Het testen van cleanrooms omvat doorgaans: milieubeoordeling van cleanrooms, technische acceptatietesten, waaronder voor levensmiddelen, gezondheidsproducten, cosmetica, gebotteld water, melkproductiewerkplaatsen, werkplaatsen voor de productie van elektronische producten, GMP-werkplaatsen, operatiekamers in ziekenhuizen, dierenlaboratoria, bioveiligheidslaboratoria, bioveiligheidskasten, clean benches, stofvrije werkplaatsen, steriele werkplaatsen, enz.
Inhoud van cleanroomtesten: luchtsnelheid en luchtvolume, aantal luchtverversingen, temperatuur en luchtvochtigheid, drukverschil, zwevende stofdeeltjes, zwevende bacteriën, neergeslagen bacteriën, geluid, verlichting, enz. Raadpleeg voor details de relevante normen voor cleanroomtesten.
Bij de detectie van cleanrooms moet duidelijk worden aangegeven of ze in gebruik zijn. Verschillende statussen leiden tot verschillende testresultaten. Volgens de "Clean Room Design Code" (GB 50073-2001) wordt het testen van cleanrooms onderverdeeld in drie fasen: lege fase, statische fase en dynamische fase.
(1) Lege toestand: De faciliteit is gebouwd, alle stroom is aangesloten en werkt, maar er zijn geen productieapparatuur, materialen en personeel.
(2) De statische toestand is gecreëerd, de productieapparatuur is geïnstalleerd en functioneert zoals overeengekomen door de eigenaar en de leverancier, maar er is geen productiepersoneel.
(3) Dynamische staat functioneert in een gespecificeerde staat, heeft gespecificeerd personeel aanwezig en verricht werk in een overeengekomen staat.
1. Luchtsnelheid, luchtvolume en aantal luchtverversingen
De reinheid van cleanrooms en cleanzones wordt voornamelijk bereikt door een voldoende hoeveelheid schone lucht toe te voeren om de in de ruimte gegenereerde fijnstofdeeltjes te verdringen en te verdunnen. Daarom is het van groot belang om het luchttoevoervolume, de gemiddelde windsnelheid, de luchttoevoeruniformiteit, de luchtstroomrichting en het stromingspatroon van cleanrooms of cleanzones te meten.
Voor de oplevering en acceptatie van cleanroomprojecten schrijft de "Clean Room Construction and Acceptance Specifications" (JGJ 71-1990) van mijn land duidelijk voor dat testen en afstellingen in lege of statische toestand moeten worden uitgevoerd. Deze regelgeving maakt een snellere en objectievere beoordeling van de projectkwaliteit mogelijk en voorkomt geschillen over de stopzetting van projecten als gevolg van het niet behalen van de geplande dynamische resultaten.
Tijdens de daadwerkelijke opleveringsinspectie zijn statische omstandigheden gebruikelijk en lege omstandigheden zeldzaam. Dit komt doordat een deel van de procesapparatuur in de cleanroom vooraf moet worden geplaatst. Voordat de reinheidstest wordt uitgevoerd, moet de procesapparatuur zorgvuldig worden afgeveegd om te voorkomen dat de testgegevens worden beïnvloed. De voorschriften in de "Clean Room Construction and Acceptance Specifications" (GB50591-2010), die op 1 februari 2011 van kracht zijn geworden, zijn specifieker: "16.1.2 De bezettingsstatus van de cleanroom tijdens de inspectie is als volgt onderverdeeld: de test voor technische aanpassingen moet leeg zijn, de inspectie en dagelijkse routine-inspectie voor projectacceptatie moeten leeg of statisch zijn, terwijl de inspectie en monitoring voor gebruiksacceptatie dynamisch moeten zijn. Indien nodig kan de inspectiestatus ook worden vastgesteld in overleg tussen de bouwer (gebruiker) en de inspecteur."
