Waar moet je op letten bij het ontwerpen van een cleanroom?

Luchtstroompatroon en toevoerluchtvolume in cleanrooms

1. Het ontwerp van het luchtstroompatroon moet voldoen aan de volgende voorschriften:

(1) Het luchtstroompatroon en het toevoerluchtvolume van de cleanroom (ruimte) moeten voldoen aan de eisen. Wanneer de vereiste voor de luchtreinheid strenger is dan ISO 4, dient unidirectionele stroming te worden gebruikt. Wanneer de luchtreinheid tussen ISO 4 en ISO 5 ligt, dient unidirectionele stroming te worden gebruikt. Wanneer de luchtreinheid ISO 6-9 is, dient niet-unidirectionele stroming te worden gebruikt.

(2) De luchtstroomverdeling in de werkruimte van de cleanroom moet gelijkmatig zijn.

(3) De luchtstroomsnelheid in de werkruimte van de cleanroom moet voldoen aan de eisen van het productieproces.

2. Het luchttoevoervolume van de cleanroom moet de maximale waarde van de volgende drie items hebben:

(1) Het volume aan toevoerlucht dat voldoet aan de eisen van het luchtreinheidsniveau.

(2) Het luchttoevoervolume bepaald op basis van de berekening van de warmte- en vochtigheidsbelasting.

(3) De som van de hoeveelheid verse lucht die nodig is om het volume van de uitlaatlucht binnenshuis te compenseren en de positieve druk binnenshuis te handhaven; Zorg ervoor dat de toevoer van verse lucht naar elke persoon in de schone kamer niet minder dan 40 m3 per uur bedraagt.

3. Bij de indeling van de verschillende faciliteiten in de cleanroom moet rekening worden gehouden met de impact op luchtstroompatronen en de luchtzuiverheid, en moet worden voldaan aan de volgende voorschriften:

(1) In een schone ruimte met een unidirectionele stroming mag geen schone werkbank worden geplaatst, en de uitlaat voor de retourlucht van een schone ruimte met een niet-unidirectionele stroming moet zich op afstand van de schone werkbank bevinden.

(2) De procesapparatuur die ventilatie nodig heeft, moet aan de lijzijde van de cleanroom worden geplaatst.

(3) Wanneer er verwarmingsapparatuur aanwezig is, moeten maatregelen worden genomen om de invloed van de warmeluchtstroom op de luchtstroomverdeling te verminderen.

(4) Het restdrukventiel moet aan de lijzijde van de schone luchtstroom worden aangebracht.

Luchtzuiveringsbehandeling

1. De selectie, opstelling en installatie van luchtfilters moeten voldoen aan de volgende voorschriften:

(1) Bij de behandeling van luchtzuivering moeten luchtfilters redelijkerwijs worden geselecteerd op basis van het niveau van de luchtreinheid.

(2) Het verwerkingsluchtvolume van het luchtfilter moet kleiner of gelijk zijn aan het nominale luchtvolume.

(3) Middelgrote of HEPA-luchtfilters moeten geconcentreerd worden in het positieve drukgedeelte van de airconditioningbox.

(4) Bij gebruik van sub-HEPA-filters en HEPA-filters als eindfilters dienen deze aan het einde van het zuiveringsluchtbehandelingssysteem te worden geplaatst. Ultra-HEPA-filters dienen aan het einde van het zuiveringsluchtbehandelingssysteem te worden geplaatst.

(5) De weerstandsefficiëntie van HEPA- (sub-HEPA-, ultra-HEPA-)luchtfilters die in dezelfde cleanroom zijn geïnstalleerd, moet vergelijkbaar zijn.

(6) De installatiemethode van HEPA-luchtfilters (sub-HEPA, ultra-HEPA) moet strak, eenvoudig, betrouwbaar en gemakkelijk te detecteren en te vervangen zijn.

2. De verse lucht van het zuiveringsluchtbehandelingssysteem in grotere, schone fabrieken moet centraal worden behandeld voor luchtzuivering.

3. Het ontwerp van het luchtzuiveringssysteem moet op redelijke wijze gebruik maken van retourlucht.

4. De ventilator van het luchtzuiveringssysteem moet frequentieomzettingsmaatregelen nemen.

1. Er moeten maatregelen worden genomen ter bescherming tegen bevriezing van speciale buitenluchtsystemen in extreem koude en koude gebieden.

Verwarming, ventilatie en rookbeheersing

1. In cleanrooms met een luchtzuiverheid hoger dan ISO 8 mogen geen radiatoren worden gebruikt voor verwarming.

2. Voor procesapparatuur die stof en schadelijke gassen in cleanrooms genereert, moeten lokale afzuigapparaten worden geïnstalleerd.

3. In de volgende situaties moet het lokale uitlaatsysteem apart worden ingesteld:

(1) Het gemengde uitlaatmedium kan corrosiviteit, toxiciteit, verbrandings- en explosiegevaar en kruisbesmetting veroorzaken of verergeren.

(2) Het uitlaatmedium bevat giftige gassen.

(3) Het uitlaatmedium bevat ontvlambare en explosieve gassen.

4. Het ontwerp van het afzuigsysteem van de cleanroom moet voldoen aan de volgende voorschriften:

(1) Terugstroming van buitenlucht moet worden voorkomen.

