakte groter is dan 15 vierkante meter, moeten er bovendien vier diagonale punten worden gemeten, één op 1 punt vanaf de zijwand, waarbij de meetpunten op elke hoek liggen.
8. Verlichting
Het meetpuntoppervlak bevindt zich op ongeveer 0,8 meter afstand van de grond en de meetpunten zijn 2 meter uit elkaar geplaatst. Voor kamers kleiner dan 30 vierkante meter bevinden de meetpunten zich op 0,5 meter afstand van de zijmuur. Voor kamers groter dan 30 vierkante meter bevinden de meetpunten zich op 1 meter afstand van de muur.
Plaatsingstijd: 14-09-2023