Tegenwoordig is de ontwikkeling van verschillende industrieën zeer snel, met constant bijgewerkte producten en hogere vereisten voor productkwaliteit en ecologische omgeving. Dit geeft aan dat verschillende industrieën ook hogere vereisten hebben voor het ontwerp van het schone kamer.
Standaard van schone kamer ontwerp
De ontwerpcode voor Clean Room in China is GB50073-2013-standaard. Het gehele gehele niveau van luchtreinigheid in schone kamers en schone gebieden moet worden bepaald volgens de volgende tabel.
| Klas | Maximale deeltjes/m3 | Fed STD 209Equivalent | |||||
| > = 0,1 µm | > = 0,2 µm | > = 0,3 µm | > = 0,5 µm | > = 1 µm | > = 5 µm | ||
| ISO 1 | 10 | 2 | |||||
| ISO 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | |||
| ISO 3 | 1.000 | 237 | 102 | 35 | 8 | Klasse 1 | |
| ISO 4 | 10.000 | 2.370 | 1,020 | 352 | 83 | Klasse 10 | |
| ISO 5 | 100.000 | 23.700 | 10.200 | 3.520 | 832 | 29 | Klasse 100 |
| ISO 6 | 1.000.000 | 237.000 | 102.000 | 35.200 | 8,320 | 293 | Klasse 1.000 |
| ISO 7 | 352.000 | 83.200 | 2.930 | Klasse 10.000 | |||
| ISO 8 | 3.520.000 | 832.000 | 29.300 | Klasse 100.000 | |||
| ISO 9 | 35.200.000 | 8.320.000 | 293.000 | Kamerlucht | |||
Luchtstroompatroon en leveren luchtvolume in schone kamers
1. Het ontwerp van het luchtstroompatroon moet voldoen aan de volgende voorschriften:
(1) Het luchtstroompatroon en het leveren van luchtvolume van de schone kamer (gebied) moet aan de vereisten voldoen. Wanneer de vereiste van de luchtreinigheidsniveau strenger is dan ISO 4, moet de unidirectionele stroom worden gebruikt; Wanneer de luchtreinigheid tussen ISO 4 en ISO 5 ligt, moet de unidirectionele stroom worden gebruikt; Wanneer de luchtreinigheid ISO 6-9 is, moet niet-unidirectionele stroom worden gebruikt.
(2) De luchtstroomverdeling in het werkgebied van de schone kamer moet uniform zijn.
(3) De luchtstroomsnelheid in het werkgebied van de schone kamer moet voldoen aan de vereisten van de productieproces.
2. Het volume van de luchttoevoer van de schone kamer moet de maximale waarde van de volgende drie items nemen:
(1) Het leveringsluchtvolume dat voldoet aan de vereisten van het niveau van het luchtreinigheid.
(2) Het volume van de luchttoevoer die is bepaald op basis van de berekening van warmte- en vochtigheidsbelastingen.
(3) de som van de hoeveelheid frisse lucht die nodig is om voor binnenuitlaatlucht volume te compenseren en positieve druk binnen te behouden; Zorg ervoor dat de frisse luchttoevoer voor elke persoon in de schone kamer niet minder dan 40 m per uur is ³。。
3. De indeling van verschillende faciliteiten in de schone kamer moet rekening houden met de impact op luchtstroompatronen en luchtinheid, en moet voldoen aan de volgende voorschriften:
(1) Een schone werkbank mag niet worden gerangschikt in een unidirectionele stromingsruimte en de terugslag van de retourlucht van een niet -unidirectionele stromingsruimte moet weg zijn van de schone werkbank.
(2) De procesapparatuur die ventilatie vereist, moeten worden gerangschikt aan de tegenwindzijde van de schone kamer.
(3) Wanneer er verwarmingsapparatuur is, moeten maatregelen worden genomen om de impact van de warme luchtstroom op de luchtstroomverdeling te verminderen.
(4) De resterende drukventiel moet worden gerangschikt aan de omlaagzijde van de schone luchtstroom.