(2) Lokale uitlaatsystemen die ontvlambare en explosieve stoffen bevatten, moeten passende brand- en explosiepreventiemaatregelen treffen, gebaseerd op hun fysieke en chemische eigenschappen.

(3) Wanneer de concentratie en de emissiesnelheid van schadelijke stoffen in het uitlaatgas de nationale of regionale regelgeving inzake de emissieconcentratie en de emissiesnelheid van schadelijke stoffen overschrijden, moet een onschadelijke behandeling worden uitgevoerd.

(4) Voor uitlaatsystemen die waterdamp en condenseerbare stoffen bevatten, moeten hellingen en afvoeropeningen worden aangebracht.

5. Er moeten ventilatiemaatregelen worden genomen voor hulpproductieruimten, zoals ruimten waar schoenen worden verwisseld, kleding wordt opgeborgen, waar gewassen worden, toiletten en douches. De statische druk binnenshuis moet lager zijn dan die van de schone ruimte.

6. Volgens de eisen van het productieproces moet een noodafzuigsysteem worden geïnstalleerd. Het noodafzuigsysteem moet worden uitgerust met automatische en handmatige bedieningsschakelaars, en de handmatige bedieningsschakelaars moeten afzonderlijk in de cleanroom en buiten worden geplaatst voor eenvoudige bediening.

7. De installatie van rookafzuiginstallaties in schone werkplaatsen moet voldoen aan de volgende voorschriften:

(1) In de evacuatiegangen van schone werkplaatsen moeten mechanische rookafzuiginstallaties worden geïnstalleerd.

(2) De in de schone werkplaats geïnstalleerde rookafzuiginstallaties dienen te voldoen aan de relevante bepalingen van de geldende nationale norm.

Andere maatregelen voor het ontwerp van cleanrooms

1. De schone werkplaats dient te zijn uitgerust met ruimten en faciliteiten voor de reiniging van personeel en materiaal, alsmede leefruimten en andere ruimtes indien nodig.

2. De inrichting van personeelsreinigingsruimten en verblijfsruimten dient te voldoen aan de volgende voorschriften:

(1) Er moet een ruimte worden ingericht voor de reiniging van het personeel, zoals het opbergen van regenkleding, het wisselen van schoenen en jassen en het omkleden van schone werkkleding.

(2) Toiletten, badkamers, doucheruimtes, rustruimtes en andere leefruimtes, evenals luchtdouches, luchtsluizen, wasruimtes voor werkkleding en droogruimtes, kunnen naar behoefte worden ingericht.

3. Het ontwerp van de zuiveringsruimten en leefruimten voor het personeel dient te voldoen aan de volgende voorschriften:

(1) Bij de ingang van de personeelsreinigingsruimte moeten maatregelen voor het reinigen van schoenen worden aangebracht.

(2) Ruimten voor het opbergen van jassen en het omkleden van schone werkkleding moeten apart worden ingericht.

(3) De opbergkast voor de buitenste kledingstukken moet zo zijn ontworpen dat er per persoon één kast is, en schone werkkleding moet in een schone kast worden gehangen met een luchtstroom en een douche.

(4) De badkamer moet voorzieningen hebben om de handen te wassen en te drogen.

(5) De luchtdoucheruimte dient zich te bevinden bij de ingang van het personeel in de schone ruimte en naast de kleedruimte voor schone werkkleding. Per 30 personen in het maximale aantal shifts wordt één luchtdoucheruimte voor één persoon ingericht. Wanneer er meer dan 5 personeelsleden in de schone ruimte aanwezig zijn, dient er aan één zijde van de luchtdoucheruimte een bypassdeur te worden geïnstalleerd.

(6) Cleanrooms met verticale unidirectionele stroming die strenger zijn dan ISO 5, moeten luchtsluizen hebben.

(7) Toiletten zijn niet toegestaan ​​in schone ruimtes. Het toilet in de personeelsreinigingsruimte dient een voorruimte te hebben.

4. De voetgangersroute moet voldoen aan de volgende voorschriften:

(1) De voetgangersroute moet kruispunten met een heen-en-weergaand verkeer vermijden.

(2) De inrichting van de zuiveringsruimten en leefruimten voor personeel moet in overeenstemming zijn met de procedures voor zuivering van personeel.

5. Afhankelijk van de verschillende niveaus van luchtzuiverheid en het aantal medewerkers moet de oppervlakte van de personeelsreinigingsruimte en de leefruimte in de schone werkplaats redelijkerwijs worden bepaald. Deze moet worden berekend op basis van het gemiddelde aantal personen in het ontwerp van de schone ruimte, variërend van 2 vierkante meter tot 4 vierkante meter per persoon.

6. De eisen voor de luchtzuivering van kleedkamers en wasruimtes voor schone werkkleding moeten worden bepaald op basis van de eisen aan het productproces en de mate van luchtzuiverheid van aangrenzende schone kamers (ruimten).

7. Apparatuur in cleanrooms en de in- en uitgangen van materialen dienen te zijn uitgerust met zuiveringsruimten en -faciliteiten op basis van de eigenschappen, vormen en andere kenmerken van de apparatuur en materialen. De indeling van de zuiveringsruimte dient besmetting van het gezuiverde materiaal tijdens de overdracht te voorkomen.