Gewoonlijk omvat de reikwijdte van het testen in een cleanroom: milieubeoordeling in een cleanroom, technische acceptatietests, inclusief voedsel, gezondheidsproducten, cosmetica, flessenwater, een workshop voor de melkproductie, een workshop voor de productie van elektronische producten, een GMP-workshop, de operatiekamer van een ziekenhuis, een dierenlaboratorium, bioveiligheid laboratoria, bioveiligheidskabinetten, schone banken, stofvrije werkplaatsen, steriele werkplaatsen, etc.
Inhoud van tests in cleanrooms: luchtsnelheid en luchtvolume, aantal luchtverversingen, temperatuur en vochtigheid, drukverschil, zwevende stofdeeltjes, zwevende bacteriën, bezonken bacteriën, geluid, verlichting, enz. Raadpleeg voor meer informatie de relevante normen voor schoon testen van kamers.
De detectie van cleanrooms moet de bezettingsstatus ervan duidelijk identificeren.Verschillende statussen resulteren in verschillende testresultaten.Volgens de "Clean Room Design Code" (GB 50073-2001) zijn tests in cleanrooms verdeeld in drie toestanden: lege toestand, statische toestand en dynamische toestand.
(1) Leegtestatus: De faciliteit is gebouwd, alle stroom is aangesloten en werkt, maar er zijn geen productieapparatuur, materialen en personeel.
(2) Er is een statische toestand opgebouwd, de productieapparatuur is geïnstalleerd en werkt zoals overeengekomen door de eigenaar en leverancier, maar er is geen productiepersoneel.
(3) De dynamische toestand functioneert in een bepaalde toestand, er is gespecificeerd personeel aanwezig en voert werk uit in een overeengekomen toestand.
1. Luchtsnelheid, luchtvolume en aantal luchtverversingen
De netheid van schone kamers en schone ruimtes wordt voornamelijk bereikt door voldoende schone lucht naar binnen te sturen om de in de kamer gegenereerde deeltjes te verdringen en te verdunnen.Daarom is het zeer noodzakelijk om het luchttoevoervolume, de gemiddelde windsnelheid, de uniformiteit van de luchttoevoer, de luchtstroomrichting en het stromingspatroon van schone kamers of schone faciliteiten te meten.
Voor de voltooiingsaanvaarding van cleanroomprojecten wordt in de "Clean Room Construction and Acceptance Specifications" (JGJ 71-1990) van mijn land duidelijk bepaald dat testen en afstellen moeten worden uitgevoerd in lege of statische toestand.Deze regelgeving kan de kwaliteit van het project tijdiger en objectiever beoordelen, en kan ook geschillen over de afsluiting van projecten voorkomen als gevolg van het niet behalen van dynamische resultaten zoals gepland.
Bij de daadwerkelijke opleveringsinspectie zijn statische omstandigheden gebruikelijk en lege omstandigheden zeldzaam.Omdat een deel van de procesapparatuur in de cleanroom van tevoren aanwezig moet zijn.Voordat de reinheidstests worden uitgevoerd, moet de procesapparatuur zorgvuldig worden afgeveegd om te voorkomen dat de testgegevens worden beïnvloed.De voorschriften in de "Clean Room Construction and Acceptance Specificaties" (GB50591-2010), geïmplementeerd op 1 februari 2011, zijn specifieker: "16.1.2 De bezettingsstatus van de cleanroom tijdens inspectie is als volgt verdeeld: de technische aanpassingstest moet leeg zijn. De inspectie en dagelijkse routine-inspectie voor projectacceptatie moeten leeg of statisch zijn, terwijl de inspectie en monitoring voor gebruiksacceptatie dynamisch moeten zijn. Indien nodig kan de inspectiestatus ook worden bepaald door middel van onderhandelingen tussen de bouwer (gebruiker) en de inspectie partij.”