Luchtzuiveringsbehandeling
1. De selectie, opstelling en installatie van luchtfilters moeten voldoen aan de volgende voorschriften:
(1) Luchtzuiveringsbehandeling moet redelijkerwijs luchtfilters selecteren op basis van het niveau van luchtinheid.
(2) Het verwerkingsluchtvolume van het luchtfilter moet kleiner zijn dan of gelijk zijn aan het nominale luchtvolume.
(3) Medium- of HEPA -luchtfilters moeten worden geconcentreerd in het positieve drukgedeelte van de airconditioningsdoos.
(4) Bij het gebruik van sub -hepa -filters en HEPA -filters als eindfilters, moeten ze worden ingesteld aan het einde van het zuiverings airconditioningsysteem. Ultra HEPA -filters moeten worden ingesteld aan het einde van het zuiverings airconditioningsysteem.
(5) De weerstandsefficiëntie van HEPA (Sub Hepa, Ultra HEPA) luchtfilters die in dezelfde schone kamer zijn geïnstalleerd, moeten vergelijkbaar zijn.
(6) De installatiemethode van HEPA (Sub Hepa, Ultra HEPA) luchtfilters moet strak, eenvoudig, betrouwbaar zijn en gemakkelijk te detecteren lekken en vervangen.
2. De frisse lucht van het zuiverings airconditioningsysteem in grotere schone fabrieken moet centraal worden behandeld voor luchtzuivering.
3. Het ontwerp van het zuiverings airconditioningsysteem moet redelijk gebruik van retourlucht maken.
4. De ventilator van het zuiverings airconditioningsysteem moet frequentieconversiemaatregelen nemen.
- Anti -bevriezingsbeveiligingsmaatregelen moeten worden genomen voor toegewijd buitenluchtsysteem in ernstige koude en koude gebieden.
Verwarming, ventilatie en rookcontrole
1. Cleanrooms met luchtreinigheid hoger dan ISO 8 mogen geen radiatoren gebruiken voor verwarming.
2. Lokale uitlaatapparaten moeten worden geïnstalleerd voor procesapparatuur die stof en schadelijke gassen genereert in schone kamers.
3. In de volgende situaties moet het lokale uitlaatsysteem afzonderlijk worden ingesteld:
(1) Het gemengde uitlaatmedium kan corrosiviteit, toxiciteit, verbranding en explosiegevaren en kruisbesmetting produceren of verergeren.
(2) Het uitlaatmedium bevat giftige gassen.
(3) Het uitlaatmedium bevat ontvlambare en explosieve gassen.
4. Het uitlaatsysteemontwerp van de schone kamer moet voldoen aan de volgende voorschriften:
(1) Buitenluchtstroomstroom moet worden voorkomen.
(2) Lokale uitlaatsystemen die ontvlambare en explosieve stoffen bevatten, moeten overeenkomstige maatregelen voor brand- en explosiepreventie nemen op basis van hun fysische en chemische eigenschappen.
(3) Wanneer de concentratie- en emissiesnelheid van schadelijke stoffen in het uitlaatmedium de nationale of regionale voorschriften over schadelijke concentratie van de middelenemissie en emissiesnelheid overschrijdt, moet onschadelijke behandeling worden uitgevoerd.
(4) Voor uitlaatsystemen die waterdamp en condenseerbare stoffen bevatten, moeten hellingen en ontladingsuitlaten worden opgezet.
5. Ventilatiemaatregelen moeten worden genomen voor hulpproductiekamers zoals het veranderen van schoenen, het opslaan van kleding, wassen, toiletten en douches, en de statische drukwaarde binnenshuis moet lager zijn dan die van de schone ruimte.
6. Volgens de vereisten van de productieproces moet een ongevalsuitlaatsysteem worden geïnstalleerd. Het uitlaatsysteem van ongevallen moet worden uitgerust met automatische en handmatige besturingsschakelaars en de handmatige besturingsschakelaars moeten afzonderlijk in de schone kamer en buiten worden geplaatst voor eenvoudige werking.
