Een cleanroom is een speciaal, afgesloten gebouw dat is ontworpen om de hoeveelheid deeltjes in de lucht te beheersen. Over het algemeen worden in een cleanroom ook omgevingsfactoren zoals temperatuur en luchtvochtigheid, luchtstroompatronen, trillingen en geluid gecontroleerd. Waaruit bestaat een cleanroom? We helpen je de vijf onderdelen te begrijpen:
1. Compartiment
De cleanroom is verdeeld in drie delen: een kleedkamer, een cleanroom van klasse 1000 en een cleanroom van klasse 100. De kleedkamer en de cleanroom van klasse 1000 zijn uitgerust met luchtdouches. Zowel de cleanroom als het buitengebied zijn voorzien van een luchtdouche. Een doorgeefluik wordt gebruikt voor het in- en uitgaan van de cleanroom. Personen die de cleanroom betreden, moeten eerst door een luchtdouche om het stof van hun lichaam te verwijderen en de hoeveelheid stof die door personeel de cleanroom binnenkomt te verminderen. Het doorgeefluik blaast het stof van de voorwerpen af, waardoor het stof wordt verwijderd.
2. Stroomschema van het luchtsysteem
Het systeem maakt gebruik van een nieuwe airconditioner + FFU-systeem:
(1). Structuur van de verse luchtconditioneringskast
(2).FFU-ventilatorfiltereenheid
Het filter in een cleanroom van klasse 1000 maakt gebruik van een HEPA-filter met een filtratie-efficiëntie van 99,997%, en het filter in een cleanroom van klasse 100 maakt gebruik van een ULPA-filter met een filtratie-efficiëntie van 99,9995%.
3. Stroomschema van het watersysteem
Het watersysteem is verdeeld in een primair en een secundair gedeelte.
De watertemperatuur aan de primaire zijde is 7-12℃ en wordt toegevoerd aan de airconditioningunit en de ventilatorconvector. De watertemperatuur aan de secundaire zijde is 12-17℃ en wordt toegevoerd aan het droogspiraalsysteem. Het water aan de primaire en secundaire zijde vormen twee aparte circuits, verbonden door een platenwarmtewisselaar.
Principe van de platenwarmtewisselaar
Droge spoel: Een niet-condenserende spoel. Omdat de temperatuur in de reinigingsruimte 22℃ is en het dauwpunt ongeveer 12℃, kan water van 7℃ niet rechtstreeks de cleanroom binnenkomen. Daarom ligt de temperatuur van het water dat de droge spoel binnenkomt tussen 12 en 14℃.
4. Temperatuur van het regelsysteem (DDC): regeling van het droge spoelsysteem
Vochtigheid: De airconditioner regelt de watertoevoer naar de warmtewisselaar door de opening van de driewegklep te regelen aan de hand van een gedetecteerd signaal.
Positieve druk: de airconditioning regelt, op basis van het signaal van de statische druksensor, automatisch de frequentie van de frequentieregelaar van de airconditioningmotor, waardoor de hoeveelheid verse lucht die de cleanroom binnenkomt, wordt geregeld.
5. Andere systemen
Een cleanroomsysteem omvat niet alleen het airconditioningsysteem, maar ook vacuüm, luchtdruk, stikstof, zuiver water, afvalwater, koolstofdioxide, een procesafvoersysteem en testnormen.
(1). Testen van de luchtsnelheid en uniformiteit. Deze test is een voorwaarde voor andere testen van het effect van de cleanroom. Het doel van deze test is om de gemiddelde luchtstroom en de uniformiteit van de unidirectionele luchtstroom in het werkgebied van de cleanroom te bepalen.
(2). Luchtvolumemeting van het systeem of de ruimte.
(3). Detectie van de luchtkwaliteit binnenshuis. De detectie van de luchtkwaliteit houdt in dat het niveau van luchtkwaliteit dat in een cleanroom kan worden bereikt, wordt vastgesteld. Hiervoor kan een deeltjesteller worden gebruikt.
(4). Detectie van de zelfreinigingstijd. Door de zelfreinigingstijd te bepalen, kan worden vastgesteld of de cleanroom zijn oorspronkelijke reinheid kan herstellen wanneer er verontreiniging optreedt.
(5). Detectie van luchtstroompatronen.
(6). Geluidsdetectie.
(7). Detectie van verlichting. Het doel van verlichtingstesten is het bepalen van het verlichtingsniveau en de verlichtingsuniformiteit van de cleanroom.
(8) Trillingsdetectie. Het doel van trillingsdetectie is het bepalen van de trillingsamplitude van elk beeldscherm in de cleanroom.
(9). Detectie van temperatuur en vochtigheid. Het doel van temperatuur- en vochtigheidsdetectie is het vermogen om de temperatuur en vochtigheid binnen bepaalde grenzen te regelen. De inhoud omvat het detecteren van de temperatuur van de toevoerlucht van de cleanroom, het detecteren van de luchttemperatuur op representatieve meetpunten, het detecteren van de luchttemperatuur in het middelpunt van de cleanroom, het detecteren van de luchttemperatuur bij gevoelige componenten, het detecteren van de relatieve temperatuur van de binnenlucht en het detecteren van de temperatuur van de retourlucht.
(10). Detectie van het totale luchtvolume en het verse luchtvolume.
Geplaatst op: 24 januari 2024