Tegenwoordig gaat de ontwikkeling van verschillende industrieën zeer snel, met voortdurend bijgewerkte producten en hogere eisen aan productkwaliteit en ecologische omgeving.Dit geeft aan dat verschillende industrieën ook hogere eisen zullen stellen aan het ontwerp van cleanrooms.
Designstandaard voor schone kamers
De ontwerpcode voor cleanroom in China is de GB50073-2013-standaard.Het gehele niveau van luchtzuiverheid in cleanrooms en schone ruimtes moet worden bepaald volgens de volgende tabel.
| Klas | Maximale deeltjes/m3 | FED STD 209EEquivalent | |||||
| >=0,1 µm | >=0,2 µm | >=0,3 µm | >=0,5 µm | >=1 µm | >=5 µm | ||
| ISO1 | 10 | 2 | |||||
| ISO2 | 100 | 24 | 10 | 4 | |||
| ISO3 | 1.000 | 237 | 102 | 35 | 8 | Klas 1 | |
| ISO4 | 10.000 | 2.370 | 1.020 | 352 | 83 | Klasse 10 | |
| ISO5 | 100.000 | 23.700 | 10.200 | 3.520 | 832 | 29 | Klasse 100 |
| ISO6 | 1.000.000 | 237.000 | 102.000 | 35.200 | 8.320 | 293 | Klasse 1.000 |
| ISO7 | 352.000 | 83.200 | 2.930 | Klasse 10.000 | |||
| ISO8 | 3.520.000 | 832.000 | 29.300 | Klasse 100.000 | |||
| ISO9 | 35.200.000 | 8.320.000 | 293.000 | Kamer lucht | |||
Luchtstroompatroon en toevoerluchtvolume in cleanrooms
1. Het ontwerp van het luchtstroompatroon moet voldoen aan de volgende voorschriften:
(1) Het luchtstroompatroon en het toevoerluchtvolume van de cleanroom (gebied) moeten aan de eisen voldoen.Wanneer de vereiste voor het luchtzuiverheidsniveau strenger is dan ISO 4, moet een unidirectionele stroom worden gebruikt;Wanneer de luchtzuiverheid tussen ISO 4 en ISO 5 ligt, moet een unidirectionele luchtstroom worden gebruikt;Wanneer de luchtzuiverheid ISO 6-9 is, moet een niet-unidirectionele stroming worden gebruikt.
(2) De luchtstroomverdeling in de werkruimte van de cleanroom moet uniform zijn.
(3) De luchtstroomsnelheid in de werkruimte van de cleanroom moet voldoen aan de vereisten van het productieproces.
2. Het luchttoevoervolume van de cleanroom moet de maximale waarde van de volgende drie items aannemen:
(1) Het toevoerluchtvolume dat voldoet aan de eisen van het luchtzuiverheidsniveau.
(2) Het luchttoevoervolume bepaald op basis van de berekening van de warmte- en vochtigheidsbelasting.
(3) De som van de hoeveelheid verse lucht die nodig is om het uitlaatluchtvolume binnenshuis te compenseren en de positieve druk binnenshuis te handhaven;Zorg ervoor dat de toevoer van verse lucht naar elke persoon in de cleanroom niet minder dan 40 m3 per uur bedraagt ³。
3. Bij de indeling van verschillende faciliteiten in de cleanroom moet rekening worden gehouden met de impact op de luchtstroompatronen en de luchtzuiverheid, en moet worden voldaan aan de volgende voorschriften:
(1) Een schone werkbank mag niet worden opgesteld in een schone kamer met unidirectionele stroom, en de retourluchtuitlaat van een schone kamer met niet-unidirectionele stroom moet uit de buurt van de schone werkbank zijn.
(2) De procesapparatuur die ventilatie vereist, moet aan de benedenwindse zijde van de cleanroom worden opgesteld.
(3) Als er verwarmingsapparatuur aanwezig is, moeten er maatregelen worden genomen om de impact van de warme luchtstroom op de luchtstroomverdeling te verminderen.
