Een cleanroom is een speciaal gesloten gebouw dat is gebouwd om deeltjes in de lucht in de ruimte te beheersen. Over het algemeen houdt een cleanroom ook omgevingsfactoren zoals temperatuur en vochtigheid, luchtstroompatronen, trillingen en geluid onder controle. Waaruit bestaat een cleanroom? We helpen je de vijf onderdelen te onderscheiden:
1. Compartiment
De cleanroom is verdeeld in drie delen: een kleedkamer, een klasse 1000 cleanroom en een klasse 100 cleanroom. De kleedkamer en de klasse 1000 cleanroom zijn voorzien van luchtdouches. De cleanroom en de buitenruimte zijn voorzien van een luchtdouche. De doorgeefkast wordt gebruikt voor het in- en uitbrengen van items in de cleanroom. Wanneer mensen de cleanroom betreden, moeten ze eerst door een luchtdouche lopen om het stof dat door het menselijk lichaam wordt meegebracht, weg te blazen en het stof dat door personeel in de cleanroom wordt meegebracht, te verminderen. De doorgeefkast blaast het stof van de items om het stof te verwijderen.
2. Stroomschema van het luchtsysteem
Het systeem maakt gebruik van een nieuw airconditioning- + FFU-systeem:
(1). Structuur van een frisse airconditioningbox
(2).FFU-ventilatorfiltereenheid
Het filter in de cleanroom van klasse 1000 maakt gebruik van HEPA, met een filtratie-efficiëntie van 99,997%. Het filter in de cleanroom van klasse 100 maakt gebruik van ULPA, met een filtratie-efficiëntie van 99,9995%.
3. Stroomschema van het watersysteem
Het watersysteem is verdeeld in een primair en secundair deel.
De watertemperatuur aan de primaire zijde is 7-12 °C en wordt geleverd aan de airconditioningbox en de fancoilunit. De watertemperatuur aan de secundaire zijde is 12-17 °C en wordt geleverd aan het droge-coilsysteem. Het water aan de primaire en secundaire zijde bestaat uit twee afzonderlijke circuits, verbonden door een platenwarmtewisselaar.
Principe van de platenwarmtewisselaar
Droge spoel: Een niet-condenserende spoel. Omdat de temperatuur in de zuiveringswerkplaats 22 °C bedraagt en de dauwpunttemperatuur ongeveer 12 °C bedraagt, kan water van 7 °C niet rechtstreeks de cleanroom binnenkomen. De watertemperatuur die de droge spoel binnenkomt, ligt daarom tussen de 12 en 14 °C.
4. Temperatuur van het regelsysteem (DDC): regeling van het droge spoelsysteem
Luchtvochtigheid: De airconditioning regelt het waterinlaatvolume van de spoel van de airconditioning door de opening van de driewegklep te regelen via het gedetecteerde signaal.
Positieve druk: de regeling van de airconditioner past, op basis van het signaal van de statische druksensor, automatisch de frequentie van de omvormer van de airconditionermotor aan en bepaalt zo de hoeveelheid frisse lucht die de schone ruimte binnenkomt.
5. Andere systemen
Naast het airconditioningsysteem omvat het cleanroomsysteem ook vacuüm, luchtdruk, stikstof, zuiver water, afvalwater, koolstofdioxidesysteem, procesafzuigsysteem en testnormen:
(1). Testen van de luchtstroomsnelheid en -uniformiteit. Deze test is een voorwaarde voor andere testeffecten van cleanrooms. Het doel van deze test is om de gemiddelde luchtstroom en uniformiteit van het werkgebied met unidirectionele stroming in cleanrooms te verduidelijken.
(2). Detectie van het luchtvolume van het systeem of de kamer.
(3). Detectie van binnenhuisreinheid. Het detecteren van de reinheid is bedoeld om het niveau van luchtreinheid te bepalen dat in een cleanroom kan worden bereikt. Een deeltjesteller kan worden gebruikt om dit te detecteren.
(4). Detectie van de zelfreinigingstijd. Door de zelfreinigingstijd te bepalen, kan het vermogen worden vastgesteld om de oorspronkelijke reinheid van de cleanroom te herstellen wanneer er besmetting in de cleanroom optreedt.
(5). Detectie van luchtstroompatroon.
(6). Ruisdetectie.
(7). Detectie van verlichting. Het doel van verlichtingstesten is om het verlichtingsniveau en de uniformiteit van de verlichting in de cleanroom te bepalen.
(8). Trillingsdetectie. Het doel van trillingsdetectie is om de trillingsamplitude van elk beeldscherm in een cleanroom te bepalen.
(9). Detectie van temperatuur en vochtigheid. Het doel van temperatuur- en vochtigheidsdetectie is om de temperatuur en vochtigheid binnen bepaalde grenzen te kunnen regelen. Het omvat het detecteren van de toevoerluchttemperatuur van de cleanroom, het detecteren van de luchttemperatuur op representatieve meetpunten, het detecteren van de luchttemperatuur in het midden van de cleanroom, het detecteren van de luchttemperatuur bij gevoelige componenten, het detecteren van de relatieve temperatuur van de binnenlucht en het detecteren van de retourluchttemperatuur.
(10). Detectie van het totale luchtvolume en het verse luchtvolume.
Plaatsingstijd: 24-01-2024