De gerichte stroom is voornamelijk afhankelijk van een schone luchtstroom om de vervuilde lucht in de kamer en het gebied te duwen en te verplaatsen om de netheid van de kamer en het gebied te behouden.Daarom zijn de windsnelheid en uniformiteit van het luchttoevoergedeelte belangrijke parameters die de reinheid beïnvloeden.Hogere en meer uniforme windsnelheden in de dwarsdoorsnede kunnen verontreinigende stoffen die door processen binnenshuis worden geproduceerd, sneller en effectiever verwijderen, dus dit zijn de testitems in cleanrooms waar we ons vooral op concentreren.
Niet-unidirectionele stroming is voornamelijk afhankelijk van de binnenkomende schone lucht om de verontreinigende stoffen in de kamer en het gebied te verdunnen en te verdunnen om de reinheid ervan te behouden.De resultaten geven aan dat hoe groter het aantal luchtverversingen en het redelijke luchtstroompatroon is, hoe beter het verdunningseffect zal zijn.Daarom zijn het luchttoevoervolume en de overeenkomstige luchtveranderingen in schone kamers en schone ruimtes met niet-eenfasige stroom luchtstroomtestitems die veel aandacht hebben getrokken.
2. Temperatuur en vochtigheid
Temperatuur- en vochtigheidsmetingen in cleanrooms of schone werkplaatsen kunnen over het algemeen in twee niveaus worden verdeeld: algemene tests en uitgebreide tests.De voltooiing acceptatietest in lege staat is geschikter voor het volgende leerjaar;de uitgebreide prestatietest in statische of dynamische toestand is geschikter voor het volgende leerjaar.Dit soort tests is geschikt voor gelegenheden waarbij strenge eisen worden gesteld aan temperatuur en luchtvochtigheid.
Deze test wordt uitgevoerd na de luchtstroomuniformiteitstest en de afstelling van het airconditioningsysteem.Tijdens deze testperiode heeft het airconditioningsysteem goed gefunctioneerd en zijn diverse omstandigheden gestabiliseerd.Het is minimaal om in elke vochtigheidscontrolezone een vochtigheidssensor te installeren en de sensor voldoende stabilisatietijd te geven.De meting moet geschikt zijn voor daadwerkelijk gebruik totdat de sensor stabiel is voordat de meting wordt gestart.De meettijd moet langer zijn dan 5 minuten.
3. Drukverschil
Dit soort testen is bedoeld om het vermogen te verifiëren om een bepaald drukverschil te handhaven tussen de voltooide faciliteit en de omringende omgeving, en tussen elke ruimte in de faciliteit.Deze detectie geldt voor alle drie de bezettingsstatussen.Deze test is onmisbaar.De detectie van drukverschillen moet worden uitgevoerd met alle deuren gesloten, beginnend van hoge druk naar lage druk, beginnend vanuit de binnenkamer, ver weg van de buitenkant qua indeling, en vervolgens achtereenvolgens naar buiten testen.Schone kamers van verschillende kwaliteiten met onderling verbonden gaten hebben alleen redelijke luchtstroomrichtingen bij de ingangen.
Testvereisten voor drukverschillen:
(1) Wanneer alle deuren in een schone ruimte gesloten moeten zijn, wordt het statische drukverschil gemeten.
(2) Ga in een schone ruimte in volgorde van hoge naar lage reinheid totdat een ruimte met directe toegang naar buiten wordt gedetecteerd.
(3) Als er geen luchtstroom in de kamer is, moet de monding van de meetbuis op elke gewenste positie worden geplaatst en moet het mondoppervlak van de meetbuis evenwijdig zijn aan de luchtstroomstroomlijn.
(4) De gemeten en geregistreerde gegevens moeten tot op 1,0 Pa nauwkeurig zijn.
Detectiestappen voor drukverschil:
(1) Sluit alle deuren.
(2) Gebruik een verschildrukmeter om het drukverschil te meten tussen elke cleanroom, tussen cleanroomgangen en tussen de gang en de buitenwereld.
(3) Alle gegevens moeten worden vastgelegd.