(4) De restdrukklep moet aan de benedenwindse kant van de schone luchtstroom worden geplaatst.
Luchtzuiveringsbehandeling
1. De selectie, opstelling en installatie van luchtfilters moet voldoen aan de volgende voorschriften:
(1) Bij een luchtzuiveringsbehandeling moeten luchtfilters redelijkerwijs worden geselecteerd op basis van het niveau van luchtzuiverheid.
(2) Het verwerkingsluchtvolume van het luchtfilter moet kleiner zijn dan of gelijk zijn aan het nominale luchtvolume.
(3) Medium- of hepa-luchtfilters moeten worden geconcentreerd in het positievedrukgedeelte van de airconditioningbox.
(4) Bij gebruik van sub-hepa-filters en hepa-filters als eindfilters moeten deze aan het einde van het zuiverende airconditioningsysteem worden geplaatst.Ultra-hepa-filters moeten aan het einde van het zuiverende airconditioningsysteem worden geplaatst.
(5) De weerstandsefficiëntie van hepa-luchtfilters (subhepa, ultrahepa) die in dezelfde cleanroom zijn geïnstalleerd, moet vergelijkbaar zijn.
(6) De installatiemethode van hepa (sub hepa, ultra hepa) luchtfilters moet strak, eenvoudig, betrouwbaar en gemakkelijk te detecteren en te vervangen zijn.
2. De frisse lucht van het zuiverende airconditioningsysteem in grotere schone fabrieken moet centraal worden behandeld voor luchtzuivering.
3. Bij het ontwerp van het zuiveringsairconditioningsysteem moet redelijk gebruik worden gemaakt van retourlucht.
4. De ventilator van het zuivering-airconditioningsysteem moet frequentieomzettingsmaatregelen nemen.
- Er moeten antivriesbeschermingsmaatregelen worden genomen voor speciale buitenluchtsystemen in zeer koude en koude gebieden.
Verwarming, ventilatie en rookbeheersing
1. Cleanrooms met een luchtzuiverheid hoger dan ISO 8 mogen geen radiatoren gebruiken voor verwarming.
2. Er moeten lokale afzuigsystemen worden geïnstalleerd voor procesapparatuur die stof en schadelijke gassen genereert in cleanrooms.
3. In de volgende situaties dient het lokale afzuigsysteem apart te worden opgesteld:
(1) Het gemengde uitlaatmedium kan corrosiviteit, toxiciteit, verbrandings- en explosiegevaren en kruisbesmetting veroorzaken of verergeren.
(2) Het uitlaatmedium bevat giftige gassen.
(3) Het uitlaatmedium bevat brandbare en explosieve gassen.
4. Het ontwerp van het uitlaatsysteem van de cleanroom moet voldoen aan de volgende voorschriften:
(1) Terugstroming van buitenlucht moet worden voorkomen.
(2) Lokale uitlaatsystemen die ontvlambare en explosieve stoffen bevatten, moeten overeenkomstige brand- en explosiepreventiemaatregelen nemen op basis van hun fysische en chemische eigenschappen.
(3) Wanneer de concentratie en emissiesnelheid van schadelijke stoffen in het uitlaatmedium de nationale of regionale regelgeving inzake de emissieconcentratie en emissiesnelheid van schadelijke stoffen overschrijden, moet een onschadelijke behandeling worden uitgevoerd.
(4) Voor uitlaatsystemen die waterdamp en condenseerbare stoffen bevatten, moeten hellingen en afvoeropeningen worden aangelegd.
5. Er moeten ventilatiemaatregelen worden genomen voor aanvullende productieruimten, zoals het verwisselen van schoenen, het opbergen van kleding, het wassen, toiletten en douches, en de statische drukwaarde binnenshuis moet lager zijn dan die van de schone ruimte.
6. Volgens de vereisten van het productieproces moet een uitlaatsysteem voor ongevallen worden geïnstalleerd.Het uitlaatsysteem voor ongevallen moet zijn uitgerust met automatische en handmatige bedieningsschakelaars, en de handmatige bedieningsschakelaars moeten afzonderlijk in de cleanroom en daarbuiten worden geplaatst voor eenvoudige bediening.
