Cleanroom is een speciaal gesloten gebouw dat is gebouwd om deeltjes in de lucht in de ruimte onder controle te houden.Over het algemeen zal een cleanroom ook omgevingsfactoren controleren, zoals temperatuur en vochtigheid, bewegingspatronen van de luchtstroom en trillingen en geluid.Waaruit bestaat een cleanroom?Wij helpen u de vijf onderdelen op een rij te zetten:
1. Compartiment
Het cleanroomcompartiment is verdeeld in drie delen: kleedkamer, klasse 1000 schone ruimte en klasse 100 schone ruimte.Kleedkamer en klasse 1000 schone ruimte zijn uitgerust met luchtdouches.Schone kamer en buitenruimte zijn uitgerust met luchtdouche.Passbox wordt gebruikt voor items die de cleanroom binnenkomen en verlaten.Wanneer mensen een schone kamer binnenkomen, moeten ze eerst door een luchtdouche gaan om stof uit te blazen dat door het menselijk lichaam wordt gedragen en om het stof dat door personeel in de schone kamer wordt gebracht te verminderen.Passbox blaast stof uit de items om het effect van stofverwijdering te bereiken.
2. Stroomschema van het luchtsysteem
Het systeem maakt gebruik van een nieuwe airconditioner + FFU-systeem:
(1).Frisse airconditioning boxstructuur
(2).FFU-ventilatorfiltereenheid
Het filter in de cleanroom van klasse 1000 maakt gebruik van HEPA, met een filtratie-efficiëntie van 99,997%, en het filter in de cleanroom van klasse 100 maakt gebruik van ULPA, met een filtratie-efficiëntie van 99,9995%.
3. Stroomschema watersysteem
Het watersysteem is verdeeld in primaire zijde en secundaire zijde.
De watertemperatuur aan de primaire zijde is 7-12℃, die wordt geleverd aan de airconditioningbox en de ventilatorconvector, en de watertemperatuur aan de secundaire zijde is 12-17℃, die wordt geleverd aan het droge spoelsysteem.Het water aan primaire zijde en secundaire zijde zijn twee verschillende circuits, verbonden door een platenwarmtewisselaar.
Principe van platenwarmtewisselaar
Droge spoel: Een niet-condenserende spoel.Omdat de temperatuur in de zuiveringsworkshop 22℃ bedraagt en de dauwpunttemperatuur ongeveer 12℃ is, kan 7℃ water niet rechtstreeks de schone ruimte binnendringen.Daarom ligt de watertemperatuur die de droge spoel binnenkomt tussen 12 en 14 ℃.
4. Temperatuur van het regelsysteem (DDC): regeling van het droge spoelsysteem
Vochtigheid: De airconditioner regelt het waterinlaatvolume van de spoel van de airconditioner door de opening van de driewegklep te regelen via het waargenomen signaal.
Positieve druk: de aanpassing van de airconditioner past, afhankelijk van het signaal van de statische drukdetectie, automatisch de frequentie van de motoromvormer van de airconditioner aan, waardoor de hoeveelheid verse lucht die de schone kamer binnenkomt, wordt aangepast.
5. Andere systemen
Niet alleen het airconditioningsysteem, het cleanroomsysteem omvat ook vacuüm, luchtdruk, stikstof, zuiver water, afvalwater, kooldioxidesysteem, procesuitlaatsysteem en testnormen:
(1).Testen van luchtstroomsnelheid en uniformiteit.Deze tests zijn de voorwaarde voor andere testeffecten van cleanrooms.Het doel van deze tests is om de gemiddelde luchtstroom en uniformiteit van het werkgebied met unidirectionele luchtstroom in een cleanroom te verduidelijken.
(2).Luchtvolumedetectie van het systeem of de kamer.
(3).Detectie van reinheid binnenshuis.De detectie van reinheid is bedoeld om het niveau van luchtreinheid te bepalen dat in een cleanroom kan worden bereikt, en een deeltjesteller kan worden gebruikt om dit te detecteren.
(4).Detectie van zelfreinigingstijd.Door de zelfreinigingstijd te bepalen, kan het vermogen worden vastgesteld om de oorspronkelijke netheid van de cleanroom te herstellen wanneer er verontreiniging optreedt in de cleanroom.
(5).Detectie van luchtstroompatronen.
(6).Geluidsdetectie.
(7). Detectie van verlichting.Het doel van verlichtingstesten is het bepalen van het verlichtingsniveau en de verlichtingsuniformiteit van de cleanroom.
(8). Trillingsdetectie.Het doel van trillingsdetectie is om de trillingsamplitude van elk scherm in een cleanroom te bepalen.
(9).Detectie van temperatuur en vochtigheid.Het doel van temperatuur- en vochtigheidsdetectie is de mogelijkheid om temperatuur en vochtigheid binnen bepaalde grenzen aan te passen.De inhoud ervan omvat het detecteren van de toevoerluchttemperatuur van een cleanroom, het detecteren van de luchttemperatuur op representatieve meetpunten, het detecteren van de luchttemperatuur in het middelpunt van de cleanroom, het detecteren van de luchttemperatuur bij gevoelige componenten, het detecteren van de relatieve temperatuur van de binnenlucht en het detecteren de retourluchttemperatuur.
(10).Detectie van het totale luchtvolume en het verse luchtvolume.
Posttijd: 24 januari 2024