De gerichte luchtstroom is voornamelijk gebaseerd op een schone luchtstroom die de vervuilde lucht in de ruimte en omgeving verdringt en zo de reinheid van de ruimte en omgeving handhaaft. Daarom zijn de windsnelheid en de gelijkmatigheid van de luchtstroom in het toevoergedeelte belangrijke parameters die de reinheid beïnvloeden. Hogere en gelijkmatigere windsnelheden in de dwarsdoorsnede kunnen de door binnenprocessen geproduceerde verontreinigende stoffen sneller en effectiever verwijderen. Dit zijn dan ook de belangrijkste testcriteria voor cleanrooms waar we ons op richten.
Bij niet-eenrichtingsverkeer in cleanrooms en cleanzones is de luchtstroom voornamelijk afhankelijk van de aangevoerde schone lucht om de verontreinigende stoffen in de ruimte te verdunnen en zo de reinheid te behouden. Uit onderzoek blijkt dat hoe groter het aantal luchtverversingen en hoe beter het luchtstroompatroon, hoe beter het verdunningseffect. Daarom zijn het luchttoevoervolume en de bijbehorende luchtverversingen in cleanrooms en cleanzones met niet-eenrichtingsverkeer belangrijke testonderwerpen voor luchtstroom.
2. Temperatuur en luchtvochtigheid
Temperatuur- en vochtigheidsmetingen in cleanrooms of cleanworkshops kunnen over het algemeen worden onderverdeeld in twee niveaus: algemene testen en uitgebreide testen. De acceptatietest in lege toestand is meer geschikt voor het volgende niveau; de uitgebreide prestatietest in statische of dynamische toestand is meer geschikt voor het volgende niveau. Dit type test is geschikt voor situaties met strenge eisen aan temperatuur en vochtigheid.
Deze test wordt uitgevoerd na de test op luchtstroomuniformiteit en de afstelling van het airconditioningsysteem. Tijdens deze testperiode functioneerde het airconditioningsysteem naar behoren en stabiliseerden de verschillende omstandigheden. Het is minimaal noodzakelijk om in elke vochtigheidsregelzone een vochtigheidssensor te installeren en de sensor voldoende tijd te geven om te stabiliseren. De meting moet geschikt zijn voor daadwerkelijk gebruik totdat de sensor stabiel is voordat de meting wordt gestart. De meettijd moet minimaal 5 minuten bedragen.
3. Drukverschil
Dit soort testen dient om te verifiëren of een bepaald drukverschil tussen de voltooide faciliteit en de omgeving, en tussen de verschillende ruimtes binnen de faciliteit, gehandhaafd kan worden. Deze detectie is van toepassing op alle drie de bezettingsgraden. Deze test is onmisbaar. De detectie van het drukverschil moet worden uitgevoerd met alle deuren gesloten, beginnend bij hoge druk en eindigend bij lage druk, te beginnen in de binnenruimte die qua indeling het verst van de buitenruimte verwijderd is, en vervolgens in volgorde naar buiten toe te testen. Cleanrooms van verschillende classificaties met onderling verbonden openingen hebben alleen een redelijke luchtstroomrichting bij de ingangen.
Vereisten voor drukverschiltesten:
(1) Wanneer alle deuren in de schone ruimte gesloten moeten zijn, wordt het statische drukverschil gemeten.
(2) In een cleanroom moet men in volgorde van hoge naar lage reinheid te werk gaan totdat een ruimte met directe toegang naar buiten wordt gevonden.
(3) Wanneer er geen luchtstroom in de ruimte is, moet de opening van de meetbuis in een willekeurige positie worden geplaatst en moet het oppervlak van de opening van de meetbuis parallel lopen aan de luchtstroomrichting.
(4) De gemeten en geregistreerde gegevens moeten nauwkeurig zijn tot op 1,0 Pa.
Stappen voor het detecteren van drukverschillen:
(1) Sluit alle deuren.
(2) Gebruik een differentiële drukmeter om het drukverschil te meten tussen elke cleanroom, tussen cleanroomgangen en tussen de gang en de buitenwereld.
(3) Alle gegevens moeten worden vastgelegd.