7. De installatie van rookafvoervoorzieningen in schone werkplaatsen moet voldoen aan de volgende voorschriften:
(1) In de evacuatiegangen van schone werkplaatsen moeten mechanische rookafvoervoorzieningen worden geïnstalleerd.
(2) De rookafvoervoorzieningen die in de schone werkplaats zijn geïnstalleerd, moeten voldoen aan de relevante bepalingen van de huidige nationale norm.
Andere maatregelen voor het ontwerp van cleanrooms
1. De schone werkplaats moet worden uitgerust met kamers en faciliteiten voor personeels- en materiaalzuivering, evenals woon- en andere kamers indien nodig.
2. De inrichting van personeelszuiveringsruimtes en huiskamers dient te voldoen aan de volgende voorschriften:
(1) Er moet een ruimte worden ingericht voor de zuivering van het personeel, zoals het opbergen van regenkleding, het verwisselen van schoenen en jassen en het verwisselen van schone werkkleding.
(2) Toiletten, badkamers, doucheruimtes, ontspanningsruimtes en andere woonkamers, evenals luchtdoucheruimtes, luchtsluizen, wasruimtes voor werkkleding en droogruimtes kunnen naar behoefte worden ingericht.
3. De inrichting van personeelszuiveringsruimtes en huiskamers dient te voldoen aan de volgende voorschriften:
(1) Bij de ingang van de personeelszuiveringsruimte moeten maatregelen voor het reinigen van schoenen worden geïnstalleerd.
(2) Ruimtes voor het opbergen van jassen en het verschonen van schone werkkleding moeten apart worden ingericht.
(3) De opbergkast voor bovenkleding moet worden ontworpen met één kast per persoon, en schone werkkleding moet in een schone kast worden gehangen met luchtblazen en douchen.
(4) De badkamer moet voorzieningen hebben voor het wassen van de handen en het drogen.
(5) De luchtdoucheruimte moet zich bevinden bij de ingang van het personeel in de schone ruimte en grenzend aan de kleedkamer voor schone werkkleding.Voor elke 30 personen in het maximale aantal diensten wordt een luchtdoucheruimte voor één persoon ingesteld.Als er meer dan 5 personeelsleden in de schone ruimte zijn, moet er aan één kant van de luchtdoucheruimte een bypassdeur worden geïnstalleerd.
(6) Cleanrooms met verticale stroming in één richting die strenger zijn dan ISO 5 moeten luchtsluizen hebben.
(7) Toiletten zijn niet toegestaan in schone ruimtes.Het toilet in de personeelszuiveringsruimte moet een voorkamer hebben.
4. De voetgangersstroomroute moet voldoen aan de volgende voorschriften:
(1) De voetgangersstroomroute moet kruispunten vermijden.
(2) De indeling van de personeelszuiveringskamers en woonkamers moet in overeenstemming zijn met de personeelszuiveringsprocedures.
5. Afhankelijk van de verschillende niveaus van luchtzuiverheid en het aantal personeelsleden, moet het bouwoppervlak van de personeelszuiveringsruimte en de woonkamer in de schone werkplaats redelijk worden bepaald en moet worden berekend op basis van het gemiddelde aantal mensen in het schone gebied ontwerp, variërend van 2 vierkante meter tot 4 vierkante meter per persoon.
6. De luchtzuiveringseisen voor schone kleed- en wasruimtes voor werkkleding moeten worden bepaald op basis van de productproceseisen en het luchtzuiverheidsniveau van aangrenzende schone ruimtes (gebieden).
7. Apparatuur voor cleanrooms en materiaalingangen en -uitgangen moeten worden uitgerust met materiaalzuiveringskamers en faciliteiten op basis van de eigenschappen, vormen en andere kenmerken van de apparatuur en materialen.De indeling van de materiaalzuiveringsruimte moet besmetting van het gezuiverde materiaal tijdens transmissie voorkomen.
Posttijd: 17 juli 2023