7. De installatie van rookuitlaatfaciliteiten in schone workshops moet voldoen aan de volgende voorschriften:
(1) Mechanische rookuitlaatfaciliteiten moeten worden geïnstalleerd in de evacuatiecorridors van schone workshops.
(2) De in de schone workshop geïnstalleerde rookuitlaatfaciliteiten moeten voldoen aan de relevante bepalingen van de huidige nationale norm.
Andere maatregelen voor schone kamerontwerp
1. De schone werkplaats moet worden uitgerust met kamers en voorzieningen voor personeelszuivering en materiële zuivering, evenals wonen en andere kamers indien nodig.
2. De instelling van personeelszuiveringsruimtes en woonkamers moet voldoen aan de volgende voorschriften:
(1) Een kamer moet worden opgezet voor personeelszuivering, zoals het opslaan van regenuitrusting, het veranderen van schoenen en jassen en het veranderen van schone werkkleding.
(2) Toiletten, badkamers, doucheruimtes, rustruimtes en andere woonkamers, evenals luchtdouche -kamers, luchtsloten, werkruimtes voor werkkleding en droogkamers, kunnen indien nodig worden opgezet.
3. Het ontwerp van personeelszuiveringsruimtes en woonkamers moet voldoen aan de volgende voorschriften:
(1) Maatregelen voor het reinigen van schoenen moeten worden geïnstalleerd bij de ingang van de personeelszuiveringsruimte.
(2) Kamers voor het opslaan van lagen en het veranderen van schone werkkleding moeten afzonderlijk worden opgezet.
(3) De opbergkast van de buitenste kleding moet worden ontworpen met één kast per persoon, en schone werkkleding moet worden opgehangen in een schone kast met luchtblaas en douchen.
(4) De badkamer moet faciliteiten hebben om handen te wassen en te drogen.
(5) De luchtdouchekamer moet zich bevinden bij de ingang van personeel in de schone ruimte en naast de kleedkamer van de schone werkkleding. Een luchtdouche met één persoon is ingesteld voor elke 30 personen in het maximale aantal diensten. Wanneer er meer dan 5 personeelsleden in de schone omgeving zijn, moet een bypass -deur worden geïnstalleerd aan een kant van de luchtdouche -kamer.
(6) Verticale unidirectionele stromingscleanrooms die strenger zijn dan ISO 5 zou luchtsloten moeten hebben.
(7) Toiletten zijn niet toegestaan in schone gebieden. Het toilet in de personeelszuiveringsruimte moet een voorkamer hebben.
4. De voetgangersstroomroute moet voldoen aan de volgende voorschriften:
(1) De voetgangersstroomroute moet weerspiegelende kruispunten voorkomen.
(2) De lay -out van personeelszuiveringsruimtes en woonkamers moet in overeenstemming zijn met personeelszuiveringsprocedures.
5. Volgens verschillende niveaus van luchtreinigigheid en het aantal personeelsleden, moeten de bouwruimte van de personeelszuiveringsruimte en de woonkamer in de schone workshop redelijkerwijs worden bepaald en moeten worden berekend op basis van het gemiddelde aantal mensen in de schone ruimte Ontwerp, variërend van 2 vierkante meter tot 4 vierkante meter per persoon.
6. De luchtzuiveringsvereisten voor kleedkleding van schone werkkleding en wasruimtes moeten worden bepaald op basis van de productprocesvereisten en het luchtreinigheidsniveau van aangrenzende schone kamers (gebieden).
7. Clean Room -apparatuur en materiaalangen en uitgangen moeten worden uitgerust met materiaalzuiveringsruimtes en -faciliteiten op basis van de eigenschappen, vormen en andere kenmerken van de apparatuur en materialen. De lay -out van de materiaalzuiveringsruimte moet verontreiniging van het gezuiverde materiaal tijdens de transmissie voorkomen.
Posttijd: juli-17-2023