Standaardvereisten voor drukverschil:
(1) Het statische drukverschil tussen cleanrooms of schone zones van verschillende niveaus en niet-cleanrooms (zones) moet groter zijn dan 5 Pa.
(2) Het statische drukverschil tussen de cleanroom (het cleanroomgebied) en de buitenlucht moet groter zijn dan 10 Pa.
(3) Voor cleanrooms met eenrichtingsstroom en luchtzuiverheidsniveaus die strenger zijn dan ISO 5 (klasse 100), moet de stofconcentratie op het binnenoppervlak van het werkgebied 0,6 m binnen de deur, wanneer de deur wordt geopend, lager zijn dan de stofconcentratielimiet van het betreffende niveau.
(4) Indien niet aan de bovenstaande standaardvereisten wordt voldaan, moeten het volume verse lucht en het volume afvoerlucht worden aangepast totdat aan de eisen is voldaan.
4. Zwevende deeltjes
(1) Binnentesters moeten schone kleding dragen en met minder dan twee personen zijn. Ze moeten zich aan de loefzijde van het testpunt bevinden en uit de buurt van het testpunt. Ze moeten zich licht bewegen bij het wisselen van punten om de verstoring van de hygiëne door het personeel niet te vergroten.
(2) De apparatuur moet binnen de kalibratieperiode worden gebruikt.
(3) De apparatuur moet voor en na het testen worden gereinigd.
(4) In het gebied met eenrichtingsstroming moet de gekozen bemonsteringssonde zich dicht bij de dynamische bemonstering bevinden, en de afwijking tussen de luchtsnelheid die de bemonsteringssonde binnenkomt en de bemonsterde luchtsnelheid moet minder dan 20% bedragen. Indien dit niet het geval is, moet de bemonsteringsopening in de hoofdrichting van de luchtstroom wijzen. Voor bemonsteringspunten met niet-eenrichtingsstroming moet de bemonsteringsopening verticaal naar boven gericht zijn.
(5) De verbindingsbuis van de bemonsteringspoort naar de stofdeeltjestellersensor moet zo kort mogelijk zijn.
5. Zwevende bacteriën
Het aantal bemonsteringspunten op lage hoogte komt overeen met het aantal bemonsteringspunten voor zwevende deeltjes. De meetpunten in het werkgebied bevinden zich op ongeveer 0,8-1,2 m boven de grond. De meetpunten bij de luchttoevoeropeningen bevinden zich op ongeveer 30 cm afstand van het luchttoevoeroppervlak. Er kunnen extra meetpunten worden toegevoegd bij belangrijke apparatuur of in belangrijke werkgebieden. Elk bemonsteringspunt wordt doorgaans eenmaal bemonsterd.
6. Neergeslagen bacteriën
Werk op een afstand van 0,8-1,2 m van de grond. Plaats de voorbereide petrischaal op het bemonsteringspunt. Open het deksel van de petrischaal. Sluit de petrischaal na de aangegeven tijd weer af. Plaats de petrischaal in een incubator met constante temperatuur voor de kweek. De benodigde tijd bedraagt meer dan 48 uur; elke batch moet worden gecontroleerd op besmetting van het kweekmedium.
7. Geluid
Als de meethoogte ongeveer 1,2 meter vanaf de grond is en de oppervlakte van de cleanroom minder dan 15 vierkante meter bedraagt, kan er slechts op één punt in het midden van de ruimte worden gemeten; als de oppervlakte groter is dan 15 vierkante meter, moeten er ook op vier diagonale punten worden gemeten, één punt vanaf de zijwand en meetpunten die naar elke hoek gericht zijn.
8. Verlichting
Het meetpunt bevindt zich op ongeveer 0,8 meter van de grond en de punten zijn 2 meter van elkaar verwijderd. Voor ruimtes kleiner dan 30 vierkante meter bevinden de meetpunten zich op 0,5 meter afstand van de zijwand. Voor ruimtes groter dan 30 vierkante meter bevinden de meetpunten zich op 1 meter afstand van de muur.
Geplaatst op: 14 september 2023