Standaardvereisten voor drukverschil:
(1) Het statische drukverschil tussen schone ruimtes of schone ruimtes met verschillende niveaus en niet-schone ruimtes (gebieden) moet groter zijn dan 5 Pa.
(2) Het statische drukverschil tussen de cleanroom (het gebied) en de buitenlucht moet groter zijn dan 10 Pa.
(3) Voor schone ruimtes met unidirectionele luchtstroom met luchtreinheidsniveaus die strenger zijn dan ISO 5 (klasse 100), moet, wanneer de deur wordt geopend, de stofconcentratie op het binnenwerkoppervlak op 0,6 m binnen de deur lager zijn dan de stofconcentratielimiet van het overeenkomstige niveau .
(4) Als niet aan de bovenstaande standaardvereisten wordt voldaan, moeten het verse luchtvolume en het uitlaatluchtvolume opnieuw worden afgesteld totdat dit gekwalificeerd is.
4. Zwevende deeltjes
(1) Indoortesters moeten schone kleding dragen en kleiner zijn dan twee personen.Ze moeten zich aan de benedenwindse kant van het testpunt bevinden, weg van het testpunt.Ze moeten licht bewegen bij het wisselen van wissel om te voorkomen dat het personeel zich meer gaat bemoeien met de netheid binnenshuis.
(2) De apparatuur moet binnen de kalibratieperiode worden gebruikt.
(3) De apparatuur moet voor en na het testen worden vrijgegeven.
(4) In het unidirectionele stroomgebied moet de geselecteerde bemonsteringssonde dicht bij de dynamische bemonstering liggen, en de afwijking van de luchtsnelheid die de bemonsteringssonde binnenkomt en de luchtsnelheid die wordt bemonsterd, moet minder dan 20% zijn.Als dit niet gebeurt, moet de bemonsteringspoort in de hoofdrichting van de luchtstroom wijzen.Voor niet-unidirectionele stroombemonsteringspunten moet de bemonsteringspoort verticaal naar boven gericht zijn.
(5) De verbindingsleiding vanaf de bemonsteringspoort naar de stofdeeltjestellersensor moet zo kort mogelijk zijn.
5. Zwevende bacteriën
Het aantal bemonsteringspunten op lage positie komt overeen met het aantal bemonsteringspunten voor zwevende deeltjes.De meetpunten in het werkgebied bevinden zich ongeveer 0,8-1,2 meter boven de grond.De meetpunten bij de luchttoevoeruitlaten bevinden zich op ongeveer 30 cm afstand van het luchttoevoeroppervlak.Meetpunten kunnen worden toegevoegd aan belangrijke apparatuur of belangrijke werkactiviteiten.wordt elk bemonsteringspunt doorgaans één keer bemonsterd.
6. Gevestigde bacteriën
Werk op een afstand van 0,8-1,2 m van de grond.Plaats de voorbereide petrischaal op het monsternamepunt.Open het deksel van de petrischaal.Dek de petrischaal na de aangegeven tijd opnieuw af.Plaats de petrischaal in een incubator met constante temperatuur voor de teelt.De tijd die nodig is gedurende 48 uur, elke batch moet een controletest ondergaan om te controleren op verontreiniging van het kweekmedium.
7. Lawaai
Als de meethoogte ongeveer 1,2 meter boven de grond ligt en de oppervlakte van de cleanroom minder dan 15 vierkante meter bedraagt, kan slechts één punt in het midden van de kamer worden gemeten;als de oppervlakte groter is dan 15 vierkante meter, moeten ook vier diagonale punten worden gemeten, één punt op 1 punt vanaf de zijmuur, met de meetpunten naar elke hoek gericht.
8. Verlichting
Het meetpuntoppervlak bevindt zich op ongeveer 0,8 meter afstand van de grond en de punten zijn 2 meter uit elkaar geplaatst.Bij ruimtes binnen de 30 vierkante meter liggen de meetpunten op 0,5 meter afstand van de zijmuur.Bij ruimtes groter dan 30 vierkante meter bevinden de meetpunten zich op 1 meter afstand van de muur.
Posttijd: 14 september 2023